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Aticroscope électronique EAt 200
Type PW 6000
• Pouvoir séparateur de points d'au moins 10 A
garanti
• Totalité des grossissements jusqu'á 200.000 dia-
métre obtenue sans changer les piéces polaires
ou les porte-échantillons et couverte soit d'unc
rnaniére continue, soit par échelons.
• La compensation de 1'astigmatisme jusqu'á
0,05 ~l ne requiert que quelques minutes. ~
• Le réglage et le centrage électriques du stigma-
teur, ainsi qu'un dispositif de centrage électro-
magnétique indépendant assurent un haut
degré de perfection dans 1'alignement du
systérne de condenseur double et une commu-
tation rapide du fonctionnement avec simple
lentille de condenseur a celui avec double ...J,'
lentille de condenseur. " I
• Stabilisation électrique particulierement effi-
cace.
• La grande facilité de rnanoeuvre permet a I'opérateur de concentrer son attention sur I'objet a étudier et
influence favorablement 1'obtention de micrographies utiles.
• Un systérne a circuit pilote permet de contróler en tout temps les conditions de fonctionnement.
• La colonne du microscope peut étre facilement ouverte pour un nettoyage éventuel.
• Le réalignement aprés nettoyage ne demande que quelques minutes.
• Les deux lentilles de condenseur sont equipées de diaphragrnes ajustables.
• Aucun centrage mécanique ri'est requis pendant le fonctionnement.
Matériels industriels et professionnels
Appareils scientifiques
Microscope électronique EM 200
Type PW 6000

Les recherches au microscope électronique, dans la
science et l' industrie ont notablement accru les con-
naissances de la micro-structure de la matiére. De plus,
elles ont créé le besoin d'un microscope électronique
a performances exceptionnelles. Aussi, le microscope
électronique EM 200 a-t-il été concu de Facon a
assurer une qualité d'image optimale avec un haut
degré d' efficacité de travail et de diversité dans les
études micro-structurales.
La construction robuste et compacte, ainsi que la
grande stabilité électrique et mécanique de l'instru-
ment assurent un fonctionnement efficace, non tribu-
taire des variations normales des conditions extérieures.
Une attention particuliére a été consacrée a la facilité
de manoeuvre et a 1'accessibilité pour le nettoyage et
I'entretien. Les temps morts ont été réduits au mini-
mum, permettant de maintenir I' instrument dans un
état de fonctionnement impeccable pendant des
longues périodes de fonctionnement. La colonne du
microscope est montée verticalement sur le báti du
type pupitre. Les dispositifs de controle pour la
manoeuvre, le réglage et 1'alignement du microscope
sont disposés a portée directe de l'opérateur assis. Le
Une armoire sé parée comportant la plus grande partie des
circuits électronique et des unités d'alimentation est
disposée ti quelque distance du rnicroscop e proprement dit.
dispositif d'alimentation, les stabilisateurs de courant
de lentille, etc. sont logés dans l'arrnoire dalimenra-
tion, séparée du microscope proprement dit.
La protection contre les rayons X répond dans toutes
les conditions de fonctionnement aux prescriptions
actuellement en vigueur en ce qui concerne la dose
rnaximale tolérable.
Sysfeme élecfronopfique
Le systérne électronoptique du microscope EM 200
comprend six lentilles électromagnétiques, dont quatre
sont refroidies á l'eau. La construction robuste et
compacte assure une stabilité mécanique optimale.
Afin de faciliter le démontage pour le nettoyage, la
colonne est munie d'un mécanisme de levage a levier.
Ce levier permet de soulever et dincliner la colonne,
facilitant ainsi l' enlévement des diverses sections
sans devoir démonter l'ensemble. La construction de
précision de la colonne de microscope et une corn-
binaison daccessoires mécaniques et électriques assu-
rent un alignement direct et précis sans perte de temps
inutile (voir la coupe transversale de la colonne du
microscope) .
Chambre d'émission
Dans la chambre démission se trouvent le canon
électronique équipé d'un filament de tungsténe, en
forme de V et alimenté en courant continu, ainsi
qu'un cylindre de Wehnelt.
