5
TP LMS
3. Microscopie électronique à balayage
Pour avoir un peu plus de certitudes, nous avons utilisé un MEB (Microscope Electronique à
Balayage) équipé d'une sonde EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) afin de réaliser également une
analyse chimique.
PRINCIPE DU MEB :
Il est important de préciser qu'avec cet
appareil, nous travaillons sous vide afin
d'éviter les interférences et ainsi limiter le
bruit.
Il présente un fil de tungstène qui va chauffer
et émettre ainsi des électrons. Ces électrons
vont être accélérés de par l'application d'une
différence de potentiel. Ensuite, une bobine
constituée de fils de cuivre va condenser le
faisceau. Enfin, une seconde bobine de
balayage va permettre de défléchir le
faisceau et de voir une image plus grande
que la surface éclairée par le seul faisceau
car celui ci balaye la surface de l'échantillon.
L'interaction électrons-matière va entraîner
l'émission de photons X et d'électrons. Ces électrons sont de trois types : les rétrodiffusés, les
secondaires et d'Auger.
Les électrons secondaires sont issus d'une interaction entre les électrons émis avec le nuage
électronique des atomes de l'échantillon. Ils sont caractérisés par une énergie faible (interaction
inélastique); c'est pourquoi, les électrons secondaires émis par les couches profondes ne pourront
sortir de l'échantillon. Ces électrons vont donc permettre d'obtenir des informations sur la
topographie de l'échantillon.
Tandis que les électrons rétrodiffusés sont des électrons qui sont entrés en collision avec des noyaux
des atomes de l'échantillon. Il y a interaction élastique, la perte d'énergie est faible. Ces électrons
sont sensibles au numéro atomique (Z) des atomes de l'échantillon. Les atomes les plus lourds
réémettront plus d'électrons. Les zones formées d'atomes avec un nombre atomique élevé
apparaitront plus brillantes que d'autres (contraste de phase).
En ce qui concerne les électrons d'Auger, le MEB ne les exploite pas.