Micro-transformateur - FR

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Micro Transformateurs Piézoélectriques
Plan de l’exposé:
• 1:Contexte et problématique
• 2:Conception et modélisation
• 3:Structures et procédés technologiques
• 4:Démonstrateurs réalisés et résultats obtenus
• 5:Électronique intégrée d’élévation de tension
• 6:Bilan et perspectives

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Micro Transformateurs Piézoélectriques
• Projet de recherche du P.F.M
• Convention d’étude (sept.2000 – sept. 2003)
– CNES de Toulouse (J. Garnier)
– ENS de Cachan (E. Sarraute & F. Costa)
• En collaboration avec
– ESIEE de Marne la Vallée (P. Sangouard)
– IEF d’Orsay (A. Bosseboeuf)
– IEMN de Valenciennes (E. Cattan & D. Remiens ) au MIMM
(Materials for Integration in Micro electronic and Microsystems)
• Thèse de Dejan Vasic (soutenance effectuée le 26/06/03)

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1. LES SYSTEMES ABANDONNEES
SOURCE
D' ENERGIE
Electrique
ou
Mécanique
MICRO
TRANSFORMATEUR
PIEZO-ELECTRIQUE
RESERVE
FONCTIONNELLE
D'ENERGIE
MICRO
ACTIONNEUR
OU
CAPTEUR
MICROSYSTEME
AUTONOME
INFORMATIONS
MODULATEUR
DE FREQUENCE
•Principe Prototype
entrefer
sortie
H
F
1
sortie
H
F
2
entrée
L
F
entrée
L
F
entrée HF masse
plaque de
silicium en
torsion
substrat de
verre
3 mm
commande
BF
Entrée HF
Sorties HF
BF
GND
Modulateur de Fréquence
( E.S.I.E.E 2001)

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1. TRANSFORMATEURS PIEZOELECTRIQUES
PRINCIPES
ENERGIE
ELECTRIQUE
AIBLE NIVEAU
ENERGIE
MECANIQUE
VIBRATOIRE
ENERGIE
ELECTRIQUE
FORT NIVEAU
EFFET
PIEZOELECTRIQUE
INVERSE
EFFET
DIRECT
F

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1. Contexte et problématique
•Principe
– Mise en vibration d’une structure piézoélectrique
– Exploitation des effets piézoélectriques inverse et direct
– Transformateur piézoélectrique = Filtre sélectif
Rendement et Gain = fonction ( fréquence et de la charge)
- Exploitation de certains modes de résonance
Déplacement
Contrainte