Imagerie thermique haute résolution par

Imagerie thermique haute résolution par
thermoréflectance
C.Corbrion, D. Fournier, S. Holé, G. Jerosolimski, G. Tessier
Laboratoire d ’optique
UPR A 0005 du CNRS
ESPCI
10 rue Vauquelin,
75005 Paris

Microscope à thermoréflectance
La problématique :
Réalisation d’images thermiques haute résolution
sur composants en fonctionnement
images caméra
thermiques Paramètre physique dépendant
de la température: R
Haute résolution Illumination
visible

CCD Image à (T)
CCD Image à (T+∆T)
V
Différence : image liée à ∆T

La thermoréflectance - principe
Au Si AsGa InP InSb
T
R∂ ∂ (K-1)1,1 10-4 1,5 10-4 1,7 10-4 1 10-4 1 10-4
T ’ = T + ∆T
R ’ = R + (δR/δT) ∆T
Mesure (optique) de R Accès à ∆T
Mais (δR/δT) est petit:
Utilisation d ’une source modulée
et d ’une « détection synchrone »

Imagerie thermique synchrone
Microscope
LED
Alim.1: f
CCD
Circuit
R0 + Rm Cos (2π f t + ϕ)
4f < 40 Hz Détection synchrone multiplexée:
(brevet FR-2.664.048)
4 images par période de chauffage
Amplitude et phase de ∆R
répartition de ∆T
CCD: f<10Hz