Fiabilité des transistors MOS des technologies à mémoires non

Université d’Aix-Marseille
Thèse
Pour obtenir le grade de
DOCTEUR DE L’UNIVERSITE D’AIX-MARSEILLE
Spécialité MICRO ET NANOELECTRONIQUE
dans le cadre de l’Ecole Doctorale :
Sciences pour l’Ingénieur : Mécanique, Physique, Micro et Nanoélectronique
préparée au sein de la société STMicroelectronics à Rousset
en collaboration avec l’Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence
Fiabilité des transistors MOS des technologies à
mémoires non volatiles embarquées
par
Marion CARMONA
Directeur de thèse : M. Didier GOGUENHEIM
Présentée et soutenue publiquement le 4 mars 2015 devant le jury composé de :
M. Pascal MASSON
Professeur, Université de Nice Sophia Antipolis
Président
M. Liviu MILITARU
Maître de conférences, INL INSA Lyon
Rapporteur
M. Philippe PERDU
Expert Senior, CNES Toulouse
Rapporteur
M. Didier GOGUENHEIM
Professeur, Université Aix-Marseille
Directeur de thèse
M. Jean-Luc OGIER
Docteur, STMicroelectronics
Examinateur
M. Laurent LOPEZ
Docteur, STMicroelectronics
Invité

Remerciement
Les travaux de thèse présentés dans ce manuscrit ont été effectués dans le cadre d’une convention
CIFRE entre deux entités partenaires, l’entreprise STMicroelectronics à Rousset et le laboratoire
IM2NP (Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence), de janvier 2012 à janvier
2015. Je remercie M. Rachid BOUCHAKOUR, directeur de l’IM2NP, ainsi que M. Olivier PIZZUTO,
responsable du RCCAL (Rousset Central Characterization Analysis Laboratory), sans qui cette thèse et
cette expérience unique n’auraient pu avoir lieu.
Je tiens à remercier Didier GOGUENHEIM, directeur de thèse et professeur à l’ISEN-Toulon, pour
m’avoir fait partager ses compétences et ses connaissances. Merci pour l’aide, l’écoute et la patience
qu’il m’a témoigné tout au long de ces trois années de thèse.
J’exprime toute ma gratitude à Jean-Luc OGIER, responsable de l’équipe « Caractérisation
électrique » au sein du laboratoire RCCAL de STMicroelectronics (Rousset). Merci de m’avoir
accueillie et d’avoir facilité mon intégration au sein de l’équipe, ce qui a contribué à créer de bonnes
conditions de réalisation de ma thèse.
Merci tout particulièrement à Laurent LOPEZ, mon tuteur industriel, pour tout ce qu’il m’a appris,
pour les conseils avisés qu’il a su me donner et pour son encadrement de grande qualité. Son
attention, sa disponibilité, ses encouragements, son appréciable soutien quotidien et son implication
dans cette thèse, m’ont permis de mener à bien ces travaux.
J'exprime toute ma reconnaissance à Philippe PERDU et à Liviu MILITARU pour avoir accepté d’être
les rapporteurs de mon mémoire de thèse et pour m’avoir fait l'honneur de juger mon travail.
Ma respectueuse reconnaissance s'adresse également à Pascal MASSON. Je suis sensible à l'honneur
qu'il m’a fait de faire partie du jury de thèse.
Je tiens à remercier chaleureusement tous les membres du laboratoire de caractérisation électrique
pour leur accueil, leur support technique et leur curiosité scientifique. Un grand merci à : Lorin,
Lionel, Olivier, Jean-Luc, Marc, Laurent, Luc, Patrick, Quentin, Guillaume, Vincenzo et Benjamin.