Céramiques piézoélectriques Piezoelectric ceramics Introduction Introduction Saint-Gobain Quartz S.A.S. produit et commercialise une gamme diversifiée de céramiques piézoélectriques dont les compositions très fiables sont un atout majeur dans les applications suivantes : • acoustique marine et sous-marine, sonars de puissance, hydrophone, • applications médicales et industrielles à haute fréquence, sondes médicales, • soudage ultrason / lavage ultrason, • capteurs pour l’industrie d’automobile, allume-gaz, systèmes de mesure, • contrôle non destructif, détecteurs de vibrations et de bruits, contrôle de positionnement, • optique adaptative. Saint-Gobain Quartz S.A.S. supplies unique and large range of piezoelectric ceramics composition, widely used in the following markets: • water and underwater acoustic, high frequency sonars, hydrophone, • high frequency medical and industrial applications, medical probes, • ultrasonic welding, ultrasonic cleaning, • sensors for automobile industry, accelerometers, level gauging systems, • non-destructive testing, shock and vibration sensors, positioning devices, • other adaptative optics. Saint-Gobain Quartz S.A.S. has been established in 1922 and belongs since that date to the Saint-Gobain Group. Saint-Gobain Quartz S.A.S. is part of the Crystals Division / Ceramics & Plastics Branch / High Performance Materials sector of SaintGobain Group. Saint-Gobain Quartz S.A.S. a été créé en 1922 et appartient depuis cette date au groupe Saint-Gobain. Saint-Gobain Quartz S.A.S. dépend actuellement de la Division Cristaux / Branche Céramiques et Plastiques / Pôle Matériaux Haute Performance. Saint-Gobain employs over 170 000 people and operates in 46 countries worldwide with more than 1 000 consolidated companies. It is the world’s 59th leading industrial corporation with a turnover of approximately € 30 billion. © D.C.N. © D.C.N. Saint-Gobain emploie plus de 170 0000 personnes et est présent dans 46 pays à travers le monde avec plus de 1 000 sociétés consolidées. C’est le 59ème groupe industriel mondial et son chiffre d’affaires s’élève à environ 30 MEuros. La Fayette frigate © D.C.N. Frégate La Fayette Radôme du porte-avions Charles-de-Gaulle Charles-de-Gaulle aircraft carrier radome Sous-marin Le Triomphant Le Triomphant Submarine Cover picture: © Saint-Gobain Quartz Ce document remplace et annule tout autre document précédent. Il peut être modifié sans préavis. Les informations données dans ce catalogue sont réputées précises et fiables. Toutefois, elles ne sont données qu’à titre indicatif. Il appartient à l’utilisateur de déterminer si le produit décrit dans ce catalogue répond aux exigences de son application et de son procédé. Dans le but d’améliorer constamment notre fabrication, nous nous réservons le droit de modifier les caractéristiques techniques de nos produits. Le suivi de ces recommandations n’implique aucune obligation de résultat de quelque nature qu’elle soit de la part de Saint-Gobain Quartz. This document replaces and supersedes any previous document. It may be modified without prior notice. The information given in this document is believed to be accurate and reliable. However all data are indicative. It is the users responsibility to determine whether the material is suitable for a particular application process and/or environment. Aiming to constantly improve our manufacturing we reserve the right to modify the technical characteristics of our products. Saint-Gobain Quartz makes no guarantee of results and assumes no obligation whatsoever in connection with the recommendations. Généralités sur la piézoélectricité Piezoelectricity La piézoélectricité est la propriété que présentent certains corps de se charger électriquement lorsqu’ils sont soumis à une contrainte mécanique. Ce comportement, spontané dans plusieurs cristaux naturels ou synthétiques tels que le quartz ou le sel de Seignette, est dû à la structure cristalline : une action mécanique provoque l’apparition d’un dipôle Si électrique dans chaque maille cristalline du matériau par déplaO cement des centres des charges positives et négatives, comme la figure 1 le montre pour la coupe Z du quartz. Piezoelectricity is the property some bodies have of becoming electrically charged under mechanical stress. This behaviour, which is spontaneous in several natural or man made crystals such as quartz or Rochelle salt, is due to the crystalline structure : mechanical action proElectrodes vokes the appearance of an electric dipole in each crystalline unit cell of the Si material by shifting the O centres of the positive and negative charges, as shown in figure 1 of the cross section Z of the crystal. L’équilibre électrostatique se trouvant rompu, une polarisation The electrostatic balance Electrodes apparaît : c’est l’effet piézoélecbeing broken, polarisaFig. 1 trique direct. Il existe corrélativetion occurs. This is the ment un effet inverse, un champ direct piezoelectric effect. électrique provoquant une déformation mécanique du There is a correlative converse effect, an electric field bringmatériau. La piézoélectricité ne peut se manifester, ni pour ing about a mechanical deformation of the material. Piezodes corps conducteurs, ni electricity cannot occur in conductpour des corps à haut ing bodies or in those that are P degré de symétrie et on a highly symmetrical and it has been démontré que l’absence shown that the absence of a centre de centre de symétrie of symmetry in the unit cell was Pr dans la maille élémentaire necessary for this phenomenon to – Ec E était nécessaire à l’apparioccur. O tion de ce phénomène. Ec Some piezoelectric crystals are also Parmi les cristaux piézoélectriques certains sont aussi ferro-électriques : à un champ électrique Fig. 2 excitateur E correspond une polarisation P et la représentation graphique de P en fonction de E est une courbe fermée analogue au cycle d’hystérésis magnétique, ce qui permet de définir une polarisation rémanente Pr et un champ coercitif Ec (fig. 2). ferroelectric; a polarisation P corresponds to an exciting electric field E and the graph of P with respect to E is a closed curve analogous to the magnetic hysterisis cycle, thus enabling a remanent polarisation Pr and a coercive field Ec to be defined (fig. 2). This is particularly so with barium titanate (BaTiO3) and many salts (titanates, zirconates, stannates) which similarly possess the crystalline structure of perovskite (CaTiO3 ) (fig. 3). O Tel est le cas en particulier du titanate de baryum BaTiO3 et de nombreux sels (titanates, zirconates, stannates) ayant comme lui la structure cristalline de la perovskite (CaTiO3) (fig. 3). Ca Ti Fig. 3 1 Le cas des céramiques diffère toutefois de celui des cristaux piézoélectriques et c’est en fait l’existence de la ferroélectricité qui conduit à d’excellentes caractéristiques piézoélectriques. But ceramics differ from piezoelectric crystals and their excellent piezoelectric properties are in fact due to the existence of ferroelectricity. By sintering lead, zirconium and titanium oxides or salts, general formulation compounds are made : Par frittage d’oxydes ou de sels de plomb, de zirconium et de titanate on réalise des composés de formule générale : Pb Ti (1–x) Zrx O3 with x approximating to 0.5 Pb Ti (1–x) Zrx O3 avec x voisin de 0,5 In all these compounds, the single microcrystals are ferroelectric, and hence possess spontaneous polarization, but the disordered aggregate of these microcrystals forming