La lumière dompte la matière

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Institut des Nanotechnologies
de Lyon
Y a-t-il une vie en dehors de la
microélectronique pour les semiconducteur?
• Microélectronique c’est le silicium
– Maturité technologique
• Matériau (qualité,pureté,possibilité de dopage,300K)
• Lithographie (résolution nanomètrique)
• Procédés éprouvés (gravure,dépôts,passivation…)
• Et surtout un dispositif le transistor MOS
La photonique
microscopie
éclairage
imagerie
fibre optique
solaire
laser
La miniaturisation
miroir de télescope
qq m
lentille
cm
fibre optique
10µm
nm
La nature de la lumière
Newton
Corpuscule
Huygens
Fresnel
onde
Maxwell
Einstein
photon
Comment dompter la lumière ?
• Optique
géométrique
– Miroir
– Lentilles
• Indice n :v=c/n
– Prisme
• n=n(l)
Le miroir
Réfraction
q1
air
n1=1
liquide
n2=1.3
q2=q1 n1/n2 pour de petits angles
q2
lentilles
Illustrations
spectroscope
microscope
télescope
La réflexion totale
air
n=1
liquide
n=1.3
Guide optique: guide réfractif
n1
n2
n2<n1
Guirlande pour déco
Taille millimétrique
Dispersion
• Indice dépend de la
couleur
– nbleu>nvert>nrouge
air
n=1
eau
n=1.3
• Effet prisme
Réduire la taille
• Pourquoi ?
– Réduire les coût du circuit (cf. microélectronique)
– Réduire le coût du packaging (fonctions
complexe=plusieurs circuits optiques à aligner)
– Circuit complexe
• limitation?
– Nature ondulatoire de la lumière
Optique ondulatoire
Huygens
Fresnel
Maxwell
diffraction
lumière
l
La lumière est une onde électromagnétique :
E= E0 sin (w t+K x)
w=2pf est la pulsation
K le vecteur d’onde avec K=2p/l dans le vide
bleu≈0.4µm, vert≈0.5µm, rouge≈0.6µm
Photonique « classique » :
la fibre optique
coeur
La photonique a été faite autour de la fibre
optique (telecom)
~10 µm
Exemple de circuit AWG
l1
l2
l3
l4
qq mm
Réduire la taille
• Pourquoi ?
– Réduire les coût du circuit (cf. microélectronique)
– Réduire le coût du packaging (fonctions
complexe=plusieurs circuits optiques à aligner)
– Circuit complexe
• Comment ?
– Plus fort contraste d’indice
– Nouveaux principes : par ex. cristaux photonique
La limitation : le guide
n1
n2
n1 >n2
Guide sur verre n1~ 1.5 et Dn ~ 10-2
Largeur de l’ordre de 10µm
Rayon de courbure min de l’ordre de 100µm
1ère approche augmenter Dn
Intérêts des SC pour la photonique
• Indice optique élevé (n>3)
• Conversion électron-photon
–
–
–
–
Diodes électroluminescentes
Lasers
Photodétecteurs
Cellules solaires
• Panoplie de matériaux vaste
– IV-IV: Si, Ge et leurs alliages
– III-V: GaAs, InP,InAs et leurs alliages
• Applications
– Telecom
– Interconnexions optiques
– Capteurs chimiques et biologiques
Structure à fort contraste d’indice:
un exemple le SOI
Si n=3.5
SiO2 n=1.5
Si n=3.5
Université Cornell
Des photons et des électrons
E
Gap indirect (Si,SiGe,SiC…)
Gap direct
(GaAs,InP…)
K
Laser
• Laser à semiconducteur
– Longueur de qq centaines de µm
• Comment réduire les dimensions
?
miroir
qq centaines
de microns
Milieu actif
miroir
Laser classique
– Augmenter la réflectivité des
miroirs
– Nouveaux types de cavités
Le miroir de Bragg
l/4n1
l/4n2
l/4n1
l/4n2
l/4n1
Réponse spectrale
l Bragg
Coefficient de réflexion
1
Bande interdite (BI)
BI ≈ arcsin((n1-n2)/(n1+n2))
0
Longueur d’onde
Le premier microlaser:
le laser à cavité verticale
miroir de Bragg
la fraction de
micron
Milieu actif
miroir de Bragg
Laser a cavité verticale
Les micropiliers
Diminuer encore la taille:
le microdisque
Réflection totale
n=3
Mode de Gallerie à fort Q et diamètre
du disque de l’ordre du micron
n=1
2µm
Disque GaAs
Couche active:
Boites quantiques InAs
Et au-delà:
les cristaux photoniques
Des ailes de papillons pour
apprivoiser la lumière
Les ailes de papillons
Les Objectifs
• Miroir parfait sans perte
– R=1 qq soit l’angle et la polarisation
• Pourquoi faire
– Mettre la lumière en cage
– Réalisation de nanocavités, nanoguides
• Comment
– Avec des ailes de papillons
Retour sur le miroir de Bragg
q=35°
q=45°
Coefficient de réflexion
q=0°
Longueur d’onde
Rappels
l
La lumière est une onde électromagnétique :
E= E0 sin (w t+K x)
w est la pulsation
K le vecteur d’onde avec K=2p/l dans le vide
bleu≈0.4µm, vert≈0.5µm, rouge≈0.6µm
Relation de dispersion
w
Vg =
=c
K
w
Vg est la vitesse de propagation de l’énergie
K
Approche cristal photonique
a
x
y
Deux symétries: translation continu suivant x (Opérateur Tx) et translation
discrète suivant y avec une periode a (Opérateur Ty,a)
Le théorème de Bloch nous dit que les modes sont de la forme :

