Systèmes de détection

Systèmes de
détection
-choix du type de mesure
-mesures en transmission
-mesures en fluorescence
-artefacts

Différents modes de mesure
Absorption: excitation et relaxations
Photons de fluorescence
Électrons Auger
Faisceau incident
Faisceau transmis
3 processus pour mesurer m

Différents modes de mesure:
spécificités
Transmission
échantillons concentrés (>1%)
échantillons minces (~ dizaine de µm)
Fluorescence
échantillons dilués
profondeur sondée: ~dizaine de µm
Electrons (AEY, CEY, TEY…)
films minces (non-isolant)
profondeur sondée: ~dizaine de nm

Mesures en
transmission

Mesures en transmission
Itransmis Iincident
md = ln(fincident/ftransmis)
(loi de Beer-Lambert)
fincident
ftransmis
md = ln(Iincident/Itransmis)