Instrumentation Canons à électrons

Rappel du cours précédentElectrons-matière
interactions électron –matière :
-diffusion élastique par le potentiel électrique de l’atome
Äélectron diffusé élastique
-diffusion inélastique par un électron du nuage électronique
Äélectron diffusé inélastique, électron secondaire
Äphoton X ou électron Auger
-freinage électrostatique par le noyau atomique
Ärayonnement X de freinage

Microscopies électroniques et techniques associées
Plan du cours
1–Les interactions électrons –matière
2–Microscopie électronique en transmission (MET)
3–Microscopie électronique à balayage (MEB)
4–Microanalyse par sonde électronique (EPMA)

2. Microscopie électronique en transmission
2.1. Principe
ð Images formées par les électrons ayant traversé l’échantillon
2.2. Mise en œuvre et fonctionnement
ð Les éléments constituant un MET
2.3. Le mode diffraction électronique
2.4. Les deux modes image
2.5. Microscopie pratique

MET 2.1. Principe
Électrons
incidents (l0)
Échantillon fin amorphe
Électrons transmis sans
interaction (l= l0)Électrons diffusés élastiquement (l= l0) ou inélastiquement (l> l0)
Légende
Plan objet
3
1 1 1
Le pouvoir de diffusion
varie d’un point à l’autre
de l’échantillon
Lentille objectif
Plan image
conjugué
F’
3 33 Intensité
reçue
Lentille seule :
L’intensité est la même en tout point du plan image
ðPAS (ou peu) de contraste !
ABC
C’B’A’
33
33

Plan objet
Lentille objectif
Plan image
conjugué
F’
MET 2.1. Principe
Électrons
incidents (l0)
Électrons transmis sans
interaction (l= l0)Électrons diffusés élastiquement (l= l0) ou inélastiquement (l> l0)
Légende
33 3
33
3 31
1 1 1
Intensité
reçue
Lentille + diaphragme de contraste :
Intensité plus faible sur l’image óPoint de l’objet de plus fort pouvoir diffusant
Le contraste en mode image est un contraste de diffusion.
Diaphragme de contraste
(dans le plan focal)
Échantillon fin amorphe
sombreclair
Le pouvoir de diffusion
varie d’un point à l’autre
de l’échantillon