Le filament peut facilement étre enlevé; 1'insertion
d'un support préfocalisé complet avec nouvcau fila-
ment peut s'effectuer tres rapidement. L'émission
électronique est contrólée en dix paliers entre 1,5 et
75 ~lA a la saturation du filament, en modifiant la
tension de polarisation du cylindre de Wehnelt.
Un alig,~ement précis du canon électronique est
facilité par un mouvernent d' orientation et un déplace-
ment latéral. Pendant le fonctionnement la tension
accélératrice peut étre portée á 40, 60, 80 ou 100 kV,
sans qu'il soit nécessaire de procéder a un réaligne-
ment.
Double lentille de condenseur
La double lentille de condenseur permet dadapter le
diarnetre du spot électronique éclairant 1'échantillon
progressivement a une grande variété de conditions
de fonctionnement en vue d' obtenir une qualité
d'image optimale.
Gráce au petit spot d'éclairage (min. 1 f.lde diarnétre ),
le chauffage de I'échantillon est fortement réduit.
Le spot de faisceau électronique, rigoureusement cir-
culaire, est obten u a 1'aide d'un stigmateur électro-
magnétique. Le stigmateur du condenseur est élec-
triquement centré, de sorte que le faisceau ne glisse
pas pendant la cornpensation. Les deux lentilles sont
équipées d'un porte-diaphragme réglable de l'exté-
rieur, pourvu de trois diaphragmes circulaires. Les
lentilles peuvent étre contrées mécaniquement in-

Le stigmateur du condenseur et le dispositif de centrage
du faisceau électronique constituent un ensemble compact,
dont l'enrobage d'araldite protege avec efficacite les
bobines.
dépendamment 1'une de 1'autre par le centrage des
piéces polaires.
Les facilités de centrage tres poussées permettent
d'aligner le systéme d'éclairage, de facon qu'aucun
autre centrage rnécanique ne soit nécessaire lorsqu' on
modifie le grossissement.
La commutation du fonctionnement a lentille de con-
denseur simple a celui a condenseur double et vice
versa peut s'effectuer en quelques secondes.
Dispositif de centrage du faisceau électronique
Outre l'alignement mécanique par le déplacement
latéral du canon électronique, on peut obtenir une
correction angulaire de légers mésalignements du
faisceau par l'emploi d'un dispositif de centrage
électro-magnetique du faisceau électronique. Cette
facilité permet d' observer d'une maniere optimale la
densité d'éclairage.
Dispositif wobulateur du faisceau
Une focalisation rapide et facile de l'image finale de
grossissement jusqu'á 20.000 X est assurée par le
dispositif wobulateur du faisceau; comprenant deux
paires de bobines de déviation, excitées en courant
alternatif, situées entre la lentille de condenseur et
1'échantillon. L'angle d'incidence est ainsi artificielle-
ment augmenté, ce qui entraine une augmentation de
toutes les erreurs de focalisation. De cette maniere,
le point de focalisation nette est plus clairement
déterminé.
Lentille d'objectif
La lentille d'objectif est du type a immersion. Le plan
de l'objet est situé entre les deux piéces polaires
Le "wobulateur"
Deux paires de bobines de déflexion, alimentées en courant
alternatif, créent deux champs magnétiques op posés, aug-
mentant artijlciellement l'ouverture du faisceau et facili-
tant ainsi la mise au point exacte.
d'objectif', comme d'ailleurs le diaphragme d'objectif.
Cette particularité permet d'accéder facilement a
I'échantillon de l'extérieur de la colonne et d'intro-
duire directement des accessoires spéciaux tels qu'un
dispositif de refroidissement de la chambre d'échan-
tillon. Les pieces polaires sont facilement accessibles
pour le nettoyage. La piéce polaire inférieure est
réglable par rapport a la piéce polaire supérieure.
L'objectif du stigmateur comprend huit petits électro-
aimants au moyen desquels l'astigmatisme résiduel de la
lentille objectif est ramené a une valeur plus Jaible que
0,051<.
