DEVELOPPEMENT D'UN COMPARATEUR DE LUMINANCE A FILTRES INTERFERENTIELS POUR L'ETALONNAGE DE CORPS NOIRS INDUSTRIELS J. Joly, P. Ridoux, J. Hameury Centre de métrologie scientifique et industrielle Laboratoire National de Métrologie et d’Essais 29 avenue R. Hennequin 78190 Trappes Résumé Depuis quelques années, il existe une demande croissante d'étalonnage de corps noirs industriels dans les bandes spectrales utilisées par les caméras thermiques, c.à.d principalement les bandes 3-5 µm et 8-12 µm et éventuellement la bande 1-3 µm. En globalisant l'ensemble des applications, le domaine de température à couvrir devient très vaste : -20 °C à 1500 °C pour les bandes 3-5 µm et 8-12 µm et à partir de 100 °C dans la bande 1-3 µm. Le LNE a donc entrepris le développement d'un comparateur de luminance, comportant une optique de conjugaison à miroirs, une roue de filtres interférentiels, un support modulable pour les détecteurs IR et une détection synchrone. Le système est conçu pour offrir de la souplesse en terme de température et de sélection spectrale. Les caractéristiques recherchées, dans un premier temps dans les bandes spectrales 3-5 µm et 8-12 µm, sont une résolution thermique inférieure à 0,05 °C et un effet de taille de source connu et maîtrisé. Ce papier présente une description des solutions techniques retenues pour optimiser le système optique et des résultats de mesure concernant les performances en stabilité à court terme, résolution et effet de taille de source avec les détecteurs Si, InSb et HgCdTe. Abstract For a few years, there is a rising requirement for calibrating industrial blackbodies at wavelengths used by thermal cameras or as defined by specific applications (especially the 1-3µm, 3-5 µm and 8-12 µm bands). Users requests cover a very wide temperature range, from –20°C to 1500°C in the infrared bands 3-5 µm, 8-12 µm and from 100°C in the 1-3 µm band. Therefore, LNE has developed a radiance comparator with a mirror-based optical system, associated to a set of interference filters wheels, a modular holder for several infrared detectors and a lock-in amplifier. This set-up is designed to be very versatile in terms of wavelength and temperature. Targeted performances are a thermal resolution better than 0.05°C, and a known and controlled size-of-source effect. This paper describes the technical solutions implemented to optimize the optical system. Preliminary results are presented about the short term stability, the thermal resolution and also the size-of-source with the Si, InSb and MCT detectors. Introduction Depuis longtemps, il existe une demande d'étalonnage de corps noirs industriels au LNE mais les chiffres montrent un accroissement depuis quelques années. Au début, le besoin provenait essentiellement d'industriels utilisateurs de caméras thermiques, c.a.d principalement du secteur de la Défense, dans les bandes spectrales classiques 3-5 µm et 8-12 µm et dans le domaine de température couvrant l'ambiante à 1000°C. En s'appuyant sur des corps noir de référence à température variable, la solution technique évidente a été alors de se servir de pyromètres du commerce ou de caméras thermiques comme comparateurs optiques pour tenir compte au mieux de l'aspect spectral devant les deux sources. Aujourd'hui, les besoins des industriels civils (automobile, énergie, équipementiers…) sont globalement ceux d'autrefois du secteur de la Défense qui, en parallèle, est devenu plus exigeant en termes de longueurs d'onde et de températures extrêmes : à partir de 100°C dans la bande 1-3 µm ou de -20°C dans la bande 3-5 µm et jusqu'à 1500°C dans la bande 8-12 µm ou 8-14 µm. Si la limite basse en température dans les bandes 1-3 µm et 3-5 µm provient principalement de la physique car la quantité de rayonnement émis devient très faible, la limite haute donnée à 1500°C/1600°C est due à la technologie. En effet, la réalisation de fours, fonctionnant à des températures supérieures, nécessite d'investir dans des éléments chauffants