the straight sintered ceramic has no total dipole electric moment, on a macroscopic scale. In order to introduce into such a medium the anisotropy needed for piezoelectricity to exist, it must undergo a strong electric field which, preferentially aligning along its direction the polarization of the single microcrystals, will induce quite considerable remanent polarization. It is only after this polarization that the ceramic becomes ferroelectric and thereby piezoelectric. Dans tous ces composés, les microcristaux élémentaires sont ferroélectriques, donc doués d’une polarisation spontanée, mais l’agrégat désordonné de ces microcristaux qui constitue la céramique simplement frittée n’a, à l’échelle macroscopique, aucun moment dipolaire électrique global. Pour introduire dans un tel milieu l’anisotropie nécessaire à l’existence de la piézoélectricité, on doit le soumettre à un champ électrique intense qui, alignant préférentiellement sur sa direction les polarisations des microcristaux élémentaires, va susciter une polarisation rémanente considérable. C’est uniquement après cette opération dite “polarisation” que la céramique devient ferroélectrique, et par la piézoélectrique. In actual practice, the orientation of the polarization of the single microcrystals along the direction of the polarizing field is accompanied by mechanical stresses whose slow release brings about a gradual return to the disordered state. This is ceramic ageing, which is a logarithmic function of time. Pratiquement, l’orientation des polarisations élémentaires sur la direction du champ polarisant s’accompagne de contraintes mécaniques dont la libération lente provoque un retour progressif à l’état désordonné : c’est ce qu’on appelle le vieillissement des céramiques, qui est une fonction logarithmique du temps. Finally it will be easily imagined that a rise in temperature tends to destroy the alignment of the single dipoles on the polarization field. At a temperature, known as the Curie point, there is no longer any macroscopic moment and the ceramic loses all its piezoelectric properties. One of the advantages of ceramics is possessing a Curie point markedly higher than that of most piezoelectric crystals. On conçoit enfin qu’une élévation de la température tende à détruire l’alignement des dipôles élémentaires sur le champ de polarisation. A une température dite température de Curie, il n’existe plus de moment électrique macroscopique et la céramique perd toutes ses propriétés piézoélectriques. L’un des avantages des céramiques est d’ailleurs d’avoir une température de Curie nettement plus élevée que celle de la plupart des cristaux piézoélectriques. 2 Caractéristiques Characteristics Caractéristiques mécaniques Mechanical characteristics Les milieux piézoélectriques sont par définition anisotropes. Une étude systématique de leurs propriétés nécessite donc une identification des directions. Pour une céramique, on choisit l’axe 3 (ou Oz, ou c) dans la direction du champ de polarisation, les axes 1 et 2, perpendiculaires à l’axe 3, le trièdre 1, 2, 3 étant direct. (fig. 4). Piezoelectric media are necessarily anisotropic. A systematic study of their properties therefore requires the directions to be ascertained. In the case of a ceramics, one selects axis 3 (or Oz, or c) in the direction of the polarization fields, axes 1 and 2 are perpendicular to axis 3 of a 1,2,3 right hand orthogonal crystallographic axial set. On définit alors la “compliance”, ou souplesse élastique : The “compliance” or elastic flexibility is then defined: déformation dans la direction i S Sij = = i contrainte dans la direction j Tj Sij = sous réserve que restent invariables toutes les composantes des forces suivant les directions autres que j. providing all the components of the forces following directions other than J do not vary. On définit de la même façon le coefficient : Cij = strain in direction i S = i stress in direction j Tj The coefficient c is defined in the same manner: contrainte dans la direction i T = i déformation dans la direction j Sj Cij = stress in direction i T = i strain in direction j Sj Les indices i et j prennent les valeurs 1 à 6, avec les dénominations suivantes : Subscripts i and j acquire values 1 to 6 with the following denominations: – T1 , T2 , T3 : contraintes de tension parallèles aux axes 1, 2 et 3 respectivement. – T1 , T2 , T3 : tension stresses parallel to axes 1, 2 and 3 respectively. – T4 , T5 , T6 : contraintes de cisaillement autour des axes 1, 2 et 3, équivalentes à des couples dans les plans 2-3, 3-1 et 1-2. – T4 , T5 , T6 : shear stresses around axes 1, 2 and 3 equivalent to torque in planes 2-3, 3-1 and 1-2. 3 6 T3 Ces contraintes s’expriment dans le système MKSA en N.m–2. De même S1 , S2 et S3 sont les déformations relatives de tension suivant les axes 1, 2 et 3 respectivement et S4 , S5 et S6 les déformations de cisaillement autour des axes 1, 2 et 3. T2 5 Yii = (Sii) 2 Polarisation 4 Les déformations relatives S sont des grandeurs sans dimensions. Le module d’Young est défini par : T1 1 Likewise S1 , S2 and S3 are the relative tension strains along axes 1, 2 and 3, and S4 , S5 and S6 the shear strains around axes 1, 2 and 3. The relative dimensions S are dimensionless values. Fig. 4 Young’s modulus defined by: –1 is Yii = (Sii)–1 Le coefficient de Poisson par : σ=– In the MKSA system these stresses are expressed in N.m–2 S12 S11 and Poisson’s constant by : σ=– 3 S12 S11 Caractéristiques (suite) Characteristics (continued) The electric conditions must be taken into account and a distinction made between coefficients SEij with a constant electric field (or in short-circuit) and coefficients SD with a conij stant electric displacement (or in open circuit). Il y a lieu de tenir compte des conditions électriques et de distinguer les coefficients SEij à champ électrique constant (ou en court-circuit) et les coefficients S D ij à déplacement électrique constant (ou en circuit ouvert). Quand à la symétrie, les céramiques sont assimilables aux cristaux de la classe 6 mm du système hexagonal ; il en résulte que la matrice [S] se présente selon la figure 5 et que : As regards the symmetry ceramics may be assimilated to class 6 crystals of the hexagonal system; consequently matrix [s] is as shown in figure 5 and : S66 = 2 (S11 – S12) S66 = 2 (S11 – S12) Sij = Sji Sij = Sji Composante nulle Composante non-nulle Composantes égales Zero components Non-zero components Equal components (Matrice symétrique par rapport à la diagonale principale) (Symetrical matrix with respect to the main diagonal) Fig. 5 Caractéristiques électriques Electrical characteristics Dans une diélectrique isotrope placé dans un champ électrique E apparaît une induction D telle que : An induction D appears in an isotropic dielectric placed in an electric field E so that : D = εE D = εE ε ε ou est la constante diélectrique du matériau. Si celui-ci est anisotrope on a une relation analogue à celle obtenue dans le domaine élastique : Di = ∑ εij Ej j where is the dielectric constant of the material. If this is anisotropic, the equation is analogous to that obtained in the elastic field, Di = ∑ εij Ej i, j, de 1 à 3 j La matrice [ε] des céramiques est représentée ci-dessous avec les mêmes conventions que précédemment. The matrix [ε] of ceramic is shown below with the same signs as before. ε La constante ε33 est la plus utilisée. Sa valeur dépend beaucoup de la température. Elle croît avec la température