Le moindre désalignement peut étre mis en évidence
par I'emploi du modulateur de courant de lentille qui

modifie le courant de la lentille d'objectif a une
fréquence de 2périodes par seconde. Le centre de
rotation fait alors office de point de référence. Le
temps requis pour réduire au minimum 1'astigmatisme
résiduel est négligeable, de sorte que, sans perturber
la cadence de travail, le réglage peutétre effectué au
besoin entre deux photographies, Le stigmateur
dobjectif électromagnétique, a commande externe, est
centré électriquement afin déliminer le glissement
d'image pendant la compensation.
Etage d'objet
Le porte-objet pour grilles de 3 mm est inséré avec
une tige, a travers un sas pnewnatique directement
au centre de l'espace d'objet entre les deux piéces
polaires.
Une stabilité maximale de I'objet est assurée par le
fait que le contact mécanique -- et thermique -
entre 1'échantillon et le caté extérieur de la colonne
peut étre interrompu en retirant la tige d' insertion.
Le porte-objet est fixé dans une double coulisse.
Une cxploration réguliere, exempte de glissement de
l'objet est obtenue par deux déplacements orthogo-
naux des coulisses á l'aide de deux vis micrométriques.
Ces deux vis sont actionnées par deux dispositifs de
commande disposés du rnaniére appropriée prés de la
colonne.
Le porte-objet peut étre orienté de plus ou moins
6 degrés par rapport a son axe, de rnaniere a per-
mettre la stéréomicrographie.
Un dispositif de refroidissement pour la chambre aux
échantillons ty pe PW 6507 peut aisément étre monté dans
la colonne du microscope. Le vase Dewar contenant
l'azote liquide est disposé sur le pupítre de l'appareil.
Un porte-diaphragme dobjectif pour trois diaphrag-
mes circulaires interchangeables normaux est égale-
ment incorporé dans l'étage de l'objet.
Pour des applications spéciales, le refroidissement de
la charnbre d'objet peut étre consideré- comme néces-
saire pour éviter les contaminations ou la dégradation
de I'objet. A cet effet, nous fournissons sur com-
mande le dispositif de refroidissement de chambre
d'objet, type PW 6507. Ce dispositif comprend deux
plaques de refroidissement entourant I'objet. La tige
maintenant les plaques est refroidie a l'azote liquide.
La température des plaques (environ -l30 °C, voire
plus basse j est contrólée par voie électrique.
Lentille de diffraction et lentille intermédiaire
La gamme entiére de variations continues ou par
échelons du grossissement á partir de 300 (pour une
observation d'un large champ) jusqu'á 200.000 dia-
rnétres peut s'obtenir en modifiant I'intensité du
courant a la fois dans la lentille de diffraction et
dans la lentille intermédiaire. Un bouton simple sur
le panneau de commande permet le réglage par éche-
10115du grossissement; les courants dans les lentilles
peuvent étre réglés indépendamment dans le cas oú
l'on désire un réglage continu du grossissement.
La lentille de diffraction est utilisée pour la gamme
des faibles grossissements, comprenant celui ou
I'image de diffraction de I'objet est projetée sur
I'écran. La gamme supérieure est couverte par la
lentille intermédiaire.
La commutation de la lentille de diffraction sur la
lentille intermédiaire se produit automatiquement
lorsqu' on utilise la commande par échelons.
Des images de diffraction par transmission de chaque
partie de I'objet peuvent s'obten ir tres rapidement
sans déplacer l'objet. Un diaphragme constitué par
quatre plaques de platine réglables de l'extérieur,
permet de sélecter des surfaces jusqu'á un superficie
de 2microns carrés. Un porte-diaphragme pour trois
diaphragmes normaux, interchangeable avec le porte-
diaphragme normal peut étre fourni pour des études
de diff raction tres sélective.
Un intercepteur de faisceau, commandé de l'extérieur,
peut étre utilisé pour éviter l'éblouissement de I'image
de diffraction par la luminance du faisceau central.
Lentille de projecteur
La lentille de projecteur projette I'image finale sur
I'écran fluorescent ou sur l'émulsion photographique.
Le grossissement peut étre modifié approximative-
ment du simple ou double. Toutefois, comme le gros-
sissement total est déterminé uniquement par le réglage
du courant dans la lentille de diffraction et dans la
lentille intermédiaire, la lentille de projection est
généralement utilisée avec un grossissement déterminé,
assurant la performance optimale. La lentille du pro-
jecteur fonctionne avec un simple jeu de piéces
polaires.
