PROMPT – Guides d`onde optiques

PROMPT
PROMPT – –Guides d’onde Guides d’onde
optiques
optiques
Etienne Grondin

Introduction
•Convergence de la microélectronique et de la
photonique
– Développement de technologies de guides d’ondes
sur les matériaux de l’électronique
•Technologies de guides d’onde en
développement au sein du CRN2
– Guides de type Photonic Wires dans les matériaux
SOI-Simox (Collaboration avec McGill)
– Guides en polymères SU-8 sur les matériaux SOI-
Simox
– Guides en polymères SU-8 sur verre (Chloé Guérin,
Gaelle Hamaide, Patrick Poissant)

Guides d’onde dans les matériaux
SOI-Simox (1)
•Matériau très intéressant
– SOI-Simox : Silicon On Insulator, oxyde par
implantation
– Les pour :
• Faibles pertes intrinsèques
• Indice de réfraction élevé –> fort confinement optique –>
compacité des designs photoniques
• Très bien adapté à l’électronique
• Peu coûteux comparé au GaAs et à l’InP.
– Les contres :
• Lithographie haute résolution requise
• Peu de gain optique jusqu’à présent
• Peu compatible avec la fibre optique standard

Guides d’onde dans les matériaux
SOI-Simox (2)
• Étude modale :
– Régime
monomode :
dimensions
maximales à λ
= 1.55µm
– Guide à forte
dispersion
chromatique

Guides d’onde dans les matériaux
SOI-Simox (3)
• Fabrication :
–Lithographie e-beam*
– Photolithographie 130nm ou moins
– Lithographie X-Ray
–Nano-estampage* - sub10nm !
– Gravure du silicium par plasma