1-Technical Reference_FR.qxp
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Optique MIROIRS SYSTÈMES OPTIQUES KITS OPTIQUES LENTILLES CYLINDRIQUES & SPÉCIALES LENTILLES SPHÉRIQUES GUIDE DE SÉLECTION DOCUMENTATION TECHNIQUE 508 Miroirs à rotation rapide • • • • • • • FSM-300-01 Point pivot unique pour la rotation autour de X et de Y Suspension flexible brevetée Plage angulaire optique ≥ ±3° Résolution angulaire optique ≤ 2 μrad (RMS) Asservissement rapide en boucle fermée, jusqu’à 800 Hz Nouveaux assemblages de miroirs remplaçables sur le terrain Plage angulaire plus grande que celle des miroirs actionnés par cellule piézo-électrique • Déflexion sans mouvements parasites, contrairement aux systèmes de miroirs galvanométriques doubles XY Le miroir à rotation rapide (Fast Steering Mirrors, FSM-300) offre une rotation à très large bande passante selon deux axes avec une résolution inférieure au microradian. Newport propose des conceptions standard économiquement viables pour une utilisation commerciale étendue, pour des applications telles que la stabilisation des faisceaux laser, le balayage laser, le pointage laser, le suivi et la stabilisation des images. Applications Le design compact du FSM-300 fait appel à une suspension flexible brevetée pour assurer le mouvement du miroir, les surfaces de support souvent utilisées avec les scanners galvanométriques sont éliminées, ainsi que la friction et l’usure généralement associées. Cela permet d’obtenir un mouvement tout en douceur, une précision particulièrement élevée et des durées de cycles pratiquement infinies. • Pointage laser • Stabilisation de faisceau laser • Balayage laser • Poursuite asservie • Stabilisation d'image La rotation rapide de la grande largeur de bande est assurée par quatre vérins à bobine mobile. Montés par paires antagonistes, ils appliquent un couple régulier et uniforme au miroir. Une boucle de retour optique interne est intégrée dans la tête du FSM-300 pour assurer un retour de position en rapport avec le cadre support pour un pointage, un balayage et une poursuite précis et stables. Utilisé en combinaison avec un positionneur de faisceau laser de la série OBP de Newport ou une alvéole pyramidale, un FSM-300 peut rapidement verrouiller le détecteur pour un contrôle et une stabilisation rapides du faisceau laser. Ensemble miroir FSM-300. Le contrôleur/pilote établit l’interface de rétroaction entre les capteurs d’angle et les pilotes, fournissant aux bobines acoustiques le courant qui leur permet d’incliner et d’orienter l’assemblage de miroirs. Il fournit également une interface pratique entre l’utilisateur et le miroir, ce qui permet d’appliquer des tensions de commande et de surveiller la position du miroir. Le contrôleur/pilote contient les circuits de contrôle, les pilotes de courant, l’alimentation électrique universelle et l’interface utilisateur. Le contrôleur de la série FSM-CD300 intègre des micrologiciels mis à niveau qui permettent des réglages du gain indépendant et du décalage c.c. sur les deux axes X et Y. Cette avancée améliore, de manière significative, les performances du système pour les applications de pointage laser, telles que la numérisation par balayage, nécessitant des mouvements point-à-point contrôlés précis. Les miroirs à rotation rapide ont un encombrement plus faible que les scanners doubles galvanométriques XY. Avec eux, il est inutile de déplacer le faisceau pour mettre en place un deuxième galvanomètre ou de compenser la rotation de polarisation due à une réflexion supplémentaire. Comparés aux scanners galvanométriques, les miroirs FSM présentent de meilleures performances optiques, de plus grandes