Chambre de projection
L'image finale sur l'écran fluorescent de 160 mm de
diarnétre disposé sur le fond de la chambre de pro-

jection est observée a travers trois hublots en verre.
L' écran peut étre incliné afin de permettre I'obser-
vation de l'image a travers un viseur binoculaire fixe
devant le hublot central. (Type PW 6506, pouvant
étre fourni sur commande) (grossissement linéaire
3,4 X).
Pour la mise au point précise de I'image, un petit
écran de controle spécial est incliné perpendiculaire-
ment a l'axe d'un autre viseur binoculaire (grossisse-
ment linéaire 9 x) monté dans la partie frontale de
la petite fenétre d'observation additionnelle.
L' enregistrement de l'image sur un film s'obtient en
introduisant une camera porte-film dans le faisceau.
Une cassette aplaques, disposée sous l'écran fluore-
scent, constitue un second moyen d'enregistrer I'image.
Facilifés micrographiques
La camera est chargée d'un rouleau de film de 35 rnrn
(40 expositions). En mérne temps, la cassette a
plaques est chargée de 12 plaques de 31;4 X 4" ou
de 31;4 X 31;4". Les deux possibilités peuvent étre
equipées pour l'usage immédiat, a tout mornent voulu.
Les cassettes sont équipées d'un compteur automatique
dexpositions. Mérne aux plus grands grossissements,
on peut déterrniner le temps dexposition correct en
mesurant l'intensité moyenne du courant électronique
de l'image totale, ou celle de la partie centrale de
['image (diametre 40 mm) a l'aide d'un microvolt-
rnétre courant continu, type GM 6020, fourni avec
I'appareil. Lorsque la camera est introduite dans le
faisceau ou que l'écran fluorescent est incliné pour
l'enregistrement sur plaques, un obturateur électro-
magnétique est automatiquement fermé.
Une sélection peut s'effectuer entre 10 temps d'expo-
sition, réglés d'avance, allant de 0,5 a 60 sec. Au
besoin, l'obturateur peut étre commandé a la rnain.
Deux expositions peuvent étre enregistrées sur un
format de plaque ou de film, étant donné que I'ob-
turateur a fente centrale peut étre ouvert par moitié.
Cela est particuliérernent avantageux lorsquil faut
comparer entre elles deux images de diffraction.
Un repére du micrón, incorporé, permet denregistrer
en méme temps que l'image deux points d'une
maniere telle que le grossissement puisse facilement
étre détérrniné aprés l'agrandissement photographique
du négatif.
Circuifs élecfroniques
La majeure partie des circuits électroniques est logée
dans une arrnoire rnontée a une certaine distance, -3
a 15 m - du microscope et reliée a ce dernier par
les cábles et conducteurs nécessaires.
Comme le montre la figure, chaque lentille comporte
son propre stabilisateur de courant.
Lors de rapides fluctuations de ± 3 % de la tension
du secteur et de variations de + 10 a -15 %, le
courant de la lentille d' objectif est maintenu stable a
moins de 1 : 200.000 prés, tandis que le courant dans
les autres lentilles varie de moins de 1 : 100.000. Un
double systeme de stabilisation limite les variations de
la tension accélératrice a une valeur rnaximale de
1 : 100.000.
Les facteurs de stabilisation théoriquement adrnis-
sibles, considérés en relation avec le pouvoir sépara-
teur garanti, montrent la réserve utile de perforo
mance que comporte I'ensemble. Le controle et la
correction éventuelle du circuit électronique peuvent
s'effectuer sans difficultés. Le microvoltrnétre courant
continu type GM 6020, situé a la partie supérieure du
panneau de commande, permet de contróler immé-
diatement, a tout instant voulu, la stabilité du courant
et de la tension.
S,sfeme a "ide
Le systerne a vide, logé dans le socle du microscope,
comprend une pompe a vide rotative un réservoir, une
pompe a vapeur de mercure et une pompe a diffusion
d'huile, le tout monté en série.
La pompe rotative ne fonctionne que par interrnit-
tence, et maintient le prévide requis dans le réservoir
Schéma synoptique du circuit électronique.