et des isolants thermiques plus couteux mais pourtant fragiles ou de mettre en œuvre des systèmes plus lourds reposant sur des éléments résistifs en graphite, donc une enceinte à vide et un balayage de gaz neutre. Le LNE a, par conséquent, entrepris le développement d’un comparateur de luminance à filtres (CLAF), avec deux applications à l’esprit. La première est de vérifier la cohérence entre nos diverses cavités corps noir par des comparaisons réalisées dans les bandes spécifiques utilisées par les caméras thermiques. La seconde est d’étendre nos possibilités d’étalonnage de corps noirs industriels à des températures plus basses et à des longueurs d’onde plus courtes. Pour répondre à ces attentes, le comparateur a été réalisé selon les spécifications suivantes : - système optique à large bande (de 0,8 à 14 µm) - domaine de température de –20°C à 1000°C pour les deux bandes 3-5 µm et 8-12 µm. - effet de taille de source connu et maitrisé - stabilité a court terme satisfaisante pendant la durée d'une comparaison. - résolution thermique assurant une faible contribution dans le budget d’incertitude. Présentation générale du CLAF Pour utiliser le comparateur dans un large domaine spectrale avec une distance focale constante, le système optique est basé sur l’association de quatre miroirs sphériques traités aluminium. Selon [1], suite aux travaux de B. Lyot sur le coronographe, le diaphragme d’ouverture est placé derrière le diaphragme de champ. Les miroirs sont placés dans des supports à cardan de faible encombrement. Les caractéristiques résultantes sont une distance de travail de 400 mm (depuis la face avant), une ouverture numérique de f/50 et une zone de visée théorique de 3 mm (hors SSE). 4 3 S 1 2 5 6 régulation du hâcheur optique Détection synchrone 7 amplificateur PC Figure 1 : Schéma de principe du CLAF, (S) source, (1) hacheur optique, (2) miroir sphérique, (3) écran, (4) diaphragme de champ, (5) roue à filtre, (6) diaphragme d’ouverture, (7) détecteur. Détecteur InSb HgCdTe Champ de vision (°) Taille 10 Φ4 10 (mm) 2*2 D* @ λ pic (cm-rthz/W) λ Pic l’émissivité de la peinture ayant été mesuré au préalable avec les installations du LNE [2]. La caractérisation a été réalisée pour différentes configurations du CLAF; le détecteur HgCdTe avec les filtres 3-5 et 8-12 µm et le détecteur InSb avec le filtre 3-5 µm. La procédure suivante a été appliquée : • remplissage du dewar d’azote liquide au moins 30 minutes avant le début des mesures, • alignement du comparateur devant la source stabilisée à 200°C, • mesures simultanées de la résistance du thermomètre du corps noir et de la réponse du comparateur. Les résultats montrent une stabilité meilleure que 15 mK pour toutes les configurations. Les mesures réalisées avec le detecteur InSb en bande 3-5 µm sont présentées dans la figure 2. 199.90 0.01481 signal CLAF, V CLAF : ± 1.9 µV (1σ) c.a.d. 7mK temperature, °C La sélection spectrale se fait par un jeu de filtres interferentiels placé dans une roue indexée assurant un positionnement reproductible. Deux roues sont disponibles, une première contenant les bandes classiques (1-3 µm 3-5 µm, 8-12 µm…) et une autre pour les éventuelles demandes spécifiques de clients. Une attention toute particulière a été portée à la réduction du rayonnement parasite dans la première partie du montage, avant le diaphragme de champ. Toutes les parois internes du boitier ont été traitées avec la peinture 3M Nextel 811-21 pour assurer une grande absorption du visible au lointain infrarouge ; un assemblage d'écrans est placé à proximité du diaphragme de champ de manière à bloquer le rayonnement provenant directement de la source. Tous les éléments sont agencés grâce à des pieds élévateurs fixés sur la table à inserts. Le résultat est une très bonne stabilité mécanique avec la possibilité d’inclure aisément des éléments complémentaires pour de futures applications. La chaine de mesure inclut des détecteurs quantiques, refroidis par de l’azote