Dispositif de mesure des paramètres plasma par sonde de

Dispositif de mesure des paramètres plasma par
sonde de Langmuir : QUË ÐO
Descriptif de l’équipement :
Système portatif autonome (PC embarqué) haute résolution pour l’acquisition de courbes
de sondes de Langmuir Is(Vs), localisé au LPSC CRPMN, 53 Avenue des Martyrs, 38026
Grenoble / Alexandre BÈS, [email protected], 04 76 28 40 38
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Acquisition synchrone sur 4 voies simultanées de la tension Vs, du courant Is et de
deux signaux externes
Fréquence d’acquisition : 100 Hz / jusqu’à 1200 points par courbe
Résolution : Tension (Vs) 25 mV / Courant (Is) 0,1 μA
Tension - Courant maximum : +/- 100 V - 2 A
Boxcar : TTL opto-isolé, déclenchement sur front montant, résolution 200 ns,
jitter +/- 100 ns, fréquence maximale 100 kHz
Applications :
Détermination, par traitement de courbes Is(Vs), des paramètres plasmas : potentiels
flottant Vf et plasma Vp, densités des ions ni et des électrons ne, température des électrons Te,
fonction de distribution en énergie des électrons FDEE
Modalités d’utilisation :
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Réservation de l’équipements pour des campagnes de mesures de 1 à 2 semaines
(planning géré par le LPSC - CRPMN)
Système « plug & play », sans formation préalable nécessaire
Passage sous vide, écran, clavier et souris à fournir par l’utilisateur
Facturation du coût du transport et de la sonde à la charge de l’utilisateur, entre
200 et 300 euros (géré par le LPSC – CRPMN)
Exemples d’utilisation :
Plasma magnétisé, dérive des électrons. Logiciel testé au LPP et LSPM
Références
1.
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3.
4.
Extraction of large area low-energy electron beams from a multi-dipolar plasma, A. Lacoste, S. Béchu,
O. Maulat, J. Pelletier, Y. Arnal, Plasma Sources Sci. Technol, 18 (2009) 015017
Caractérisation et modélisation des plasmas micro-ondes multi-dipolaires / Application à la pulvérisation assistée par
plasma multi-dipolaire, thèse Tran Tan Vinh (2006)
Comparison between Langmuir probe and microwave auto-interferometry measurements at intermediate pressure in an
argon surface wave discharge, A. Rousseau, E. Teboul, S. Béchu, J. Appl. Phys. 98, 083306 (2005)
Determination of the EEDF by Langmuir probe diagnostics in a plasma excited at ECR above a multipolar magnetic
field, Lagarde, T., Y. Arnal, et al. Plasma Sources Sci. Technol. 10 (2001) 181-190