ouvertures, une plus faible distortion du front d'onde et un plus grand choix de substrats et de traitements. Contrairement aux galvanomètres doubles XY, leurs axes de rotation se coupent en un point pivot unique, ce qui garantit une déflexion de faisceau sans mouvement parasite. Face arrière. Face avant du contrôleur FSM-300. PRISMES Newport propose une série de produits standard de FSM-300 avec un miroir de 25,4 mm de diamètre (miroir sur cavalier). Ceci permet à l'utilisateur sur le terrain de remplacer le miroir standard par le miroir le plus approprié à son application. Les miroirs de diamètre 25,4 mm sont vendus séparément. Vue arrière du contrôleur FSM-300. Téléphone : +33 (0)1.60.91.68.68 • Télécopie : +33 (0)1.60.91.68.69 Optique Ensemble miroir FSM-300-01 Nombre d'axes 2 (Élévation/Azimut) Plage angulaire à partir de ±10 V ±26,2 mrad (±1,5°), mécanique (1) ≤ 1 μrad RMS, mécanique (1) Résolution ≤ 3 μrad RMS, mécanique (1) Répétabilité Précision sur ±26,2 mrad, 25 °C ≤ 0,262 mrad (0,015°), mécanique (1) (1) ≤ 1,0 % (1) Bande passante en boucle fermée (-3 dB) 800 Hz à 10 mV (typique) Bande passante en boucle fermée pour un retard de phase (60° lag) 400 Hz (typique) Compensation ≤ 3 dB Planéité de réponse (2) ≤ 3 μrad RMS Angle équivalent au bruit Résolution du capteur de position local ≤ 0,5 μrad Plage de température de fonctionnement 0 à 50 °C c Plage de température de stockage -20 à 55 °C Masse 0,45 kg Longueur du câble de connexion 3m Matériau du substrat du miroir diélectrique Pyrex Mécanisme de maintien du miroir Miroir collé sur un cavalier en aluminium, remplaçable sur le terrain Point pivot des axes (centré sur le miroir) 12,19 mm en arrière de la surface du miroir Diamètre du miroir 25,4 mm Épaisseur du miroir 6 mm ≤ 5 arcmin Ouverture utile (à une incidence 0) ≥ 20,3 mm ≥ 14,4 mm Ouverture utile (à un angle d'incidence de 45°) Aluminium renforcé : > 93 %, 450–700 nm Or protégé : > 96 %, 650–1700 nm ; > 98 %, 1,7–2,0 μm Réflectivité (2) ≤ λ/8 à 632,8 nm sur l'ouverture utile Planéité de surface (2) (après traitement et collage) rayure-piqûre 15–5 Qualité de surface (2) LENTILLES CYLINDRIQUES & SPÉCIALES Angle du miroir (2) LENTILLES SPHÉRIQUES ≤ 10 minutes Temps d'échauffement du capteur jusqu’à la stabilité du miroir à 25 °C (1) GUIDE DE SÉLECTION Linéarité sur ±26,2 mrad, 25 °C DOCUMENTATION TECHNIQUE Spécifications typiques 509 Plage angulaire optique est égale à deux fois la plage angulaire mécanique. Les paramètres optiques s'appliquent à ~80 % de l'ouverture. Commandes entrée et sortie DIT Analogique, ±10 V = ±26,2 mrad Puissance crête fournie au FSM 30 W Puissance moyenne maximum fournie au FSM 15 W Protection thermique 60 °C au niveau des bobines du miroir Protection contre dépassement de courant Plage de température de stockage Poids Volume [l x L x P] 3 A crête, 2 A RMS 0 à 50 °C -20 à 55 °C 100–240 V, 50/60 Hz, 2,5 A FSM-300: 2.5 kg FSM-300: 229x88x254 mm Note : Les performances sont basées sur un signal d'entrée D-A sinusoïdal bien défini et régulier. Contactez Newport concernant des entées alternatives (Signaux carré, triangulaire, D-A basse résolution sinusoïdal) qui pourraient affecter les performances du système. SYSTÈMES OPTIQUES Plage de température de fonctionnement Alimentation KITS OPTIQUES Contrôleur MIROIRS PRISMES e - m a i l : f r a n c e @ n e w p o r t - f r. c o m • w e b : w w w. n e w p o r t . c o m Optique Diagramme de Bode typique du FSM Réponse de gain typique pour excitation de petit angle Typique 100 0 -1 -2 ––– FSM-300 ••••• -3 dB -3 0° Réflectivité (%) 1 Amplification (dB) 90 80 ER.1 Protection aluminium 70 60 -4 0,4 0,6 0,8 -5 -6 Typique 100 -7 0° LENTILLES