liquide, avec leurs amplificateurs, un hacheur optique et une détection synchrone. Comme la plupart des besoins d’étalonnage de corps noirs se situent dans le domaine spectral de travail des caméras thermiques, le CLAF a été étudié en termes de stabilité à court terme, de résolution thermique et d’effet de taille de source spécifiquement dans les bandes 3-5 µm et 8-12 µm. TRPE : ± 2 mK (1σ) 199.85 0:00 0.01479 0:03 0:06 0:10 0:13 temps, h:min Figure 2 : stabilité à court terme fenêtre Résolution thermique (µm) 2.6 x10 11 5,3 sapphire 6.4 x10 10 12,5 ZnSe Tableau 1 : Détecteurs (Judson) associées au CLAF Stabilité à court terme La stabilité à court terme a été évalué sur une période correspondant à la durée d’une comparaison de deux sources. Un cycle complet de comparaison est accompli lorsque la mesure sur le corps noir à étalonner est encadrée par deux mesures sur le corps noir de référence. Cette durée, dépendante des paramètres de la détection (constante de temps, nombre de mesures) est approximativement de 15 minutes. La source utilisée pour ces mesures est un corps noir à caloduc à eau équipé d’un thermomètre à résistance de platine 25 Ω, placé a proximité du fond de la cavité. La stabilité de ce corps noir mesurée sur une période de 2 heures est de l’ordre de ± 20 mK. La cavité en alliage de cuivre est traitée de manière à assurer une très haute émissivité sur un spectre allant de 3 à 15 µm; La résolution thermique est déterminée par la différence de température équivalente au bruit ou NETD ("Noise Equivalent Temperature Difference"). Cette caractéristique, définie comme l'écart de température qui produit un rapport signal à bruit égal à 1, est évaluée à partir de la relation suivante : NETD (T0 ) = Vbruit Se(T0 ) ou Vbruit correspond à la valeur efficace du bruit en sortie de la chaîne de mesure, et Se(T0) la sensibilité en (V/°C) du comparateur à la température T0. La sensibilité est obtenue à partir d’un étalonnage réalisé avec les références corps noir, dans un temps très court pour s'affranchir des défauts de reproductibilité du système. Le NETD est alors calculé à partir des valeurs de « bruit sans signal », mesurées grâce à un corps noir stabilisé à la température apparente du chopper. Le tableau 2 récapitule les valeurs obtenues avec cette méthode. Certaines de ces valeurs peuvent paraître faibles, surtout à haute température; ceci est dû au fait que le bruit généré par la source utilisée est très faible. En effet, étant stabilisée à la température ambiante, la source n’est pas pénalisée par sa régulation ou par des effets de convection comme à plus haute température. Cette méthode permet de connaître la résolution thermique de l’appareil avec un minimum de perturbations d'origine thermique provenant de la source. A noter, par exemple, que la Detecteur Filtre @ -20°C valeur efficace du bruit, observé en bande 8-12 µm face à un corps noir stabilisé à 600°C, est de l’ordre de 15 mK, à confronter à la valeur calculée de 4mK. @20°C @80°C @200°C @600°C @900°C (mK) J-InSb 3-5 µm 330 330 20 4 0.4 * J-MCT 3-5 µm 220 2020 180 18 2 1 J-MCT 8-12 µm 34 20 13 8 4 4 Tableau 2 : valeurs de NETD Effet de taille de source L’effet de taille de source, nommé SSE (Size-of-Source Effect), représente une augmentation de la réponse d'un luminancemètre due à une augmentation de dimension de la source observée. Théoriquement, ce phénomène n’intervient que pour des dimensions de source inférieures au champ de l’appareil. Malheureusement, cet effet est observé pour des dimension de source bien supérieures. Les principale causes en sont la diffusion par les dioptres rencontrés successivement dans l’appareil, la diffraction par les ouvertures, les inter-réflections entre ces dioptres, ainsi que les réflexions sur les parois internes [4]. L’effet de taille de source pour le CLAF a été étudié dans les configurations précédemment présentées ainsi que dans le proche infrarouge. Mesures dans le proche infrarouge Les investigations ont été réalisées