dans le domaine de la ferroélectricité, passe par un maximum très accusé à la température de Curie, puis décroît dans la zone où la céramique n’est plus ferroélectrique (fig. 6). Interviennent ici les conditions mécaniques aux limites et on doit distinguer les coefficients : i, j, from 1 to 3 ε ε33 Tc Zone de ferroélectricité Ferroelectric zone Température Temperature Fig. 6 Constant ε 33 is the most used. Its value is very temperature dependant. It increases with temperature in the ferroelectric area, reaches a maximum very near the Curie point then decreases in the area where the ceramic ceases to be ferroelectric (fig. 6). The boundary mechanical conditions come into play here and a distinction must be made between coefficients: T εij à force constante (pièce libre) T εij with constant force (free specimen) S εij à déformation constante (pièce encastrée) S εij with constant strain (clamped specimen) 4 Caractéristiques (suite) Characteristics (continued) The tables on pages 18 and 20 give the relative dielectric constant ε/εo. Les tableaux des pages 18 et 20 donnent les constantes diélectriques relatives ε/εo. εo est la constante diélectrique du vide, soit 8,85 x 10–12F.m–1. εo is the dielectric constant of the vacuum, or 8,85 x 10–12F.m–1. Les constantes diélectriques relatives des céramiques sont nettement plus élevées que celles des cristaux : de l’ordre de 500 à 3 000 suivant les types. The relative dielectric constants of ceramics are distinctly greater than those of crystals : in the order of 500 to 3,000 according to types. Caractéristiques piézoélectriques Piezoelectric characteristics Les grandeurs électriques, champ et induction, et les grandeurs mécaniques, contrainte et déformation, sont reliées entre elles par les coefficients piézoélectriques définis dans le tableau ci-dessous, le premier indice étant électrique et le second l’indice mécanique. The electric values: field and induction, and the mechanical values: stress and strain, are inter-linked by the piezoelectric constants defined in the table below, the first index being the electric index and the second the mechanical index. Constante de charge : dij Charge constant: dij EFFET DIRECT DIRECT EFFECT EFFET INVERSE REVERSE EFFECT Densité de charge sur électrode normale à l'axe i Contrainte suivant l'axe j Déformation relative suivant l'axe j Champ électrique suivant l'axe i Charge density on electrode normal to axis i Stress along axis j Relative strain along axis j Electric field along axis i à champ constant with constant field à effort constant with constant effort C.N m.V–1 Champ électrique suivant l'axe i Contrainte suivant l'axe j Déformation relative suivant l'axe j Densité de charge sur électrode normale à l'axe i Electric field along axis i Stress along axis j Relative strain along axis j Charge density on electrode normal to axis i à induction constante with constant induction à effort constant with constant effort V.m.N.–1 m2 C–1 Densité de charge sur électrode normale à l'axe i Déformation relative suivant l'axe j Contrainte suivant l'axe j Champ électrique suivant l'axe i Charge density on electrode normal to axis i Relative strain along axis j Stress along axis j Electric field along axis i à champ constant with constant field déformation constante with constant strain C.m–2 N.m–1 V–1 hij Champ électrique suivant l'axe i Déformation relative suivant l'axe j Contrainte suivant l'axe j Densité de charge sur électrode normale à l'axe i hij Electric field along axis i Relative strain along axis j Stress along axis j Charge density on electrode normal to axis i à induction constante with constant induction déformation constante with constant strain V.m–1 N.C–1 Unités Units Constante de tension : gij Voltage constant: gij Unités Units Autres constantes : eij Other constants: eij Unités Units Unités Units –1 5 Caractéristiques (suite) Characteristics (continued) The four piezoelectric constants thus defined are linked by the following equations where the summation on the recurring index are implied, as is the usual practice: Les quatre constantes piézoélectriques ainsi définies sont reliées par les relations suivantes où l’on a sousentendu, comme il est d’usage, la sommation sur les indices répétés : T E S E cij T D sij S D cij T E dnj = εmn gmj = eni sij dnj = εmn gmj = eni sij enj = εmn hmj = dni gnj = βmn dmj = hni hnj = βmn emj = gni S E enj = εmn hmj = dni cij T D gnj = βmn dmj = hni sij S D hnj = βmn emj = gni cij m, n from 1 to 3 i, j, from 1 to 6 m, n de 1 à 3 i, j, de 1 à 6 m, n indices électriques ; i, j, indices mécaniques. m, n, electric index; i, j, mechanical index E = à champ constant (électrodes court-circuitées) D = à induction constante (électrodes en circuit ouvert) T = à effort constant (éprouvette libre) S = à déformation constante (éprouvette encastrée). E = constant field (short-circuited electrodes) D = constant induction (open circuit electrodes) T = constant effort (free specimen) S = constant strain (clamped specimen) De la symétrie du milieu, résulte pour les quatre matrices 3 x 6 : [d], [g], [e], ou [h] la même forme : From the symmetry of the medium, the same shape results for the four 3 x 6 matrices : [d] [g] [e] or [h]. Un cas particulier important est celui où la céramique est soumise à une contrainte identique sur toute sa surface. Les constantes correspondantes sont dites hydrostatiques et ont comme valeur : An important special case is that in which the ceramic undergoes the same stress over its whole surface. The corresponding constants are then said to be hydrostatic and have the following values: dh = d33 + 2 d31 gh = g33 + 2 g31 dh = d33 + 2 d31 gh = g33 + 2 g31 Couplage Coupling factor Dynamiquement, le coefficient de couplage d’une céramique caractérise son aptitude à transformer l’énergie électrique en énergie mécanique et inversement. Dynamically, the coupling factor of a ceramics indicates its ability to convert electric energy into mechanical energy and conversely. It is defined by : Il est défini par : k2 = énergie transformée énergie apportée k2 = Suivant la forme de l’éprouvette et le mode de vibration de celle-ci, ce coefficient peut prendre différentes valeurs comme indiqué dans le tableau ci-dessous (fig. 8). converted energy inputenergy Depending on the shape of the specimen and its vibrational mode this factor can acquire various different values as shown on fig. 8. k33 pour la vibration des pièces épaisses suivant la direction de polarisation ; k31 pour la vibration transversale (perpendiculaire à P) ; kp pour la vibration radiale d’un disque mince ; k31 for transversal vibration (perpendicular to P); kt pour la vibration des pièces minces suivant la direction de polarisation. kp for the radial vibration of a thin disk; kt for the vibration of thin specimens along the direction of polarisation. k33 for the vibration of thick specimens along the direction of polarisation; 6 Caractéristiques (suite) Characteristics (continued) The coupling factor is a very important characteristic of ceramics and is linded to the motional elements. It does not denote the efficiency: Le coefficient de couplage est une caractéristique très importante des céramiques et se relie aux éléments motionnels. Il ne caractérise pas le rendement : effective available power / input power puissance utile disponible / puissance apportée which, for a resonating transducer, can distinctly exceed k2. qui, pour un transducteur à la résonance, peut être