SPHÉRIQUES -8 10 100 1000 10000 Fréquence (Hz) 90 80 ER.4 Protection or 70 Réponse de phase typique pour excitation de petit angle 10 0 -10 60 0,4 0,6 0,8 -20 -30 Amplification (dB) LENTILLES CYLINDRIQUES & SPÉCIALES -50 -60 -70 -80 ––– FSM-300 ••••• Retard de phase : 60° -90 -100 -110 -120 -130 -140 -150 -160 -170 -180 100 Fréquence (Hz) 1000 10000 Zone de fonctionnement typique d'un FSM Plage de fonctionnement typique 100 10 Amplitude (mrad) KITS OPTIQUES 10 SYSTÈMES OPTIQUES 2 4 6 8 10 Longueur d'onde (µm) -40 1 ––– FSM-300 0,1 MIROIRS 2 4 6 8 10 Longueur d'onde (µm) Réflectivité (%) GUIDE DE SÉLECTION DOCUMENTATION TECHNIQUE 510 0,01 0 40 50 150 250 350 450 550 650 750 850 950 Fréquence (Hz) Informations pour commander Description FSM-300-01 Miroir diamètre 25,4 mm avec traitement ER.1 FSM-300-02 Miroir diamètre 25,4 mm avec traitement ER.4 PRISMES Référence Téléphone : +33 (0)1.60.91.68.68 • Télécopie : +33 (0)1.60.91.68.69 Optique DOCUMENTATION TECHNIQUE Référence pour commander des miroirs de rechange Matériau Description complète Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement UV aluminium renforcé AL.2, 250–600 nm FSM-300-M-02 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitementaluminium renforcé ER.1, 450–700 nm FSM-300-M-03 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement en argent protégé ER.2, 480–1100 nm FSM-300-M-04 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement or protégé ER.4, 650–1700 nm FSM-300-M-05 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement diélectrique large bande, visible BD.1, 488–694 nm FSM-300-M-06 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement diélectrique large bande, BD.2, proche IR, 700–950 nm FSM-300-M-07 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement DM.6 pour laser, HeCd, 441,6 nm FSM-300-M-08 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement DM.5 pour laser, argon-ion, 488/514,5 nm FSM-300-M-09 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement DM.4 pour laser, NeHe, 632,8 nm FSM-300-M-10 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement DM.10 pour laser, Nd:YAG, 1064 nm FSM-300-M-11 Miroir de rechange pour FSM-300 Pyrex® Traitement DM.8 pour laser, diode, 1520–1580 nm FSM-300-M-12 Miroir de rechange pour FSM-300 Silice fondue UV Traitement diélectrique HM.10 pour haute énergie, Nd:YAG, 1064 nm FSM-300-M-13 Miroir de rechange pour FSM-300 Silice fondue UV Traitement diélectrique HM.30 pour haute énergie, Nd:YAG, 532 nm FSM-300-M-14 Miroir de rechange pour FSM-300 Silice fondue UV Traitement diélectrique HM.15 pour haute énergie, Nd:YAG, 1064 nm FSM-300-M-15 Miroir de rechange pour FSM-300 Silice fondue UV Traitement diélectrique HM.35 pour haute énergie, Nd:YAG, 532 nm FSM-300-M-16 Miroir de rechange pour FSM-300 Silice fondue UV Traitement diélectrique EM.30 pour haute énergie, excimère, 351–353 nm FSM-300-M-17 Miroir de rechange pour FSM-300 Silice fondue UV Traitement diélectrique EM.35 pour haute énergie, excimère, 351–353 nm 12,7 31,8 FSM-300 LENTILLES SPHÉRIQUES Description FSM-300-M-01 GUIDE DE SÉLECTION Référence Pour plus d’informations sur les traitements des miroirs, consultez le guide de sélection des miroirs (cf. page 514). 511 26,3 4 vis 4-40 Fixation du FSM sur sa base Ouverture utile : > Ø 20 mm pour miroir diélectrique LENTILLES CYLINDRIQUES & SPÉCIALES 38,7 57,3 Connecteur Sub-D 15 KITS OPTIQUES 66,7 56,8 38,1 28,6 SYSTÈMES OPTIQUES 9,5 16,6 31,7 54 36 103,8 88,9 82,6 MIROIRS 96,2 3,2 FSM-300 Series 6,4 18,1 63,5 e - m a i l : f r a n c e @ n e w p o r t - f r. c o m • w e b : w w w. n e w p o r t . c o m 5 trous Ø 7,14 pour vis M6 PRISMES 54 57,2