avec un détecteur Hamamatsu S1337 filtré à 0,900 µm, associé à un transducteur courant-tension de fabrication LNE. Le hacheur optique est inhibé et le signal est mesuré à l’aide d’un nanovoltmètre. La procédure de mesure est basée sur la méthode directe : l'appareil vise le centre d’une zone d’émission circulaire et uniforme de diamètre di variable. La source utilisée est une sphère intégrante avec un port de sortie de 100 mm de diamètre, équipée d’une lampe quartz halogène alimentée par un courant de haute stabilité (1.10-5 A). L’ouverture variable est matérialisée par un jeu de diaphragmes de 1 à 4 mm et par un diaphragme à iris jusqu'à 60 mm. Afin de réduire la sensibilité de la luminance de la source à une variation de dimension de l’ouverture, celle-ci est découplée du port de sortie de la sphère [3]. Sphere intégrante 150 Comparateur Lampe quartz halogen Ouverture variable Figure 2 : dispositif de mesure de SSE à 0,9 µm Le SSE correspondant à chaque valeur de di est calculé par la relation suivante [4] : SSE( di ; d max ) = Vd i − V0 avec dmax = 60 mm Vd max − V0 avec Vdi et V dmax les signaux obtenus respectivement pour les diamètre di et d max (ouverture maximale) et V0 le signal de « fond ». Les résultats présentés sont issus de 5 séries avec 50 mesures individuelles à chaque diamètre. La valeur obtenue de SSE(3 ;60) étant 0.99971 signifie que la correction relative ∆SSE est inférieure à 3.10-4 pour une source de la même dimension que le champ du comparateur (3 mm). ∆ SSE(d i ) =1 − SSE(di , d max ) Pour une source de dimension supérieure à 4 mm, la correction est inférieure en moyenne à la dispersion des mesures estimée à ± 2.5.10-5 (1σ). Refroidissement à eau Dans le proche infrarouge, la méthode indirecte, qui utilise une occultation centrale de la source, est couramment utilisée du fait de sa meilleure resolution. Dans cette étude, la méthode directe a été préférée dans un souci de cohérence avec les mesures réalisées dans l'infrarouge lointain. Diaphragme Cavité caloduc à eau Zone d’évaluation du signal de « fond » Face noircie Mesures en bandes 3-5 µm et 8-12 µm La connaissance de l’effet de taille de source est particulièrement critique pour la mesure de luminance à grandes longueurs d'onde. Le SSE définit les limites d'utilisation du comparateur en termes de dimensions et d’uniformité de luminance du corps noir à étalonner. Une solution équivalente à celle mise en œuvre dans le proche infrarouge serait d’utiliser une sphère intégrante à revêtement doré mais un tel équipement présente un inconvénients majeur. Le rendement est très faible, nécessitant une source très énergétique (type Laser). De plus, le caractère légèrement spéculaire des réflexions internes altère l'uniformité de la luminance émise. Par conséquent, la source la mieux adaptée pour la mesure de SSE dans la bande de 3 à 14 µm doit être thermique, uniforme et de grande dimension. Finalement, la méthode décrite pour les mesures dans le proche infrarouge a été mise en œuvre avec le corps noir à caloduc à eau. Le diamètre d’ouverture de la cavité est de 63 mm et peut varier de 10 à 60 mm grâce à un jeu de diaphragmes. Le signal de « fond » est évalué en visant la zone adéquate du plus petit diaphragme (figure 3). Les diaphragmes sont maintenus dans un support refroidi, découplé thermiquement de la cavité pour éviter toute perturbation de la stabilité de la source. Cette hypothèse est vérifiée par un suivi de la température de la cavité (sonde platine étalon). La face interne des diaphragmes (côté source) est noircie pour limiter son influence sur la luminance de la source lors des mesures [5]. Les variations d'émissivité de la cavité engendrées par la variation de l’ouverture ont été modélisées avec un logiciel basé sur la méthode de Monte-Carlo. La géométrie de la cavité ainsi que les valeurs d’émissivité des peintures utilisées pour la cavité et les diaphragmes sont prises en compte. Ces variations sont égales à 5.10-5 à 4 µm et inférieures