iKx x iKy x 
E ( x, y ) = e e u Ky ( y )


avec u Ky ( y  a) = u Ky ( y )
Rq: Ky et Ky+n 2p/a correspondent au même mode
w(Ky) = w(Ky+n 2p/a ) on se limite donc en Ky à la zone [-p/a, p/a]
C’est la première zone de Brillouin
Autre point important on a w(-Ky) =w(Ky) (invariance par inversion du temps)
Visualisation
Allure d’un courbe de dispersion
w
Bande interdite
Bande interdite
-3p/a
Ici Kx=0
-p/a
0
Ky
p/a
Zone de Brillouin
irréductible
3p/a
Influence de Kx (l’angle d’incidence)
Vitesse de groupe
w
Vg=0
0
p/a
Ky
Vg
Vitesse de groupe
On peut avoir
Vg=0 !!!!
On peut ralentir
les photons
A quoi ça sert?
BI
w
Applications
•
•
•
•
Laser
Effet non linéaire
Effet superprisme
Ligne à retard optique
• Oui mais
– 1D
– Bande interdite partielle
• Comment faire apparaître une
bande interdite totale?
• Structure à 2 et 3dimension ?
Cristal photonique 2D
Le plus simple « percer » des trous ou faire des colonnes périodiques
Quelques considérations simples
a
2
a
2
a
Bande interdite totale
Miroir omnidirectionnel
diagonale
Coefficient de réflexion
coté du carré
Longueur d’onde
Les meilleures structures ?
tiges
trous
Réseaux hexagonal de trou
Brillouin zone and KPath
8
6
M
4
K
kz
2

0
-2
-4
-6
-8
er matériau =8.9
Periode =a
Rayon-trou=0.48*a
-6
-4
-2
0
kx
2
4
6
Relation de dispersion: une bande
interdite complète
Frequency (wa/2pc=a/l)
TE/TM Band Structure
0.8
TM
0.7
TE
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0.0

K
M

Structure de bande photonique
libre
w = cK = c
2
E= k
2m
2
électron
photon
Polarisation TE
Frequence reduite (wa/2pc=a/l)
0.6
0.5
0.4
Bande interdite
0.3
0.2
0.1
0.0

X
M

Kx
2
 Ky
2
Guidage
Guide droit
Virage à 90°
NanoLaser
Le plus petit laser du monde!!!
≈0.3µm
Mille fois plus petit
qu’un cheveu
Caltech
Quelques simulations
maintenant
On ne vit pas dans un mode 2D
On utilise le SOI comme plateforme « quasi 2D »
Etudes à NANOPTEC
4.0µm
topographie
Collaboration INL (INSA LYON)- IMEC
Comment les étudier?
Microscope à champ
proche optique
Les belles images
Guide à cristal photonique
Diviseur à cristal photonique
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