Contact Métal Semi-conducteur

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Contact Métal Semi-conducteur
Diode Schottky

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Contact Métal/SC: diode Schottky
Plusieurs applications:
Interconnexions
Contact Ohmique
Diode à barrière Schottky
Survol des jonctions Isolant/SC
État de l’art

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Les interconnexions
Actuellement, 6 à 8
niveaux de métal sur les
« puces » (=> 10)
Problèmes :
Retards du signal
Échauffement
Compatibilité/ diffusion
avec le dispositif
Utilisation croissante de
la technologie « cuivre ».

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Les interconnexions
Matériau à faible
constante diélectrique
«low k »
Résistivité les plus
faibles possibles :
filière Cu
d
S
C
S
l
R
RC

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