nettement supérieur à k2. When a ceramic is excited by an electric voltage source, it opposes to this source an impedance Z which can be calculated by means of piezoelectric equations. As from this value, valid for a lossless ceramic, it is possible to determine: Quand une céramique est excitée au moyen d’une source de tension électrique, elle oppose à cette source une impédance Z qui peut être calculée par les équations piézoélectriques. A partir de cette valeur, valable pour une céramique sans pertes, on peut déterminer : – the resonance frequency fr for which Z = O; L – la fréquence de résonance fr pour laquelle Z = O ; C0 – la fréquence d’antirésonance fa pour laquelle Z est infinie. C R0 R1 Ces deux fréquences se relient au coefficient de couplage correspondant au mode de vibration mécanique étudié. R2 These two frequencies come together at the coupling factor corresponding to the mechanical vibration mode investigated. It is possible to represent the electric impedance of a ceramic vibrating in the vicinity of a resonance frequency, by an equivalent electric circuit. The most usually adopted form is shown in figure 7. Fig. 7 Il est possible de représenter l’impédance électrique d’une céramique vibrant au voisinage d’une fréquence de résonance par un circuit électrique équivalent. La forme la plus couramment adoptée est indiquée figure 7. Forme de l’éprouvette Sample shape – the anti-resonance frequency fa for which Z is infinite. Sens de polarisation Polarisation direction Direction de vibration Vibration direction Coefficient du couplage Coupling factor 1 3 k 33 = d 33 T S E33 ε 33 2 3 k 31 = 2 d 31 T S E11 ε 33 1 3 k P = k 31 2 2 1– σ E 1 3 k 1 = h 33 2 1 7 S ε 33 D C 33 Caractéristiques (suite) Characteristics (continued) C0 est la capacité de la céramique encastrée, autrement dit celle d’un condensateur dont le diélectrique supposé non piézoélectrique aurait la même permittivité que la céramique. C0 is the capacitance of the clamped ceramics, in other words that of a capacitor whose dielectric assumed to be no piezoelectric would have the same permittivity as ceramic. R0 est une résistance représentant les pertes diélectriques. Elle se relie à l’angle de pertes par : R0 is a resistance representing the dielectric losses, it is joined to the angle of losses by: tg δ = 1 R0C0ω tg δ = 1 R0C0ω La valeur très élevée de R0 permet dans la plupart des cas de négliger cette branche du circuit équivalent. The very high value of R0 makes it possible to disregard this branch of the equivalent circuit in most cases. La troisième branche est la branche motionnelle , son introduction est justifiée par le fait physique que le courant total traversant la céramique est la somme : The third branch is the motional branch. Its introduction is warranted by the physical fact that the total current traversing the ceramics is the sum: – du courant qui existerait si la céramique était un diélectrique normal, courant qui circule dans les branches R0 et C0 ; – of the current that would exist were the ceramics a norma dielectric. This current circulates in branches R0 and C0; – du courant dû à la nature piézoélectrique du matériau, ce courant s’établissant dans la branche motionnelle. – the current due to the piezoelectric nature of the material. This current becoming established in the motional branch. In this branch are shown in series: Dans cette branche sont figurées en série : – une self L proportionnelle à la masse de la céramique ; – a self inductance L proportional to the mass of the ceramics; – une capacité C proportionnelle à la constante s ; – a capacitance C proportional to constant s; – une résistance R1 dans laquelle se dissipe une énergie égale à l’énergie mécanique rayonnée par la céramique ; – a resistance R1 in which is dissipated an energy equal to the mechanical energy radiated by the ceramics; – une résistance R2 qui traduit les pertes mécaniques dans le matériau. – a resistance R2 reflecting the mechanical losses in the ceramics. En effet, il a été admis précédemment que la céramique était sans pertes, son impédance étant nulle à la fréquence de résonance et infinie à la fréquence d’antirésonance. En réalité, la représentation de l’impédance en fonction de la fréquence présente un minimum et un maximum plus ou moins accentués, traduisant un amortissement interne. In this respect, it has been assumed earlier that the ceramic was loss less, its impedance being zero at resonance frequency and infinite at anti-resonance frequency. In actual fact, representing the impedance in terms of the frequency presents a more or less marked minimum or maximum, reflecting internal attenuation. Susceptance 1/R f f1 f fs C0 f2 LC fp Conductance 0 La représentation de l’admittance dans le plan complexe est un cercle qui permet de définir six fréquences caractéristiques (Fig. 9). Fig. 9 fr fa The admittance in the complex plane is represented as a circle, which enables six typical frequencies to be defined (fig. 9). Reproduit d’après Excerpt from PHYSICAL ACOUSTICS – Principles and Methods by WARREN P. MASSON – Academic Press N.Y. – La fréquence de résonance fr et la fréquence d’antirésonance fa où la susceptance est nulle. – The resonance frequency fr and the anti-resonance frequency fa where the susceptance = 0; – Les fréquences f1 et f2 de minimum et de maximum d’impédance. – The f1 and f2 frequencies of minimum and maximum impedance, – La fréquence de résonance de la branche motionnelle : – The resonance frequency of the motional branch: fs = 1 2π fs = LC LC – The parallel resonance frequency fp: – La fréquence fp, dite de résonance parallèle telle que : 2 1 2π 2 2 2 fp – fs C = 2 C0 fs fp – fs C = 2 C0 fs Ces deux fréquences sont les plus importantes car elles interviennent dans le calcul des éléments du circuit équivalent. Par ailleurs, et quelle que soit la forme de l’échantillon, le coefficient de couplage d’un transducteur est donné par : These two frequencies are the most important for they enter into the calculation of the equivalent circuit components. Further, irrespective of the shape of the specimen, the coupling factor of a transducer is given by: 2 k2 = 2 2 fp – fs k2 = 2 fp 2 fp – fs 2 fp 8 Caractéristiques (suite) Characteristics (continued) Dans le cas idéal d’une céramique sans pertes, les fréquences fa, fp et f2 sont confondues, de même que fr, fs et f1. In the ideal case of a loss less ceramics, frequencies fa,fp and f2 are merged as also are fr , fa and f1. If the losses are taken into account, values fa ,fp and f2 and values fr , fs and f1 prove to be different although very close to each other. Si l’on tient compte des pertes, les valeurs fa, fp, f2 et les valeurs fr , fs et f1 s’avèrent différentes quoique assez proches. The equivalent circuit enables a useful quantity to be introduced; the mechanical quality factor Qm which is related with the mechanical losses in the ceramics. Le circuit équivalent permet enfin d’introduire une quantité intéressante , le facteur de qualité mécanique Qm qui mesure les pertes mécaniques dans la céramique. Qm = 2 π énergie emmagasinée pendant une période (dans L et C) Qm = 2 π énergie dissipée pendant une période (dans R) Qm is therefore the Q factor of the motional branch and hence can be related with: Qm est donc le coefficient de surtension de la branche motionnelle et peut ainsi se relier : – the components of this motional branch: – aux éléments de cette branche motionnelle : L ω0 1 1 Qm = = = R RCω0 R energy