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UNIVERSITE DE
SHERBROOKE
Faculte de genie
Departement de genie mecanique
ETUDE DU COUPLAGE ADIABATIQUE ENTRE DEUX GUIDES
D'ONDES AYANT UNE FORTE DIFFERENCE D'INDICE DE
REFRACTION
Memoire de mattrise es sciences appliquees
Speciality: genie mecanique
Sylvain BEDARD
Jury : Richard ARES (Directeur)
AbdelatifJAOUAD
Vincent AIMEZ
Sherbrooke (Quebec), Canada Aout 2009
V - /1 ^

1*1 Library and Archives
Canada
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395, rue Wellington
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1*1
Canada

RESUME
Ce document presente les etapes de fabrication ainsi que la caracterisation d'un coupleur
optique compose de deux guides d'ondes d'indice de refraction eloigne. Le guide d'ondes
avec le plus fort indice de refraction est en Silicium (Si) d'indice de refraction de 3,44 et
celui de plus faible indice est fait de SU-8™ dont 1'indice de refraction est de 1,565. La
principale caracteristique du coupleur est sa geometric Le couplage se fait par une
approche progressive des deux guides d'ondes. Le guide d'onde de SU-8™ progresse
vers le guide de Si en empruntant un rayon de courbure constant dans la zone de couplage
pour finalement superposer le guide de Si lorsque les parcours optiques sont paralleles.
Par l'approche progressive, le transfer! optique se fera de facon adiabatique. Une etude
numerique a montre qu'il etait possible d'atteindre un coefficient de couplage de plus de
30%. Bien que les resultats experimentaux ne soient pas aussi encourageants, ils montrent
la presence non negligeable de couplage.
Mots-cles : Guide d'ondes, couplage adiabatique, couplage directionnel, photoresine SU-
8™, silicium, microfabrication.