Nouvelle source cohérente dans l`UV lointain (125 nm) pour la

UNIVERSITE PARIS NORD - INSTITUT GALILÉE
LABORATOIRE DE PHYSIQUE DES LASERS
RAPPORT DE STAGE DE 3
ième
ANNEE
DE INSTITUT D'OPTIQUE Graduate School
10 avril - 10 octobre 2006
par
Laurent Philippet
Nouvelle source cohérente dans l’UV lointain (125 nm)
pour la nanolithographie optique
Responsable de stage :
Sébastien Forget (Maître de Conférences à l’Université Paris Nord)

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Remerciements
Je tiens à remercier le Laboratoire de Physique des Lasers et son directeur,
M. Charles Desfrançois, de m’avoir accueilli pendant six mois et de m’avoir permis
d’utiliser leurs installations techniques et leur matériel scientifique dans le cadre de mon
stage. Je tiens à remercier plus particulièrement toute l’équipe LUMEN pour leur
chaleureux accueil, leur gentillesse qui les caractérisent si bien et leur grande disponibilité à
répondre à toutes mes questions et interrogations. Je les remercie aussi pour m’avoir fait
partager leurs connaissances, leur dynamisme et leur goût pour la recherche.
Je remercie aussi toutes les autres personnes du laboratoire avec qui j’ai pu entretenir de
bons rapports.

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Table des matières - 5 -
Table des matières
Chapitre 1 : Introduction p 7
1.1 Présentation du Laboratoire de Physique des Lasers (LPL) et de l’équipe LUMEN p 7
1.2 Présentation du sujet de stage et objectifs p 8
1.2.1 Déroulement du stage
1.2.2 Pourquoi essayer d’obtenir un rayonnement à λ = 125 nm ?
1.2.3 Comment obtenir du rayonnement VUV ?
1.3 État de l’art des sources VUV p 10
1.4 Notre source p 12
1.5 Conclusion p 15
Chapitre 2 : Points de théorie p 17
2.1 Polarisation non linéaire d’un matériau p 17
2.2 Mélange à quatre ondes p 18
2.2.1 Expression de la susceptibilité non linéaire du troisième ordre
2.2.2 Expression de l’intensité du rayonnement VUV
Chapitre 3 : Expérimentation p 23
3.1 Problématique p 23
3.2 Dispositif expérimental p 23