Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyperfréquence Institut d’Electronique du Sud University Montpellier II 14 septembre 2014 Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyperfréquence Étude qualitative de l’effet de résistance négative Critères d’oscillations Différents modes d’oscillations Propriétés Impédance Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Diode Schottky La diode Schottky est l’équivalent moderne de la diode à pointe au germanium, réalisée soit sur silicium, soit sur GaAs. C’est une jonction métal-semiconducteur dans laquelle la pointe est remplacée par une métallisation sous vide, sauf cependant pour certaines applications aux fréquences submillimétriques. La figure ?? donne la vue en coupe d’un tel dispositif ; les dimensions sont indicatives et peuvent varier d’une application à l’autre. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Structure de la diode Schottky. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Utilisation en détecteur Une des applications principales de la Schottky en hyperfréquence est la détection, c’est-à-dire l’obtention d’une tension continue V0 fonction de l’amplitude V du signal HF. Le schéma de principe d’une telle réalisation est donnée figure ??. Figure: Détection hyperfréquence par diode Schottky. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp L’expression de la tension V0 peut se mettre sous la forme : qV kT ln J (1) V0 = n q nkT où n est le facteur d’idéalité et J(x) la fonction de Bessel modifiée du premier ordre. Cette fonction est tabulée et l’on peut calculer V0 . Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Cependant deux cas intéressants peuvent se produire. Supposons que V soit suffisamment petit pour que qV /nkT 1, on peut alors développer la fonction J en série à l’ordre 2 et l’on obtient : qV qV 2 =1+ (2) J nkT 2nkT ce qui entraîne : V0 ≈ qV 2 4nkT (3) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Dans ce cas, la tension continue est proportionnelle au carré de l’amplitude du signal HF, le détecteur est dit quadratique et mesure alors une puissance. C’est dans ce mode que fonctionne généralement une détection HF. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Supposons maintenant le cas inverse qV /nkT 1, la fonction de Bessel peut être approximée par : J et donc : qV nkT = qV 2π nkT −1/2 qV e nkT nkT qV V0 = V − ln 2π 2q nkT (4) (5) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Le second terme est très faible devant V , donc la diode fonctionne en régime linéaire. La puissance HF de transition PT entre le régime quadratique et le régime linéaire est une donnée du constructeur. Deux autres données caractérisant les performances de la Schottky sont aussi très importantes : il s’agit de la fréquence de coupure et de la sensibilité. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp La fréquence de coupure est définie par : fc = 1 2πRs Cj (6) où Rs est la résistance série de la diode et Cj la capacité de jonction. Pour avoir une fréquence de coupure élevée, il faut donc diminuer Rs et Cj . Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Pour diminuer Cj , il faut prendre une surface minimale de jonction, d’où l’intérêt des diodes à pointes en submillimétrique. Pour diminuer Rs dans le cas d’une structure planar (figure ??), Il faut utiliser un substrat le plus mince possible et le plus dopé possible, mais la zone non désertée de la couche active participe aussi à cette résistance série et il faudrait donc aussi surdoper cette zone. Malheureusement, dans ce cas on augmente aussi la capacité de jonction, ce qui n’est pas le but recherché. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp La solution consiste alors à augmenter la mobilité de cette zone et donc à changer de matériau. Le GaAs permet de gagner un facteur six sur la mobilité par rapport au silicium. Les meilleures Schottky silicium ont actuellement des fc de 200 GHz contre plus de 1 000 GHz pour le GaAs. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp La sensibilité est l’aptitude que possède la diode à détecter de faibles signaux. Pour la caractériser, on utilise deux quantités : la sensibilité (S) et la sensibilité tangentielle (TSS). S est le rapport de la tension continue détectée V0 à la puissance P HF mesurée aux alentours de V0 = 1 mV, pour être sûr de rester en régime quadratique. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp En considérant la diode adaptée sur 50 Ω, on peut alors écrire : V2 100 (7) V0 100q = P 4nkT (8) P= et, en utilisant la relation (3) : S= Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp TSS permet de connaître la puissance du plus petit signal HF détectable Pmin . Compte tenu du bruit généré dans la diode, on obtient en sortie une f.é.m. équivalente de tension de bruit Vn même si P = 0. Ce bruit est caractérisé par sa résistance de bruit équivalente Req qui est liée à Vn par la relation suivante : q (9) Vn = 4kTReq ∆f où ∆f est la bande passante de l’appareil de mesure permettant de déterminer V0 . Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Généralement on considère que le signal utile V0 est détectable s’il est suffisamment élevé par rapport au bruit, typiquement V0 ≥ 2Vn . On peut écrire : Pmin = 2Vn /S (10) et la sensibilité tangentielle est alors : TSS = 10 log Pmin 2Vn = 10 log −3 −3 10 10 S (11) avec TSS exprimé en dBm (décibels par rapport au niveau 1 mV). Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Utilisation en mélangeur Le rôle d’un mélangeur est de transformer un signal a1 (t) = A1 cos 2πFt en un signal a2 (t) = A2 cos (2πfi t + ϕ), avec fi < F (changement de fréquence). Tout système non linéaire en électronique se comporte comme un multiplieur. Le produit de deux signaux sinusoïdaux, de fréquences F et FL , fait apparaître deux composantes sinusoïdales aux fréquences F + FL et |F − FL|. La caractéristique de la diode étant non linéaire en petit signal, elle est donc susceptible de jouer le rôle de mélangeur (figure ??). Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Mélangeur hyperfréquence avec diode Schottky Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp La capacité doit être calculée afin d’éliminer la fréquence F + FL (filtre passe-bas). Les caractéristiques requises pour la diode mélangeuse sont les mêmes que pour le détecteur, c’est-à-dire fréquence de coupure fc élevée et bruit propre faible. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Diode Gunn Gunn a observé en 1963 que des oscillations de courant se produisaient dans un barreau de GaAs de quelques dizaines de micromètres lorsqu’on le soumettait à des impulsions de tension de grande amplitude et que ce système constituait un générateur hyperfréquence dans la gamme du gigahertz. Cet oscillateur est fondé sur la conductivité négative obtenue sur des matériaux ayant une bande de conduction avec deux minimums (figure ??) (correspondant à une direction du → − vecteur d’onde k ), dans lesquelles les masses effectives et donc les mobilités électroniques sont très différentes. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Diode Gunn. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp L’effet Gunn a été observé principalement sur GaAs, InP, GaAsP, GaSb, CdTe, ZnSe. Le mécanisme de base, imaginé par Ridley, Watkins et Hilsum en 1961 et 1962, est un transfert électronique, sous l’effet du champ électrique, d’une vallée de haute mobilité (µ1 , n1 ) vers une vallée de basse mobilité (µ2 , n2 ). Dans GaAs on a µ1 = 8000 cm2 /(Vs) et µ2 = 175 cm2 /(Vs). Comme tous les phénomènes d’instabilité en volume contrôlés par la tension, l’instabilité résulte de la formation d’un domaine de champ électrique intense qui transite de la cathode à l’anode et qui se traduit par le transit de paquets de porteurs avec une vitesse de dérive vd (figure ??). Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Simulation montrant le transit des porteurs dans une diode Gunn de 10 µm de zone active. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Étude qualitative de l’effet de résistance négative Si est le champ électrique E, J la densité de courant et σ la conductivité et s’il n’y a pas injection de porteurs (n1 + n2 =Cte ), il vient : σ = q(µ1 n1 + µ2 n2 ) (12) dσ dJ =σ+E (13) dE dE d µ1 d µ2 dJ dn1 = q(µ1 n1 +µ2 n2 )+qE (µ1 − µ2 ) + n1 + n2 dE dE dE dE (14) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Si l’on suppose que µ1 et µ2 sont proportionnels à E −r (r étant une constante spécifique des mécanismes d’interaction), et que µ1 µ2 et n1 µ1 n2 µ2 , la condition de résistance différentielle négative (dJ/d E < 0) s’écrit : 1−r <− dn1 /n1 d E/E (15) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Lorsque dn1 /d E est négatif (puisqu’il y a vidage, lorsque le champ augmente, de la vallée 1 vers la vallée 2), la condition de la relation (15), sera d’autant mieux vérifiée que r est proche de 1. Bien souvent, la mobilité à fort champ varie en E −1/2 , c’est-à-dire que r = 1/2, et toujours à très haut champ. On atteint le régime de vitesse limite vl , tel que µ = vl E −1 , c’est-à-dire r = 1. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Pour que la résistance différentielle négative apparaisse, il faut que la séparation énergétique des deux minimums soit de quelques 10−2 eV. Si celle-ci est trop large, il n’y a pas de transfert de 1 à 2 ; si elle ne l’est pas assez, la bande 2 est déjà peuplée à bas champ. La caractéristique (J,E) est représentée figure ??, sur laquelle on a noté le champ de seuil Es (Es ≈ 3,2 kV/cm dans GaAs) au-dessus duquel on obtient l’effet Gunn. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Caractéristique densité de courant-champ électrique dans une diode Gunn Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Critères d’oscillations On sait que la solution du système d’équations locales suivant : → − ρ div E = ε → − (16) J = σE → − ∂ρ ∂t + div J = 0 est du type : ρ = ρ0 e −t/td (17) avec td = ε/σ temps de relaxation diélectrique. