Nouveaux concepts pour l`intégration 3D et le

THÈSE
Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ DE GRENOBLE
Spécialité : Génie électrique
Arrêté ministériel : 7 août 2006
Présentée par
Kremena VLADIMIROVA
Thèse dirigée par Christian SCHAEFFER et
codirigée par Jean-Christophe CREBIER et Yvan AVENAS
préparée au sein du Laboratoire de Génie Electrique de
Grenoble (G2Elab)
dans l'École Doctorale « Electrotechnique Electronique
Automatique et Traitement du Signal »
Nouveaux concepts pour
l’intégration 3D et le refroidissement
des semi-conducteurs de puissance
à structure verticale
Thèse soutenue publiquement le
11 mai 2012,
devant le jury composé de :
M. Thierry LEBEY
Directeur de recherche, CNRS Toulouse, Président
M. Hervé MOREL
Directeur de recherche, CNRS Lyon, Rapporteur
M. Henri SCHNEIDER
Maître de conférences, INP-Toulouse, Rapporteur
M. Laurent DUPONT
Chargé de recherche, IFFSTAR, Versailles Membre
M. Olivier LESAINT
Directeur de recherche, CNRS Grenoble, Membre
M. Christian SCHAEFFER
Professeur des universités, INP-Grenoble, Membre
M. Yvan AVENAS
Maître de conférences, INP-Grenoble, Membre
M. Jean-Christophe CREBIER
Chargé de recherche, CNRS Grenoble, Membre

Remerciements

Remerciements
Sur cette page dédiée aux remerciements je souhaite m’adresser à toutes les personnes
qui m’ont aidé à grandir dans l’univers des sciences et des technologies durant ces trois
années de thèse.
Je tiens tout d’abord à remercier l’ensemble des membres de mon jury de thèse ; Thierry
Lebey d’avoir accepté d’être le président de ce jury ; Hervé Morel et Henri Schneider d’avoir
accepté d’être rapporteurs de mon travail de thèse ; Laurent Dupont et Olivier Lesaint
d’avoir accepté de faire partie de ce jury en tant qu’examinateurs.
Un grand merci à mon directeur de thèse Christian Schaeffer pour la confiance qu’il m’a
accordé, pour son honnêteté et ses compétences scientifiques et humaines.
J’adresse ma profonde reconnaissance et mes sincères remerciements à mes encadrants
Jean-Christophe Crebier et Yvan Avenas – mes maitres Jedi qui guidaient avec tant de
dynamisme leur jeune padawan vers la lumière de la science. Je n’oublierai jamais nos
réunions au cours desquelles des propositions, des solutions et des idées ruisselaient telle une
source inépuisable née par leur passion envers la recherche. Merci !
Je remercie infiniment Claude Brun (Djidji) pour son aide précieuse pour la construction
du banc de caractérisation expérimental. Merci Djidji pour ta patience, ta précision et tes
compétences que tu partages si généreusement avec nous – les débutants dans le monde de
la mécanique.
Je souhaite aussi remercier toutes les personnes du laboratoire qui m’ont apporté des
conseils ou d’aide au cours de ma thèse – permanents, doctorants et également les stagiaires
avec lesquels j’ai travaillé – mention spéciale pour mes stagiaires Julian, Fabien, Siyana,
Nicolay et Georgy. Je tiens à remercier très spécialement Eric Vagnon pour son optimisme,
ses idées précieuses et son implication dans les dernières mesures expérimentales.
Je voudrais adresser mes remerciements à tout le personnel du CIME – Nanotech,
Stephane Litaudon pour m’avoir confié tous les secrets d’utilisation de la DRIE, Delphine
Constantin, Jean-Michel Terrot et Bruno Gonzalez pour leurs conseils et aides en salle
blanche, Irene Pheng pour la découpe des wafers et les bondings de mes prototypes,
Alexandre Chagoya pour son aide particulière concernant les outils de design, Loic Vincent
pour sa disponibilité, sa bonne humeur et pour avoir supporté pendant toutes ces années
toutes mes descentes en piqué dans son bureau pour lui poser des questions plus ou moins
vitales.
C’est à l’homme avec qui j’ai partagé cette aventure mais d’un point de vue plus
personnel à qui je souhaite témoigner mes remerciements les plus profonds. Merci Chris de
m’avoir donné la force nécessaire pour repousser mes propres limites et d’avoir apporté tant
de chaleur, de douceur et d’équilibre dans mon petit monde.
Un merci chaleureux à toute ma famille et plus particulièrement à ma mère qui m’a
toujours soutenue et encouragée et qui dès l’âge de 3 ans en me montrant l’image suivante :
(l’original se situe dans mon livre fetich) m’a appris
qu’il est essentiel de savoir voir au delà des apparences.