Information produit

Série ZEISS Sigma
Vos MEB à émission de champ pour l'imagerie haute qualité et la
microanalyse avancée
Informations produit
Version 2.0

4 µm
2
Réseau de microlentilles CCD non conductrices, 1 kV, Sigma 500.
La série ZEISS Sigma combine la technologie de MEB à émission de champ
(FE-SEM) avec une très grande convivialité.
Structurez vos routines d'imagerie et d'analyse et augmentez la productivité avec
le workflow intuitif en 4 étapes de Sigma. Vous capturerez davantage de données,
plus rapidement que jamais. Choisissez parmi une variété d'options de détecteur
afin d'adapter Sigma précisément à vos applications: vous pouvez capturer des
images de particules, de surfaces, de nanostructures, de films minces, de revête-
ments et de couches. Avec la série Sigma, vous entrez dans le mode de l'imagerie
haut de gamme: Sigma 300 offre l'excellence en matière de prix et de perfor-
mances, tandis que la géométrie EDS du Sigma 500, offre des performances analy-
tiques superbes.
Comptez sur des résultats précis et reproductibles – de n'importe quel échantillon,
à chaque fois.
Vos MEB à émission de champ pour l'imagerie haute qualité
et la microanalyse avancée
› En bref
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› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Animation

3
Plus simple. Plus intelligent. Plus intégré.
Utilisez la détection flexible
pour des images nettes
Personnalisez Sigma précisément pour vos besoins
en utilisant la technologie de détecteur la plus
récente. Extrayez les informations de topographie,
de composition et de cristallographique de pour
caractériser tous vos échantillons. Étendez encore
plus loin les performances d'imagerie avec le détec-
teur InLens Duo optionnel, qui permet d'acquérir
des informations topographiques et de composition
avec un seul détecteur. Une nouvelle génération de
détecteurs d'électrons secondaires (SE) produit des
images au contraste élevée et à haute résolution,
de votre échantillon avec jusqu'à 50% de signal
en plus. En travaillant en pression variable les
nouveaux détecteurs C2D et VPSE de Sigma vous
permettront d'obtenir des images piquées avec
près de 85% de contraste en plus.
Effectuez une microscopie analytique avancée
La géométrie EDS de Sigma, augmente votre pro-
ductivité analytique, notamment sur des échantillons
sensibles au faisceau. Vous obtiendrez des données
analytiques à courant de sonde deux fois plus rapi-
dement de fois plus faible et deux fois plus rapide-
ment La série Sigma permet une analyse et une
cartographie aux rayons X rapides et complètes. En
plaçant les détecteurs plus près de l'échantillon, vous
réalisez une analyse totalement exempte d'ombrage.
Vous bénéficiez de l'utilisation d'une distance de
travail analytique courte de 8,5mm et un angle de
départ de 35°. Vous pouvez compter sur Sigma
comme plate-forme de choix pour la microscopie
analytique avancée.
Automatisez et accélérez votre workflow
Un workflow en 4 étapes vous permet de comman-
der toutes les fonctionnalités de votre Sigma. Vous
bénéficiez ainsi des avantages d'un temps d'acquisi-
tion d'image court et gagnez aussi du temps en
formation – en particulier dans un environnement
multi-utilisateurs. La première étape est la navigation
d'images, qui permet une navigation et un position-
nement intuitifs de l'échantillon sous le faisceau.
Un simple clic de la souris règle alors les conditions
d'imagerie optimales pour votre échantillon. Ensuite,
utilisez l'imagerie automatisée pour définir des
régions d'intérêt (ROI) aux formes libres et acquérir
automatiquement de multiples ensembles de
données sur de multiples échantillons. Pour terminer,
SmartBrowse collecte et présente vos données sous
la forme d'une carte interactive afin que vous puis-
siez parfaitement comprendre votre échantillon.
Fibres avec argent incorporé, image capturée à 1 kV sous vide
poussé, à gauche: InLens Duo SE, à droite: InLens Duo BSE.
Gagnez du temps avec le workflow intuitif Sigma en 4 étapes. Accélérez les analyses aux rayons X avec la meilleure géométrie
EDS de sa catégorie.
10 µm
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› Les avantages
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› Technologie et détails
› Service

Magnetic lens
Sample
Scan coils
Gemini objective
FE-gun
Condensor
InLens SE or
InLens Duo detector
Electrostatic lens
Beam booster
4
Découvrez la technologie qui se cache derrière cet instrument
Basé sur la technologie Gemini éprouvée
La série Sigma s'appuie sur plus de 20 ans de perfec-
tionnement de la technologie Gemini. Vous pouvez
compter sur une détection complète et efficace,
une excellente résolution et une facilité d'utilisation
inégalée. La conception de la lentille objectif Gemini
combine des champs électrostatique et magnétique
afin de maximiser les performances optiques tout en
réduisant à un niveau minimal les influences des
champs sur l'échantillon. Cela permet une excellente
imagerie, même sur des échantillons difficiles tels
que les matériaux magnétiques. Le concept de
détection Gemini garantit une détection efficace du
signal en détectant les électrons secondaires (SE) et/
ou rétrodiffusés (BSE). Ce détecteur InLens est situé
sur l'axe optique, ce qui réduit le besoin de réaligne-
ment et minimise ainsi le temps d'acquisition de
l'image. La technologie d'accélérateur de faisceau
Gemini garantit des petites tailles de sonde et des
rapports signal/bruit élevés, et ce jusqu'à des ten-
sions d'accélération extrêmement basses. Elle mini-
mise également la sensibilité du système aux champs
parasites externes en maintenant le faisceau à haute
tension tout le long de la colonne jusqu'à sa décé-
lération finale.
Technologie Gemini. Coupe transversale schématique de la colonne optique Gemini avec accélérateur de faisceau (Beam booster), détecteur
InLens et lentille objectif Gemini.
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› Les applications
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› Technologie et détails
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100 nm
1 µm
10 µm
100 µm 10 µm
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2
3
4
5
5
Découvrez la technologie qui se cache derrière cet instrument
Utilisez la détection flexible pour
des images nettes
Caractérisez tous vos échantillons en utilisant
les technologies de détection les plus récentes.
2 Détecteur ETSE
Détecteur d'électrons secondaires Everhart-Thornley pour imagerie
topographique à haute résolution avec un rapport signal/bruit accru
et une charge réduite à faible tension en mode haut vide.
4 C2D
Détecteur de courant à cascade qui crée une cascade d'ionisation et
mesure le courant qui en résulte. Cela fournit des images nettes en
mode VP, même à des pressions plus élevées et des tensions inférieures.
1 Détecteurs InLens
InLens SE: Un détecteur SE en colonne à haute résolution.
InLens Duo*: Détecteur InLens SE et BSE pour imagerie topogra-
phique et de composition séquentielle à haute résolution.
3 VPSE-G4
Notre détecteur SE à pression variable de 4e génération offre des
performances d'imagerie améliorées en mode VP avec jusqu'à
85% de contraste en plus.
5 aSTEM*
Détecteur STEM annulaire pour la production d'images en trans-
mission à haute résolution. Permet les modes champ clair, champ
sombre et champ sombre annulaire à angle élevé (HAADF), par
exemple pour des films minces ou des coupes biologiques. * uniquement disponible pour Sigma 500
Coupe transversale schématique de la colonne optique Gemini
avec détecteurs.
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