Remerciements
Tous d’abord j’adresse ma gratitude au Pr.Tayeb Mohammed-Brahim, pour m’avoir accueilli
dans le cadre de cette thèse au sein de son département Microélectronique et Microcapteurs de
l’IETR à l’Université de Rennes1.
J’adresse mes vifs et sincères remerciements cette fois à l’encadrant de cette thèse le Pr.Tayeb
Mohammed-Brahim, pour la qualité de son encadrement, et son savoir scientifique. Je
souligne aussi son important investissement et son engagement qui m’inspirent un profond
respect.
Je remercie Emmanuel Jacques, co-encadrant de la thèse, pour le soutien qu’il m’a apporté,
ses précieux conseils et ses ambitions contagieuses.
Je remercie monsieur Gilles Horowitz, Directeur de recherche émérite CNRS de l’école
polytechnique Palaiseau, et monsieur Lionel Hirsch, directeur de recherche CNRS de l’IMS
Bordeaux, d’avoir accepté de rapporter les travaux de cette thèse.
Je tiens aussi à remercier madame Abla Rahal, professeur de l’Université d’Alger, et
monsieur Cyril Poriel, chargé de recherche de l’Université Rennes 1, ainsi que monsieur
Olivier Simonetti, maître de conférence de l’Université de Reims, d’avoir bien accepté de
faire partie du jury et d’examiner cette thèse.
Je remercie le personnel du laboratoire IETR : Merci Christophe Le Breton, pour tous les
dépôts or et les fois où la SET faisait des siennes. Merci Olivier De Sagazan, pour les dépôts
or aussi et quand la MA6, cette fois, faisait des siennes. Merci Hervé Lhermite pour tes
conseils qui m’ont été bien utiles en salle blanche. Merci à Christophe Guitton pour sa
précieuse aide dans la conception des masques fenêtre. Merci à Samuel Crand de m’avoir
permis de décrocher des missions d’enseignements à l’ISTIC.
Je remercie Nathalie Coulon pour toutes les mesures MET et XPS, ainsi que Maxime Harnois
pour sa bonne humeur et ses questionnements, parfois pertinents, qui m’ont fait réfléchir plus
d’une fois. Grand merci à nos deux secrétaires Nathalie et Fabienne.