H - Thèses de l`INSA de Lyon

N° d'ordre : 2006-ISAL-00132 Année 2006
Thèse
Etude des effets des contraintes mécaniques induites
par les procédés de fabrication sur le comportement
électrique des transistors CMOS des nœuds
technologiques 65nm et en deça
Présentée devant
L'Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
Formation doctorale : Dispositif de l'Electronique Intégrée
Ecole doctorale : Electronique, Electrotechnique, Automatique
Pour obtenir
le grade de docteur
par
Claude ORTOLLAND
Ingénieur de l'INSA de Lyon
Soutenue le 22 Décembre 2006 devant la commission d'examen:
M. Abdelkader SOUIFI Président
Mme Mireille MOUIS Rapporteur
M. Vincent SENEZ Rapporteur
M. Alain PONCET Directeur de thèse
M. Peter STOLK Co-Directeur de thèse
M. Robert LANDER Exminateur
M. Frédéric BOEUF Invité
Thèse préparée en collaboration avec le Laboratoire Physique de la matière de L'INSA de
Lyon et Philips Semiconductors - Crolles 2 Alliances, 860, Rue Jean Monnet 38926 Crolles
Cedex

"Science is a wonderful thing…
…if one does not have to earn one's living at it"
Albert Einstein
À Sandrine

Remerciements
Le travail d'une thèse n'est pas quelque chose qui peut se faire seul et isolé des autres. Comme
toute étude de cette envergure, sa réussite est avant tout la réussite d'un groupe et non d'une
seule personne. Certes il est vrai que nous nous retrouvons seul à recueillir les lauriers de la
gloire qui nous permet d'accéder au statut de Docteur mais je tiens, à travers ce paragraphe, à
partager cette réussite avec bon nombre de personne.
Tant de personne à remercier et si peu de place. Il m'aurait peut être fallu toutes les pages de
ce manuscrit dans le but d'écrire une pensé à tout le monde. De ce fait je tiens à remercier du
fond du cœur toutes les personnes qui ont apporté ne serait ce qu'une petite pierre à cet édifice
mais qui ne trouverons pas leur nom dans les lignes qui suivent. Je suis certain qu'elles se
reconnaîtront.
Je tiens à remercier personnellement mes deux encadrants sans lesquels je n'aurais pu faire
cette thèse. Tout d'abord Alain PONCET, mon directeur de thèse, qui m'a beaucoup aidé lors
de la rédaction de ce mémoire, et également dans les parties de physique quantique qu'il
contient. Ainsi que Peter STOLK, mon encadrant au sein de Philips Semiconductors, qui,
malgré son emploie du temps surcharger de manager de l'équipe Process Integration 65nm, a
tout le temps su trouver des créneaux pour me voir. Merci Peter pour tes points de vue
technologique qui m'ont permis de très bien cerner l'enjeu pour une technologie. Merci
également de ton soutient durant ces 3 ans.
J'ajoute à ces remerciements Joël HARTMAN, Rob FRIJN et Michel LECONTELLEC,
responsables de l'ensemble des équipes d'intégration des nouvelles technologies du site de
Crolles 2 Alliance de m'avoir accepté en tant que thésard au sein de leurs équipes de
recherche.
Durant mes trois ans de thèse, j'ai sollicité particulièrement trois personnes sur le plan
technique mais également sur le plan de gestion de mes recherches. Ce sont elles qui m'ont
donnée goût à cette compréhension scientifique des transistors qui m'a permis d'aller au fonds
des choses. C'est pour cela que je tiens à remercier chaleureusement Franck ARNAUD, Pierre
MORIN, Frédéric BŒUF pour tout le temps qu'ils ont pu me consacrer, notamment lors de
l'écriture de mes différentes publications. Vous êtes mes idoles!
J'ai pu trouver au sein de l'équipe 65nm une vrai petite famille que je regrette de quitter. Et
oui, il arrive un jour où il faut partir du cocon familial (Je pense que toute l'équipe
comprendra là où je veux en venir). Merci à tous pour votre bonne humeur, pour les weekly
du lundi matin avec les gâteaux, pour les repas du midi que nous avons partagé et pour tes ces
petits moments passés en votre compagnie. Dans le désordre: Blandine (Toujours disponible
pour répondre à mes interrogations sur les devices), Brice (Merci pour toutes les combines
vin), Romain (Economiste refoulé: l'économie n'a maintenant plus de secret pour moi), Céline
(Madame STI), Céline (pour son point de vue tout le temps différent), Nicolas (pour sa bonne
humeur et ses blagounettes), Sylvie (pour tous les ragôts et sa donation de 2 fauteuils). Avec
une dédicace spécial pour Marie-Thérèse (très grande technologue du Process Intégration) qui
m'a pris en charge au début de ma thèse pour me former à la vie de filière, a celle de la salle
blanche et aux réservations de créneau SEM à 5h30 du matin.