stored in a period (in L and C) energy dissipated in a period (in R) Qm = L C L ω0 1 1 = = R RCω0 R L C – the typical frequencies: – aux fréquences caractéristiques : Qm = f Qm = r f fr f Y fr = fréquence de résonance. ∆f = largeur de bande à 3 dB, ce qui correspond à une réduction d’amplitude par rapport à la résonance dans le rapport 1/ fr = resonance frequency Ym ∆f = band width at 3 dB corresponding to an amplitude reduction of Ym 2 1/ 2 2 in relation to the resonance. fr f Fig. 10 9 f © Saint-Gobain Quartz Cups parts, enamel disks, plates, tubes for microscopes,… © Saint-Gobain Quartz Portions de sphères, disques émaillés, plaques, tubes pour microscopes,… Anneaux, disques émaillés, plaques, rondelles,… Rings, enamel disks, plates,… 10 Exemples d’utilisation des constantes piézoélectriques Examples of calculations using piezoelectric constants Constante piézoélectrique de charge d33 Charge constant d33 Un disque en céramique d’épaisseur e soumis à une tension continue V voit son épaisseur devenir e + ∆ e. When a constant voltage V is applied across a ceramic disc of thickness e the thickness become e + ∆ e. D’après les définitions des constantes piézoélectriques données page 1, on a pour cet effet piézoélectrique inverse : From the definition of piezoelectric constants given on page 1, one has for this reverse piezoelectric effect: d33 = e/e e = V V/e L’épaisseur de la céramique augmente si le champ électrique appliqué est dans le même sens que le champ électrique de polarisation. Ceci sera obtenu en pratique si on relie le pôle + de la source de tension à la fac repérée de la céramique. Numériquement, et pour la qualité P4 68, on a, pour V = 1 000 Volts, une variation d’épaisseur de : d33 = V e P D+D Fig. 11 D e+e e/e e = V V/e The thickness of the ceramic increases if the applied electrical field is in the same sense as the field of polarization. This will be obtained in practice if one connects the positive pole of the source to the marked face of the ceramic. Numerically, and for type P4 68, one has for V = 1,000 Volts a variation of thickness: e = d33 V = 480 x 10–12 x 103 = 0.48 micron e = d33 V = 480 x 10–12 x 103 = 0.48 micron Si l’on renverse le sens du champ électrique, l’allongement change de signe, c’est à dire que l’on passe d’une dilatation à une contraction. A champ électrique égal, la dilatation est toujours supérieure à la contraction. If one reverses the sense of the electrical field the elongation changes sign, which is to say that one changes from an expansion to a contraction. For an equal electrical field the expansion is always greater than the contraction. Il est possible d’empiler des disques en céramique en croisant de proche en proche les polarisations, comme indiqué sur le schéma ci-dessous. Ces n disques montés mécaniquement en série et électriquement en parallèle vont ajouter leurs déformations, et l’allongement global obtenu sous une tension V sera : It is possible to stack ceramic discs with like poles in contact, as indicated on the sketch. These n discs, mechanically mounted in series and electrically in parallel, produce additive deformations and the overall elongation obtained under a potential V will be: l = n e = n d33 V l = n e = n d33 V that is V = 103 Volts and for type P4 68 soit pour V = 103 Volts et pour la qualité P4 68 l () = 0,48 x n l () = 0,48 x n La société Saint-Gobain Quartz SAS propose de tels empilements, qui peuvent comporter jusqu’à 40 pièces d’épaisseur individuelle 2 mm, d’où ∆ l = 19,2 µ. Une telle “cale piézoéléctrique” sera utilisée pour déplacer des miroirs, outils... l’amplitude du déplacement étant réglable à l’aide d’un simple potentiomètre. Saint-Gobain Quartz S.A.S. offers such stacks comprising up to 40 discs of individual thickness 2 mm, by which: ∆ l = 19,2 µ. Polarisation Such a “piezoelectric wedge” would be used to displace mirrors, tools, etc., the amplitude of displacement being regulated by means of a simple potentiometer. Fig. 12 11 Constante piézoélectrique de charge d31 Charge constant d31 L’allongement du disque de la figure 11 s’accompagne évidemment d’une diminution de son diamètre D. Par définition de la constante piézoélectrique de charge, on a : The increase of thickness of the disc in figure 11 is, of course, accompanied by a reduction in its diameter D. By definition from the charge constant one has: d31 = D/D V/e d31 = It should be noted that, while the absolute deformation of thickness ∆ e is, for a given potential V, independent of the thickness, the variation of diameter depends on the two dimensions; diameter and thickness. Thus: On note que, alors que la déformation absolue en épaisseur ∆ e est, pour une tension donnée V, indépendante de l’épaisseur, la variation du diamètre dépend quant à elle des deux dimensions : diamètre et épaisseur, soit : D = d31 V x D/D V/e D e D = d31 V x D e Numériquement, pour un disque en P4 68 Ø 10 x 2 mm soumis à une tension de 1 000 Volts, on a : Numerically, for a disc of P4 68 of diameter 10 x 2 submitted to a potential of a 1,000 V one has: D = – 1 micron D = – 1 micron On traitera d’une façon analogue la déformation axiale d’un tube polarisé radialement et on obtient : One would treat in an analogous fashion the axial deformation of a radially polarised tube and one would obtain: L = d31 V L e L = d31 V Such a tube could also be used as a piezoelectric wedge. L is in practice limited: The term –– e – in its length, by the physical e constraints of sintering and machining, Un tel tube peut aussi constituer une cale piézoélecL est en pratrique. Le terme –– e tique limité : – en ce qui concerne la longueur, par les possibilités de frittage et d’usinage, V – en ce qui concerne l’épaisseur de paroi e, par les possibilités d’usinage et par le fait que le champ électrique excitateur doit rester au plus égal au champ limite d’utilisation. L = 50 est proche La valeur –– e du maximum réalisable, ce qui conduit pour V = 103 Volt et pour le P4 68 à : L = – 10 microns P L Fig. 13 Une plaque en céramique de côtés L et h et d’épaisseur e est soumise à une compression F. Apparaît entre ses électrodes une différence de potentiel V qui peut être calculée au moyen de la constante de tension : ou L+L – in its wall thickness, by machining considerations and by the fact that the electrical fied of excitation should remain at the most equal to the limiting field of use. L The value –– e = 50 is close to the maximum obtainable which is for V = 103 and for type P4 68: L = – 10 microns Polarisation (face + à l'intérieur) Polarisation (face and inside) Voltage constants g33 and g31 Constantes piézoélectriques de tension g33 et g31 V/e g33 = F/Lh L e A compression F is applied to a ceramic plate of thickness e. A potential V appears between the electrodes and this can F be calculated from the voltage conL stant: h V e F V = g33 e Lh g33 = V/e F/Lh or V = g33 e F Lh the polarity being indicated on the sketch. (Fig. 14) la polarité étant indiquée sur le schéma. (Fig. 14) Fig. 14 Numériquement, pour un disque en P7 62 d’épaisseur 15 mm soumis à une contrainte de 400 kg/cm2, on a : Numerically for a disc of P7 62 of 15 mm thickness with a pressure of 400 kg/cm2, one has: V = 25 x 10–3 x 15 x 10–3 x (400 x 10 x 104) = 15,000 Volts V = 25 x 10–3 x 15 x 10–3 x (400 x 10 x 104) = 15 000 Volts 12 Un effort de traction de même produira une tension égale mais de signe opposé. A tensile stress of the same value would produce an equal potential but of the