Interfaces, Multimatériaux, Sources et Optiques X

Interfaces, Mutimatériaux,
Sources et Optique X
J.-M. André (IR)
C. Bonnelle (PrE)
P. Jonnard (DR)
K. Le Guen (MdC)
H. Maury (Thèse 2004 - 2007)
G. Turk (Thèse 2007 - …)

Caractérisation de multi-matériaux
de dimensions nanométriques
par spectroscopie et optique X
Développement de dispositifs
spectroscopiques et optiques pour
la caractérisation des matériaux
Thématique

(1) Analyse combinée de
multicouches périodiques
• Méthodes non destructives
• Réflectivité X
Analyse géométrique
• Spectroscopie d’émission X
Analyse physico-chimique
• Compréhension des phénomènes interfaciaux
• Optimisation des propriétés

IRIS Apparatus
(Instrument de Recherche sur les Interfaces et Surfaces)
R
crystal
= 500 mm
virtual
source
gas-flow
(Ar-CH4)
Geiger
detector
crystal
x-ray
source
under UHV

two-crystal
monochromator
goniometer
x-ray
tubes mirror 1
mirror 2 sample
holder
detector
entrance
slit
réflectomètre rayons X mous
or
spectromètre plan
Spectro-goniomètre MONOX