à 1.10-4 à 10 µm pour une variation d’ouverture de 10 à 60 mm, donc négligeables par rapport aux variations de SSE. Figure 3 : dispositif de mesure de SSE dans les bandes 3-5 µm et 8-12 µm Résultats et commentaires Le graphique 1 présente les résultats obtenus dans les trois bandes spectrales étudiées. Cette synthèse montre clairement que l'effet de taille de source sur le comparateur est fortement dépendant de la bande spectrale de travail. Plus la longueur d’onde est grande, plus l’effet de taille de source est important. Par exemple, une correction de SSE de 3.10-4 correspond à une source de diamètre 3 mm à 0,9 µm, 17 mm dans la bande 3-5 µm et 25 mm dans la bande 8-12 µm. Une autre approche est d’évaluer l’erreur engendrée en fonction de la longuer d'onde pour une source de diamètre donné. Pour une valeur de 10 mm, la correction est négligeable à 0,9 µm mais est de l’ordre de 1.6 10-3 et 5.8 10-3 respectivement pour les bandes 3-5 µm et 8-12 µm. La sensibilité d'un luminancemètre à l'effet de taille de source peut être convertie en température en utilisant la dérivée de la loi de Planck : ∆L x ∆T c = avec x = 2 −x L T λT 1− e c2 − λT 2 ∆T = (1 − e λ T ) ∆SSE c2 où L est la luminance spectrique du corps noir, T la température, c2 la deuxième constante du rayonnement et λ la longueur d’onde centrale du luminancemètre. Le tableau 3 donne quelques écarts de température dus à une correction de SSE de 3.10-4, pour différentes longueur d’onde et températures de source. 1.002 -4 ± 2.5.10 1.000 SSE 0.998 0.996 HgCdTe 3-5 HgCdTe 8-12 0.994 InSb 3-5 Si 900 0.992 3 mm, dimension géomètrique du champ 0.990 0 10 20 30 40 50 60 70 diamètre de source, mm Graphique 1 : Synthèse des résultats de SSE dans différentes bandes spectrales Temperature λ = 0.9 µm (°C) λ = 4 µm λ = 10 µm Références (mK) 50 2 9 22 500 12 49 105 1500 60 227 364 2000 97 342 505 2500 144 466 650 Tableau 3 : Correction (mK) due à ∆SSE =3.10-4 Conclusion Le LNE a développé un comparateur de luminance à filtres (CLAF), souple et polyvalent en termes de longueur d’onde et d'étendue de mesure en température, pour complèter ses possibilités de mesures en pyrométrie. Une caractérisation préliminaire a été effectuée avec des mesures de stabilité et de résolution thermique dans les bandes de travail des caméras infrarouges. Une attention toute particulière a été portée à l’effet de taille de source par de nombreuses mesures dans ces mêmes bandes. La modification de certains éléments du système comme le hacheur optique et l’approvisionnement de points fixes portables sont à l'étude dans le but d'obtenir un appareil plus reproductible. Si nécessaire, une caractérisation spectrale plus fine des sources à étalonner est envisageable par la mise en œuvre d'un filtre continu variable (CVF). Des études complémentaires sur d'autres détecteurs type InGaAs et pyroélectrique pourront à terme étendre les possibilités d'utilisation du CLAF. [1] H. Yoon and all, “Methods to reduce the sizeof-source effect in radiometers”, Metrologia, Vol. 42, pp 89-96, 2005. [2] J. Hameury and all, “ Measurement of an infrared spectral directional hemispherical reflectance and emissivity at LNE-BNM”, International journal of thermophysics, Vol 26, pp 1973-1983, Nov 2005. [3] R. Winkler and all, “A thorough characterization of the absolute radiation thermometer for the determination of thermodynamic temperatures”, dans actes de conférence de tempmeko 2007, à paraitre. [4] P. Bloembergen and all, “The characterization of a radiation thermometer subject to size of source effect, dans actes de conférence tempmeko 1999, pp 261-266, 1997. [5] Y. Kaneko and all, “Numerical estimation of effective emissivities of low-temperature blackbody cavities with apertures, actes de conférence SICE Sapporo PR0002/04/0000, pp1764-1767, 2004. [6] R. Morice, “Dévelopement d’une installation pour la mesure en regime transitoire de l’émissivité spectrale directionnelle des materiaux à haute température, mémoire CNAM, 1998.