opposite sign. Une compression effectuée perpendiculaire à la polarisation de la plaque donnera une tension : A compression applied perpendicularly to the polarisation of the plate would give a potential: g31 = V/e F/he ou V = g31 avec la polarité indiquée sur le schéma. Cette polarité s’inverse si on passe d’une compression à une traction. (Fig. 15). F h g31 = F or V = g31 F h with the polarity indicated on the sketch. This polarity would reverse on changing from compression to tension. L h V/e F/he F V e © Saint-Gobain Quartz Fig. 15 Assemblage de plaques P7 62 (mosaïque) P7 62 plates assembly (mosaic) 13 Modes de vibration Vibration modes (Les parties ombrées correspondent aux faces métallisées) (Shaded parts correspond to metallized faces) Cylindre ou barre Cylinder or bar Plaque mince Thin plate Disque mince Thin disk e Forme D l Shape e l Polarisation Polarisation Excitation Excitation longitudinale en épaisseur transversale en épaisseur radiale ou planaire longitudinal along thickness transversal along thickness radial or planar d33 , g33 d33 , g33 d31 , g31 d33 , g33 d31 , g31 k33 kt k31 kt kp T ε33 S ε33 T ε33 S ε33 T ε33 Déformation Strain Coefficients utiles Pratical coefficients Fréquences de résonance Resonance frequencies fa = N3a l (1) de part et d’autre d’une fibre moyenne fr = N3t fr = e (2) à épaisseur constante 14 N1 l fr = N3t e (3) constante de fréquence à définir suivant la forme fr = Np D Tube Tube Coupelle Cup Dm e e l Face positive à l'intérieur Face positive à l'intérieur Positive face inside Positive face inside longitudinale en épaisseur (1) circonférentielle (2) en épaisseur (1) radiale (2) longitudinal along thickness (1) circular (2) along thickness (1) radial (2) d31 , g31 d33 , g33 d31 , g31 d33 , g33 d31 , g31 k31 kt k31 kt kp T ε33 S ε33 T ε33 S ε33 T ε33 fr = N1 l (1) of medium fibre both sides fr = N3t e (2) at constant thickness fr = Nc Dm fr = N3t e (3) frequency constant to be defined according to shape 15 (3) © Saint-Gobain Quartz © Saint-Gobain Quartz Anneaux P7 62 et empilements P1 60 P7 62 rings and P1 60 stacks © Saint-Gobain Quartz Plaquettes dorées et rondelles à encoches Gold plates and notched rings Coupelles P1 88 P1 88 cups 16 Céramiques piézoélectriques Piézoélectric ceramics Les céramiques piézoélectriques commercialisées par la société Saint-Gobain Quartz S.A.S. sont classifiées par apport aux standards internationaux. The piezoelectric ceramics marketed by Saint-Gobain Quartz S.A.S. are classified with respect to the international standards. Leurs applications et caractéristiques majeures sont rappelées ci-dessous. Their applications and major characteristics are exposed hereunder. Titanate de Baryum : Barium Titanate: T 57: ◆ Ceramic type NAVY IV. T 57: ◆ Céramique de type NAVY IV. ◆ Composition éprouvée, très fiable. ◆ Well established composition, reliable ceramics. ◆ Très grande stabilité sous champ élevé. ◆ Good stability under high electric field. ◆ Applications : acoustique marine et sous-marine. ◆ Applications: water and underwater acoustic applications. Plomb – Zirconate de Titane : Lead – Titanate Zirconate: P7 62: ◆ Ceramic type NAVY I. P7 62: ◆ Céramique de type NAVY I. ◆ Couplage élevé, combiné avec des pertes mécaniques et diélectriques faibles. ◆ High coupling factors with low mechanical and dielectric losses. ◆ Très bonne tenue à la dépolarisation. ◆ High resistance to depolarisation. ◆ Applications : acoustique marine, applications médicales, lavage ultrasons, optique adaptative, systèmes de mesures. ◆ Applications: underwater acoustics, medical applications, ultrasonic cleaning, other adaptative optics, level gauging systems. P1 88: ◆ Ceramic type NAVY II. P1 88: ◆ Céramique de type NAVY II. ◆ Couplage et constantes piézoélectriques élevés. ◆ High coupling factors and high piezoelectric charge. ◆ Microstructure très fine et faible porosité. ◆ Fine grained ceramics with low porosity. ◆ Applications : sondes médicales, capteurs pour l’industrie automobile, allume-gaz, hydrophone. ◆ Applications: medical probes, sensors for automobile industry, accelerometers, hydrophone. P1 89: ◆ Ceramic type NAVY III. P1 89: ◆ Céramique de type NAVY III. ◆ Microstructure fine, pertes mécaniques et diélectriques très faibles. ◆ Fine grained ceramics with low mechanical and dielectric losses. ◆ Applications : sonars de puissance, soudage ultrason, applications médicales de puissance. ◆ Applications: High frequency sonars, ultrasonic welding, high frequency medical applications. P1 91: ◆ Ceramic type NAVY VI. P1 91: ◆ Céramique de type NAVY VI. ◆ Haute permittivité. ◆ High permittivity. ◆ Très faible porosité, microstructure très fine. ◆ Fine grained ceramics with low porosity. ◆ Applications : contrôle non destructif, détecteurs de vibrations et de bruits, contrôle de positionnement. ◆ Applications: non-destructive testing applications, shock and vibration sensors, positioning devices. P1 94: ◆ High permittivity and good linearity. P1 94: ◆ Très haute permittivité, très bonne linéarité. ◆ Applications : médicales et industrielles haute fréquence. ◆ Applications: high frequency medical and industrial applications. Titanate de Plomb : Lead Titanate: TP 88: ◆ High modal uncoupling. TP 88: ◆ Très fort découplage modal. ◆ Applications: water acoustic, non-destructive testing, medical probes. ◆ Applications : acoustique marine, contrôle non destructif, sonde médicale. 17 Céramique piézoélectrique TP 88 Piezoelectric ceramic TP 88 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units Valeurs type Typical values ρ Tc εT33 / ε0 103 kg.m–3 °C – 6.7 250 190 tg δ – 0.007 Constantes piézoélectriques Piezoelectric constants d33 d31 g33 g31 10–12 C.N–1 10–12 C.N–1 10–3 V.m.N–1 10–3 V.m.N–1 65 – 2.5 38.7 –1.5 Coefficients de couplage Coupling factors k31 kp k3t – – – – 0.02 0.02 0.53 Constante de fréquence Frequency constant Nt kHz.mm 2 190 Masse volumique Density Température de Curie Curie point Constantes diélectriques Dielectric constant Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz Figure de mérite (hydrophone) Figure of merit (hydrophone) 10–12 gh x dh m2.N–1 2.1 Compliances élastiques Elastic compliances SE11 SE33 10–12 m2.N–1 10–12 m2.N–1 7.6 9.0 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm – 900 Pas de dépolarisation sous une pression hydrostatique allant jusqu’à 200 MPa. No depolarization under hydrostatic pressure up to 200 MPa. 18 Céramique piézoélectrique Piezoelectric ceramic T 57 T 57 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units Valeurs type Typical values Masse volumique Density ρ 103 kg.m–3 5.3 YD33 YE33 YE11 σE 109 N.m–2 " " – 112 94 112 0.28 – – – J.kg–1 °C–1 W.m–1 °C–1 °C 500 2.5 120 εT33 / ε0 εS33 / ε0 – – – tg δ 1010 Ω.m % 700 590 1 1 – V.mm–1 600 Coefficient de charge Charge coefficient d33 d31 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 " " 105 – 45 15 Coefficient de tension Voltage coefficient g33 g31 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 " " 17 – 7.3 2.4 Coefficient de couplage Coupling factor k33 k31 kp – – – 0.4 0.18 0.28 Longitudinale Longitudinal En épaisseur Along thickness Transversale Transversal Radiale ou planaire Radial or planar Circonférentielle Circular N3a N3t N1 Np Nc kHz.mm " " " " 2 300 2 650 2 300 3 150 1 450 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm – ≥ 500 Propriétés mécaniques Mechanical properties Module d’Young Young’s modulus Coefficient de Poisson Poisson’s constant Propriétés thermiques