Cours 2-1b

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Microscopie
La microscopie électronique
Odile Stephan
Professeur des universités
Université Paris-Sud / CNRS

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Optiques photonique et
électronique
0.5µm
Microscope optique
2

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Optiques photonique et
électronique
Microscope électronique
à balayage (MEB)
Microscope électronique
en transmission (TEM)
Microscope)électronique)
10#nm# 0,1#nm#

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Principe et optique électronique
Ordinateur
Canon à électron
Lentille «!condenseur!»
Lentille de balayage
Faisceau électronique
Objectif
Echantillon
Détecteur
1-10 keV

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Principe et optique électronique
MEB
Ordinateur
Canon à électron
Lentille «!condenseur!»
Lentille de balayage
Faisceau électronique
Objectif
Echantillon
Détecteur
1-10 keV
TEM
Canon à électron
Lentille «!condenseur!»
Echantillon
Faisceau électronique
Objectif
Ecran
Projecteur