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Dans un milieu à conductivité positive, toute zone d’accumulation de charge doit retourner vers 0 (neutralité électrique) avec la constante de temps td . Par contre, dans un milieu à conductivité négative, la charge croît en e t/td , avec td = ε/|σ|, jusqu’au moment où elle atteint l’anode, au bout du temps : ∆t = l vl (18) avec l longueur du barreau, vl vitesse limite. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Le critère de formation d’une charge d’espace importante est que le facteur de croissante e ∆t/td soit beaucoup plus grand que l’unité, c’est-à-dire : l |σ| >1 εvl ou n0 l > εvl q|µ| (19) (20) avec n0 densité d’électrons à faible champ (n1 + n2 ), |µ| valeur absolue de la mobilité négative et vl vitesse limite. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp La fréquence d’oscillation f est de l’ordre de l’inverse du temps de transit, soit f = vl /l , ce qui donne 1 à 10 GHz pour des échantillons de 1 à 100 µm dans GaAs. Pour le GaAs, la condition de la relation (20) s’écrit : n0 l > 1012 cm−2 (21) C’est la condition d’oscillation pour une instabilité du type dipôle (mode Gunn ou transit-time mode), le temps de transit étant toujours à peu près le même. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Pour une instabilité d’un seul signe, le temps de transit dépend du point de formation et donc l’oscillation pourra être obtenue pour avec un circuit accordé extérieur (pure accumulation-layer mode). L’intérêt surtout est l’utilisation en amplificateur, avec des gains de quelques unités, à la fréquence de transit. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Différents modes d’oscillations Si un échantillon où n0 l > 1012 cm−2 est connecté à un circuit résonnant, trois modes sont possibles suivant que le domaine à haut champ se déplace normalement d’une électrode à l’autre (mode Gunn), est annihilé avant son arrivée à l’anode (mode à étouffement, quenched mode), ou est tel que sa formation est plus ou moins retardée (inhibited domain mode). Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Le mode LSA (limited space-charge accumulation mode) est obtenu lorsque, dans certaines conditions (cf. ci-après), on place un circuit résonnant en parallèle avec l’échantillon, de telle sorte que le champ total devienne inférieur au champ de seuil durant une partie du cycle. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Le critère d’oscillation LSA s’obtient facilement en écrivant que la période 1/f doit être plus importante que le temps de relaxation diélectrique à champ E < Es pour permettre la disparition, à chaque période, de la charge accumulée, mais bien plus petite (au moins trois fois) que le temps de relaxation diélectrique à champ E > Es pour empêcher alors toute formation de distribution de charges additionnelles, soit : 1 ε ε 3 qn0 µ0 f qn0 |µ| (22) avec µ0 mobilité à faible champ, |µ| valeur absolue de la mobilité négative. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Pour l’arséniure de gallium, la condition d’établissement des oscillations s’écrit : 1,4 × 103 n0 2 × 105 (s/cm3 ) f (23) Dans la pratique, le mode LSA oscille pour : 104 n0 2 × 105 (s/cm3 ) f (24) On obtient des oscillations dépassant 100 GHz, avec des rendements atteignant 3 à 10 %, et de puissance égale à plusieurs centaines de milliwatts à 10 GHz. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Diode PIN La figure ?? montre la structure schématisée d’une diode PIN réalisée en technologie mesa. C’est une jonction PN ayant une zone intrinsèque (zone I) entre les couches P et N. En pratique, cette zone est une zone à haute résistivité de type P (zone π) ou de type N (zone ν), de telle sorte que l’on a une diode PπN ou PνN. Cette structure est identique à celle des PIN utilisées en électronique de puissance en tant que redresseurs (bonne tenue en tension). Cependant, la propriété que l’on exploite en hyperfréquence est totalement différente. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Structure d’une diode PIN. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Propriétés Par sa structure, la diode PIN est équivalente à une résistance de très forte valeur (zone I) en série avec une jonction. Cet élément devrait en toute rigueur rester très résistif. Cependant, en polarisation directe (anode positive), un courant Id apparaît, car des trous passent de la zone P à la zone I et des électrons de la zone N à cette même zone I. On dit qu’il y a injection de porteurs libres dans la zone intrinsèque. Cette région, qui était pratiquement désertée, est maintenant envahie par des porteurs libres et sa résistance chute. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp On peut donc calculer cette chute de résistance en fonction du courant Id circulant dans la structure. La charge Q0 stockée dans la région I est : Q0 = qpSd = qnSd (25) Mais les porteurs présents dans la région I se recombinent avec la constante de temps τ , c’est-à-dire que, si l’on interrompt le courant, la charge diminue : Qs (t) = Q0 e −t/τ (26) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp On peut donc écrire, si Id est le courant traversant la diode : dQs Qs =− + Id dt τ (27) La solution de cette équation différentielle est : Qs (t) = Q0 e −t/τ + Id τ (28) En régime permanent (t → ∞, Q = Cte), on obtient : Id = Qs τ (29) avec Qs = qp0 Sd = qn0 Sd , où n0 et p0 sont les concentrations moyennes à l’équilibre. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Si la diode est maintenant parcourue par un courant sinusoïdal i(t) de pulsation ω et de faible amplitude I (ω) superposé au courant Id , en remplaçant Id par Id + I (ω) et Qs par Qs + Qs (ω), l’équation différentielle (27) devient : jωQs (ω) = − soit Qs (ω) = Qs (ω) + I (ω) τ (30) τ I (ω) 1 + jωτ (31) où Qs (ω) est l’amplitude de la charge sinusoïdale stockée induite par le courant alternatif. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Deux cas peuvent alors se produire suivant la valeur de ω. 1 2 ωτ < 1, alors Qs (ω) = τ I (ω) : en basse fréquence, la charge varie autour de Qs à la pulsation ω. ωτ 1, alors Qs (ω) →0 : en haute fréquence, le signal alternatif ne fait plus varier la charge stockée dans la région I. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp L’intérêt de ce phénomène est qu’en haute fréquence la charge stockée ne dépend plus qu’exclusivement de la polarisation continue. Les durées de vie usuelles pour le silicium étant supérieures à la nanoseconde, cela implique que la condition ωτ >1 est vérifiée pour des fréquences supérieures 200 MHz. Donc, au-delà de cette fréquence, l’impédance de la diode PIN ne dépend plus que de sa polarisation continue Id . Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Impédance La région intrinsèque, lorsque la diode est polarisée en direct, en supposant n0 ≈ p0 , présente une résistance Ri égale à : Ri = avec µA = d d ≈ qS(p0 µp + n0 µn ) 2qSp0 µA (32) 2µn µp µn +µp . µn et µp sont respectivement les mobilités des électrons et des trous, µA est la mobilité ambipolaire qui vaut 600 cm2 /(Vs) dans le silicium. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp En remplaçant qSp0 par Qs /d et Qs par sa valeur en fonction de Id , il vient finalement : Ri = d2 ≈ KId−x 2Id τ µA (33) avec x ≈ 0,9 et K un coefficient de proportionnalité. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Lorsque la diode est polarisée en inverse, les deux jonctions PI et IN sont alors en inverse, si bien qu’en raison de son faible dopage la région I est totalement désertée, même pour de très faibles valeurs de tension. Elle est donc totalement isolante et l’on se retrouve dans le cas d’un condensateur plan d’épaisseur d et de surface S dont la valeur de la capacité est : C= εS d (34) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Le schéma équivalent HF de la diode PIN est donc celui de la figure ??, où en polarisation inverse Ri = ∞ et en polarisation directe le condensateur C est court-circuité par une résistance de faible valeur. La résistance Rs est liée aux résistances de contact et de substrat, l’inductance Ls est due au boîtier et aux fils de connexion. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Schéma équivalent d’une diode PIN. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Atténuateur à diode PIN Le schéma de principe en est donné figure ??. Son fonctionnement est fondé sur la propriété qu’a la diode PIN de se comporter en polarisation directe comme une résistance commandée en courant [relation (33)]. Le rôle de la capacité CA est de réaliser, à la fréquence de travail, un circuit LC série résonnant Ls CA ω 2 = 1. À cette fréquence, l’impédance de la branche AB est purement réelle et vaut Rs + Ri , et l’isolation I de la ligne peut s’écrire : I =1+ Zc Zc2 + Ri + Rs 4(Ri + Rs )2 (35) Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Atténuateur à diode PIN Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Les atténuateurs réels sont un peu plus compliqués, afin de garder constant le taux d’ondes stationnaires sur la ligne, et ils mettent en oeuvre des dispositifs unidirectionnels tels que circulateurs, isolateurs ou coupleurs hybrides. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Commutateur à diode PIN Le principe de base este le même que pour l’atténuateur, mais on en associe plusieurs qui ne présentent plus que deux états (passant ou bloqué). On donne sur la figure ?? le schéma de principe d’un circuit duplexeur d’antenne (deux voies). Cette fois-ci les diodes PIN sont placées en série et non pas en parallèle comme dans le cas précédent. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Commutateur bidirectionnel à diodes PIN. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Déphaseur à diodes PIN Là encore on utilise des diodes PIN, soit passantes, soit bloquées, qui commutent des lignes de longueurs variables (figure ??). Le rôle du circulateur à ferrite est de garder le TOS (taux d’ondes stationnaires) constant. Lorsque D0 est polarisée, on a un déphasage ϕ1 entre l’entrée et la sortie. Lorsque D1 est polarisée (D0 non polarisée), le déphasage augmente de 2π∆l /λ . En commutant la polarisation jusqu’à Dn , le déphasage varie jusqu’à 2πn∆l /λ . Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp Figure: Déphaseur à diodes PIN. Composants Hyperfréquences Partie VI : Diodes pour l’hyp