Thermal properties Chaleur spécifique Specific heat Conductibilité thermique Thermal conductivity Température de Curie Curie point Propriétés électriques Electrical properties Constantes diélectriques Dielectric constants Résistivité Resistivity Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz Champ limite d’utilisation Boundary field of use Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties CONSTANTES DE FREQUENCE FREQUENCY CONSTANTS 19 Céramique piézoélectrique P1 60 Piezoelectric ceramic P1 60 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units Valeurs type Typical values Masse volumique Density ρ 103 kg.m–3 7.5 YD33 YE33 YE11 σE 109 N.m–2 " " – 90 46 60 0.3 – – – J.kg–1 °C–1 W.m–1 °C–1 °C 400 1.4 340 εT33 / ε0 εS33 / ε0 – – – tg δ 1010 Ω.m % 1 700 870 1 1.8 – V.mm–1 800 Coefficient de charge Charge coefficient d33 d31 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 " " 400 – 175 50 Coefficient de tension Voltage coefficient g33 g31 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 " " 27 – 12 3 Coefficient de couplage Coupling factor k33 k31 kp kt – – – – 0.7 0.35 0.59 0.49 Longitudinale Longitudinal En épaisseur Along thickness Transversale Transversal Radiale ou planaire Radial or planar Circonférentielle Circular N3a N3t N1 Np Nc kHz.mm " " " " 1 740 1 870 1 410 2 020 1 010 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm – 80 Propriétés mécaniques Mechanical properties Module d’Young Young’s modulus Coefficient de Poisson Poisson’s constant Propriétés thermiques Thermal properties Chaleur spécifique Specific heat Conductibilité thermique Thermal conductivity Température de Curie Curie point Propriétés électriques Electrical properties Constantes diélectriques Dielectric constants Résistivité Resistivity Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz Champ limite d’utilisation Boundary field of use Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties CONSTANTES DE FREQUENCE FREQUENCY CONSTANTS 20 Céramique piézoélectrique Piezoelectric ceramic P7 62 P7 62 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units Valeurs type Typical values Masse volumique Density ρ 103 kg.m–3 7.55 YD33 YE33 YE11 σE 109 N.m–2 " " – 111 60 82 0.29 – – – J.kg–1 °C–1 W.m–1 °C–1 °C 400 2 300 εT33 / ε0 εS3 / ε0 – – – tg δ 1010 Ω.m % 1 300 690 1 0.5 – V.mm–1 1 500 Coefficient de charge Charge coefficient d33 d31 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 " " 300 – 130 40 Coefficient de tension Voltage coefficient g33 g31 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 " " 26 – 11 4 Coefficient de couplage Coupling factor k33 k31 kp kt – – – – 0.68 0.35 0.58 0.47 Longitudinale Longitudinal En épaisseur Along thickness Transversale Transversal Radiale ou planaire Radial or planar Circonférentielle Circular N3a N3t N1 Np Nc kHz.mm " " " " 1 920 2 050 1 650 2 250 1 050 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm – ≥ 600 Propriétés mécaniques Mechanical properties Module d’Young Young’s modulus Coefficient de Poisson Poisson’s constant Propriétés thermiques Thermal properties Chaleur spécifique Specific heat Conductibilité thermique Thermal conductivity Température de Curie Curie point Propriétés électriques Electrical properties Constantes diélectriques Dielectric constants 3 Résistivité Resistivity Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz Champ limite d’utilisation Boundary field of use Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties CONSTANTES DE FREQUENCE FREQUENCY CONSTANTS 21 Céramique piézoélectrique P4 68 Piezoelectric ceramic P4 68 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units Valeurs type Typical values Masse volumique Density ρ 103 kg.m–3 7.4 YD33 YE33 YE11 σE 109 N.m–2 " " – 80 46 58 0.3 – – – J.kg–1 °C–1 W.m–1 °C–1 °C 400 1.4 165 εT33 / ε0 εS33 / ε0 – – 2 800 1 610 – 1010 Ω.m 1 tg δ % 2 – V.mm–1 500 Coefficient de charge Charge coefficient d33 d31 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 " " 480 – 220 40 Coefficient de tension Voltage coefficient g33 g31 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 " " 20 –9 2 Coefficient de couplage Coupling factor k33 k31 kp kt – – – 0.65 0.34 0.57 0.46 Longitudinale Longitudinal En épaisseur Along thickness Transversale Transversal Radiale ou planaire Radial or planar Circonférentielle Circular N3a N3t N1 Np Nc kHz.mm " " " " 1 650 1 780 1 400 2 030 1 010 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm – 80 Propriétés mécaniques Mechanical properties Module d’Young Young’s modulus Coefficient de Poisson Poisson’s constant Propriétés thermiques Thermal properties Chaleur spécifique Specific heat Conductibilté thermique Thermal conductivity Température de Curie Curie point Propriétés électriques Electrical properties Constantes diélectriques Dielectric constants Résistivité Resistivity Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz Champ limite d’utilisation Boundary field of use Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties CONSTANTES DE FRÉQUENCES FREQUENCY CONSTANTS 22 Céramique piézoélectrique Piezoelectric ceramic P1 88 P1 88 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units ρ σ Masse volumique Density Coefficient de Poisson Poisson’s constant Température de Curie Curie point 103 Tc εT33 / ε0 εS33 / ε0 εT11 / ε0 εS11 / ε0 tg δ Constantes diélectriques relatives Relative dielectric constants Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz kg.m–3 Valeurs type Typical values °C 7.7 0.3 340 – – – – 1 850 837 1 970 1 440 % ≤2 Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties Coefficient de charge Charge coefficient d31 d33 d15 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 – 186 425 400 53 Coefficient de tension Voltage coefficient g31 g33 g15 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 – 11.4 26 22.9 3.2 e31 e33 e15 C.m–2 – 4.3 16.7 11.8 h31 h33 h15 108 V/m–1 – 5.8 22.6 9.3 Constantes de couplage Coupling factors k31 kp k33 kt k15 – – 0.37 0.65 0.74 0.49 0.52 Constantes de fréquence Frequency constants Longitudinal Longitudinal N3a En épaisseur Along thickness N3t Transversale Transversal N1 Radiale Radial Np Circonférentielle Circular Nc kHz.mm 1 890 2 020 1 450 1 970 910 % par décade % per time decade – 1.6 0 0.3 Vieillissement Ageing rates ∆ εT33 / εT33 ∆ kp/kp ∆ Np/Np Constantes élastiques à champ constant Elastic constants short circuit CE11 CE12 CE13 CE33 CE44 CE66 1010 N.m–2 13.22 8.23 8.37 12 2.95 2.5 Constantes élastiques à induction constante Elastic constants open circuit CD11 CD12 CD13 CD33 CD44 CD66 1010 N.m–2 13.43 8.43 7.24 15.8 4.04 2.5 Compliances à champ constant Compliances short circuit SE11 SE12 SE13 SE33 SE44 SE66 10–12 m2.N–1 15.44 – 4.62 – 7.84 20.09 33.94 40.04 Compliances à induction constante Compliances open circuit SD11 SD12 SD13 SD33 SD44 SD66 10–12 m2.N–1 13.33 – 6.73 – 3.01 9.09 24.76 40.04 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm 80 23 Céramique piézoélectrique P1 89 Piezoelectric ceramic P1 89 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units ρ σ Masse volumique Density Coefficient de Poisson Poisson’s constant Température de Curie Curie point 103 Tc εT33 / ε0 εS33 / ε0 εT11 / ε0 εS11 / ε0 tg δ Constantes diélectriques relatives Relative dielectric constants Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz kg.m–3 Valeurs type Typical values °C 7.65 0.31 320 – – – – 1 150 668 1 550 1 142 % ≤ 0.05 Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties Coefficient de charge