Intégration de transistors haute tension en technologie CMOS 0,13

N° d'ordre : 2005 ISAL 0065 Année 2005
Thèse
Intégration de transistors haute tension
en technologie CMOS 0,13 µm
pour la gestion d'énergie des systèmes portables
Présentée devant
L’Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
Pour obtenir
le grade de Docteur
Formation Doctorale : Dispositifs de l'Electronique Intégrée
École Doctorale : Sciences pour l'Ingénieur de Lyon :
Electronique, Electrotechnique, Automatique (EEA)
Par
Carloman GRELU
Ingénieur INSA
Soutenue le 28 Septembre 2005 devant la Commission d’Examen
Jury :
R.A BIANCHI Ingénieur, Docteur STMicroelectronics
J. BOUSSEY Chargée de Recherches CNRS IMEP Grenoble Rapporteur
J.P. CHANTE Professeur CEGELY, INSA Lyon
J. MILLAN Professeur CNM Barcelone
F. MORANCHO Maître de Conférences UPS-LAAS Toulouse Rapporteur
C. PLOSSU Professeur LPM, INSA Lyon Directeur de Thèse
Invités :
N. BABOUX Ingénieur, Docteur LPM, INSA Lyon
O. NOBLANC Ingénieur STMicroelectronics
« A tout le monde, à tous mes amis... » (Dave Mustaine -Youthanasia – 1994)
Carloman GRELU INSA LPM / STMicroelectronics Crolles 1
Carloman GRELU INSA LPM / STMicroelectronics Crolles 2
Remerciements
Je tiens tout d'abord à remercier Mr Marcel ROCHE pour m'avoir gardé au sein de son
équipe à la suite de mon stage de fin de cycle d'ingénieur et pour m'avoir suivi régulièrement.
Je remercie Olivier NOBLANC pour m'avoir remotivé au bon moment, me permettant ainsi
d'écrire ces lignes.
Merci à ma Directrice de Thèse Carole PLOSSU et à mon Ingénieur-Tuteur Raul-Andres
BIANCHI pour leur tutorat attentif et patient.
Je remercie Mme Jumana BOUSSEY et Mr Frédéric MORANCHO d'avoir accepté d'être
rapporteurs de mon travail de thèse. Je remercie également Mr José MILLAN et Mr Jean-Pierre
CHANTE pour leur participation au jury examinateur du travail présenté.
Remerciement spécial à Nicolas BABOUX pour sa disponibilité, ses nombreuses
interventions et échanges lors des longues périodes de mesure. Et merci à Christophe BUSSERET
pour m'avoir aidé pendant la période de rédaction.
Un grand merci à l'équipe entière HCMOS9A, notamment Bertrand MARTINET et Dominik
GOLANSKI sans qui je n'aurais pas eu autant de lots et de composants à caractériser.
Merci à tous les membres du LPM pour m'avoir permis de me sentir comme chez moi à
chaque venue.
Merci également à toute l'équipe Analog et plus particulièrement à Laurence BOISSONNET
pour m'avoir pris en stage au sein de son équipe, à Stéphanie CHOUTEAU pour avoir relu mon
manuscrit et à Emmanuelle SERRET pour ses nombreux conseils.
Petite pensée à tous les thésards de l'équipe...car je suis le premier à terminer.
Carloman GRELU INSA LPM / STMicroelectronics Crolles 3
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