Charge coefficient d31 d33 d15 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 – 108 240 280 24 Coefficient de tension Voltage coefficient g31 g33 g15 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 – 10.5 23.4 20.4 2.4 e31 e33 e15 C.m–2 – 6.18 12.79 12.88 h31 h33 h15 108 V/m–1 – 10.46 21.64 12.74 Constantes de couplage Coupling factors k31 kp k33 kt k15 – – 0.32 0.51 0.65 0.46 0.51 Constantes de fréquence Frequency constants Longitudinal Longitudinal N3a En épaisseur Along thickness N3t Transversale Transversal N1 Radiale Radial Np Circonférentielle Circular Nc kHz.mm 2 060 2 150 1 750 2 350 1 200 % par décade % per time decade – 3.3 – 1 Vieillissement Ageing rates ∆ εT33 / εT33 ∆ kp/kp ∆ Np/Np Constantes élastiques à champ constant Elastic constants short circuit CE11 CE12 CE13 CE33 CE44 CE66 1010 N.m–2 15.37 8.23 8.06 13.74 4.59 3.57 Constantes élastiques à induction constante Elastic constants open circuit CD11 CD12 CD13 CD33 CD44 CD66 1010 N.m–2 16.05 8.91 6.52 16.51 6.23 3.57 Compliances à champ constant Compliances short circuit SE11 SE12 SE13 SE33 SE44 SE66 10–12 m2.N–1 10.66 – 3.34 – 4.52 13.25 21.77 28.07 Compliances à induction constante Compliances open circuit SD11 SD12 SD13 SD33 SD44 SD66 10–12 m2.N–1 9.52 – 4.48 – 1.99 7.63 16.04 28.01 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm > 1 000 24 Céramique piézoélectrique Piezoelectric ceramic P1 91 P1 91 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units ρ σ Masse volumique Density Coefficient de Poisson Poisson’s constant Température de Curie Curie point 103 Tc εT33 / ε0 εS33 / ε0 εT11 / ε0 εS11 / ε0 tg δ Constantes diélectriques relatives Relative dielectric constants Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz kg.m–3 Valeurs type Typical values °C 7.41 0.34 220 – – – – 3 400 1 461 2 808 1 820 % ≤2 Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties Coefficient de charge Charge coefficient d31 d33 d15 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 – 247 600 509 106 Coefficient de tension Voltage coefficient g31 g33 g15 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 – 8.3 20.2 20.5 3.6 e31 e33 e15 C.m–2 – 4.9 21.4 17.1 h31 h33 h15 108 V/m–1 – 3.8 16.5 10.6 Constantes de couplage Coupling factors k31 kp k33 kt k15 – – 0.35 0.61 0.75 0.49 0.59 Constantes de fréquence Frequency constants Longitudinal Longitudinal N3a En épaisseur Along thickness N3t Transversale Transversal N1 Radiale Radial Np Circonférentielle Circular Nc kHz.mm 1 910 2 000 1 430 1 970 – % par décade % per time decade – – – Vieillissement Ageing rates ∆ εT33 / εT33 ∆ kp/kp ∆ Np/Np Constantes élastiques à champ constant Elastic constants short circuit CE11 CE12 CE13 CE33 CE44 CE66 1010 N.m–2 12.09 7.63 7.31 11.26 3.36 2.23 Constantes élastiques à induction constante Elastic constants open circuit CD11 CD12 CD13 CD33 CD44 CD66 1010 N.m–2 12.27 7.82 6.37 14.8 5.19 2.23 Compliances à champ constant Compliances short circuit SE11 SE12 SE13 SE33 SE44 SE66 10–12 m2.N–1 16.71 – 5.75 – 7.94 21.41 29.75 44.92 Compliances à induction constante Compliances open circuit SD11 SD12 SD13 SD33 SD44 SD66 10–12 m2.N–1 14.65 – 7.81 – 2.95 9.29 19.28 44.92 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm 60 25 Céramique piézoélectrique P1 94 Piezoelectric ceramic P1 94 PROPRIÉTÉS PROPERTIES Paramètres Parameters Symbole Symbol Unités Units ρ σ Masse volumique Density Coefficient de Poisson Poisson’s constant Température de Curie Curie point 103 Tc εT33 / ε0 εS33 / ε0 εT11 / ε0 εS11 / ε0 tg δ Constantes diélectriques relatives Relative dielectric constants Tangente de l’angle de pertes à 1 kHz Dielectric dissipation factor at 1 kHz kg.m–3 Valeurs type Typical values °C 7.9 0.35 185 – – – – 4 500 2 230 4 000 2 710 % ≤2 Propriétés piézoélectriques Piezoelectric properties Coefficient de charge Charge coefficient d31 d33 d15 dh = d33 + 2 d31 10–12 m.V–1 – 305 640 554 30 Coefficient de tension Voltage coefficient g31 g33 g15 gh = g33 + 2 g31 10–3 V.m.N–1 – 7.2 15.1 15.6 0.7 e31 e33 e15 C.m–2 – 12.4 26.2 20.8 h31 h33 h15 108 V/m–1 – 6.3 13.2 8.7 Constantes de couplage Coupling factors k31 kp k33 kt k15 – – 0.38 0.63 0.72 0.50 0.57 Constantes de fréquence Frequency constants Longitudinal Longitudinal N3a En épaisseur Along thickness N3t Transversale Transversal N1 Radiale Radial Np Circonférentielle Circular Nc kHz.mm 1 830 2 000 1 380 1 930 – % par décade % per time decade 0.5 0.2 – 0.2 Vieillissement Ageing rates ∆ εT33 / εT33 ∆ kp/kp ∆ Np/Np Constantes élastiques à champ constant Elastic constants short circuit CE11 CE12 CE13 CE33 CE44 CE66 1010 N.m–2 15.31 10.49 10.39 13.69 3.75 2.41 Constantes élastiques à induction constante Elastic constants open circuit CD11 CD12 CD13 CD33 CD44 CD66 1010 N.m–2 16.14 11.32 8.72 15.9 5.55 2.41 Compliances à champ constant Compliances short circuit SE11 SE12 SE13 SE33 SE44 SE66 10–12 m2.N–1 15.27 – 5.46 – 7.37 18.3 26.69 41.46 Compliances à induction constante Compliances open circuit SD11 SD12 SD13 SD33 SD44 SD66 10–12 m2.N–1 13.05 – 7.68 – 2.73 8.6 18.02 41.46 Facteur de qualité mécanique (radial) Mechanical quality factor (radial) Qm 60 26 Notes Notes 27 Notes Notes 28 Sites de production Production sites BUREAUX DE VENTE SALES OFFICES AMÉRIQUE DU NORD NORTH AMERICA EUROPE EUROPE Etats-Unis / USA France / France Saint-Gobain Quartz S.A.S. B.P 102 – 77793 Nemours Cedex Tel: (33) (0)1 64 45 45 00 Fax: (33) (0)1 64 28 45 11 E-mail: [email protected] Allemagne / Germany Saint-Gobain Quartz GmbH Hüttenstrasse 10 D-65201 Wiesbaden Tel: (49) (0)6 11 27 00 0* Fax: (49) (0)6 11 27 00 27 E-mail: [email protected] Italie / Italy SEPR ITALIA SpA Via Romagnoli 6 – 20146 Milano Tel: (39) 02 472 140 Fax: (39) 02 472 188 E-mail: [email protected] Suisse / Switzerland Saint-Gobain Quartz S.A. Rue de la Colline 5 CH-1635 La Tour de Treme Tel: (41) 26 919 82 92 Fax: (41) 26 919 82 95 E-mail: [email protected] Bureaux de vente Sales offices Saint-Gobain Quartz USA P.O Box 740009 1600 West Lee Street Louisville – KY 40201-7409 Tel West: (1) 502 775 7383 Tel East: (1) 502 775 7377 Fax: (1) 502 775 7385 E-mail: [email protected] ASIE ASIA Corée du Sud / Korea Saint-Gobain Advanced Materials Korea Co., Ltd 13th Floor Dongshin Building 141-28, Samsung-Dong Kangnam-Ku – Seoul 135-090 Tel: (82) 2 538 7367 Fax: (82) 2 538 7368 E-mail: [email protected] Singapour / Singapore Saint-Gobain Quartz Pte Ltd 47 Gul Circle – Jurong Town 629 580 Singapore Tel: (65) 6 862 5025 Fax: (65) 6 862 5075 E-mail: [email protected] Taiwan / Taiwan R.O.C. Chine / China Saint-Gobain Quartz Co., Ltd Room 1706, Ocean Tower, 550 Yan An Dong Road – Shanghai, 200001 Tel: (86) 21 6322 3618 Fax: (86) 21 6322 0911 E-mail: [email protected] Saint-Gobain Advanced Materials Taiwan Co., Ltd Suite 1203 147, ChienKwo North Road, Section 2, Taipei Tel: (886) 2 2503 4201 Fax: (886) 2 2503 4202 E-mail: [email protected] Japon / Japan Saint-Gobain KK 3-7 Kojimachi, Chiyoda-ku Tokyo 102-0083 Tel: (81) 3 3263 0282 Fax: (81) 3 3264 6010 E-mail: [email protected] Royaume-Uni / United Kingdom Saint-Gobain Quartz S.A.S. B.P. 102 77793 Nemours Cedex France Tel: (33) (0)1 64 45 45 00 Fax: (33) (0)1 64 28 45 11 E-mail: [email protected] Consultez notre site : / Visit our web site: http://www.quartz.saint-gobain.com Printed in France by Kossuth, Paris – APR 04 – SM – A4 – FR/EN Saint-Gobain Quartz PLC P.O Box 6 – Wallsend Tyne & Wear – NE28 6DG Tel: (44) (0)191 262 5311 Fax: (44) (0)191 263 8040 E-mail: [email protected]