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Version 2.0
Série ZEISS Sigma
Vos MEB à émission de champ pour l'imagerie haute qualité et la
microanalyse avancée
Vos MEB à émission de champ pour l'imagerie haute qualité
et la microanalyse avancée
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
La série ZEISS Sigma combine la technologie de MEB à émission de champ
(FE-SEM) avec une très grande convivialité.
Structurez vos routines d'imagerie et d'analyse et augmentez la productivité avec
le workflow intuitif en 4 étapes de Sigma. Vous capturerez davantage de données,
plus rapidement que jamais. Choisissez parmi une variété d'options de détecteur
afin d'adapter Sigma précisément à vos applications : vous pouvez capturer des
images de particules, de surfaces, de nanostructures, de films minces, de revêtements et de couches. Avec la série Sigma, vous entrez dans le mode de l'imagerie
haut de gamme : Sigma 300 offre l'excellence en matière de prix et de performances, tandis que la géométrie EDS du Sigma 500, offre des performances analytiques superbes.
4 µm
Réseau de microlentilles CCD non conductrices, 1 kV, Sigma 500.
Comptez sur des résultats précis et reproductibles – de n'importe quel échantillon,
à chaque fois.
Animation
2
Plus simple. Plus intelligent. Plus intégré.
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Utilisez la détection flexible
Automatisez et accélérez votre workflow
Effectuez une microscopie analytique avancée
Personnalisez Sigma précisément pour vos besoins
Un workflow en 4 étapes vous permet de comman-
La géométrie EDS de Sigma, augmente votre pro-
en utilisant la technologie de détecteur la plus
der toutes les fonctionnalités de votre Sigma. Vous
ductivité analytique, notamment sur des échantillons
récente. Extrayez les informations de topographie,
bénéficiez ainsi des avantages d'un temps d'acquisi-
sensibles au faisceau. Vous obtiendrez des données
de composition et de cristallographique de pour
tion d'image court et gagnez aussi du temps en
analytiques à courant de sonde deux fois plus rapi-
caractériser tous vos échantillons. Étendez encore
formation – en particulier dans un environnement
dement de fois plus faible et deux fois plus rapide-
plus loin les performances d'imagerie avec le détec-
multi-utilisateurs. La première étape est la navigation
ment La série Sigma permet une analyse et une
teur InLens Duo optionnel, qui permet d'acquérir
d'images, qui permet une navigation et un position-
cartographie aux rayons X rapides et complètes. En
des informations topographiques et de composition
nement intuitifs de l'échantillon sous le faisceau.
plaçant les détecteurs plus près de l'échantillon, vous
avec un seul détecteur. Une nouvelle génération de
Un simple clic de la souris règle alors les conditions
réalisez une analyse totalement exempte d'ombrage.
détecteurs d'électrons secondaires (SE) produit des
d'imagerie optimales pour votre échantillon. Ensuite,
Vous bénéficiez de l'utilisation d'une distance de
images au contraste élevée et à haute résolution,
utilisez l'imagerie automatisée pour définir des
travail analytique courte de 8,5 mm et un angle de
de votre échantillon avec jusqu'à 50 % de signal
régions d'intérêt (ROI) aux formes libres et acquérir
départ de 35°. Vous pouvez compter sur Sigma
en plus. En travaillant en pression variable les
automatiquement de multiples ensembles de
comme plate-forme de choix pour la microscopie
nouveaux détecteurs C2D et VPSE de Sigma vous
données sur de multiples échantillons. Pour terminer,
analytique avancée.
permettront d'obtenir des images piquées avec
SmartBrowse collecte et présente vos données sous
près de 85 % de contraste en plus.
la forme d'une carte interactive afin que vous puis-
pour des images nettes
siez parfaitement comprendre votre échantillon.
10 µm
Fibres avec argent incorporé, image capturée à 1 kV sous vide
poussé, à gauche : InLens Duo SE, à droite : InLens Duo BSE.
Gagnez du temps avec le workflow intuitif Sigma en 4 étapes.
Accélérez les analyses aux rayons X avec la meilleure géométrie
EDS de sa catégorie.
3
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› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Basé sur la technologie Gemini éprouvée
La série Sigma s'appuie sur plus de 20 ans de perfectionnement de la technologie Gemini. Vous pouvez
FE-gun
compter sur une détection complète et efficace,
une excellente résolution et une facilité d'utilisation
inégalée. La conception de la lentille objectif Gemini
combine des champs électrostatique et magnétique
afin de maximiser les performances optiques tout en
réduisant à un niveau minimal les influences des
Condensor
champs sur l'échantillon. Cela permet une excellente
imagerie, même sur des échantillons difficiles tels
que les matériaux magnétiques. Le concept de
InLens SE or
InLens Duo detector
Beam booster
détection Gemini garantit une détection efficace du
signal en détectant les électrons secondaires (SE) et/
ou rétrodiffusés (BSE). Ce détecteur InLens est situé
Gemini objective
sur l'axe optique, ce qui réduit le besoin de réalignement et minimise ainsi le temps d'acquisition de
Magnetic lens
l'image. La technologie d'accélérateur de faisceau
Gemini garantit des petites tailles de sonde et des
rapports signal/bruit élevés, et ce jusqu'à des ten-
Scan coils
Electrostatic lens
sions d'accélération extrêmement basses. Elle minimise également la sensibilité du système aux champs
Sample
parasites externes en maintenant le faisceau à haute
tension tout le long de la colonne jusqu'à sa décélération finale.
Technologie Gemini. Coupe transversale schématique de la colonne optique Gemini avec accélérateur de faisceau (Beam booster), détecteur
InLens et lentille objectif Gemini.
4
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› En bref
› Les avantages
› Les applications
Utilisez la détection flexible pour
des images nettes
Caractérisez tous vos échantillons en utilisant
les technologies de détection les plus récentes.
› Le système
1 µm
10 µm
› Technologie et détails
1 Détecteurs InLens
InLens SE : Un détecteur SE en colonne à haute résolution.
InLens Duo* : Détecteur InLens SE et BSE pour imagerie topographique et de composition séquentielle à haute résolution.
› Service
2 Détecteur ETSE
Détecteur d'électrons secondaires Everhart-Thornley pour imagerie
topographique à haute résolution avec un rapport signal/bruit accru
et une charge réduite à faible tension en mode haut vide.
1
100 µm
3 VPSE-G4
Notre détecteur SE à pression variable de 4e génération offre des
performances d'imagerie améliorées en mode VP avec jusqu'à
85 % de contraste en plus.
3
10 µm
4 C2D
Détecteur de courant à cascade qui crée une cascade d'ionisation et
mesure le courant qui en résulte. Cela fournit des images nettes en
mode VP, même à des pressions plus élevées et des tensions inférieures.
2
4
5
Coupe transversale schématique de la colonne optique Gemini
avec détecteurs.
100 nm
5 aSTEM*
Détecteur STEM annulaire pour la production d'images en transmission à haute résolution. Permet les modes champ clair, champ
sombre et champ sombre annulaire à angle élevé (HAADF), par
exemple pour des films minces ou des coupes biologiques.
*
uniquement disponible pour Sigma 500
5
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› Les avantages
› Les applications
Utilisez la détection flexible pour
des images nettes
Caractérisez tous vos échantillons en utilisant
les technologies de détection les plus récentes.
› Le système
10 µm
800 µm
› Technologie et détails
6/7 Détection EDS avancée
Géométrie d'analyse EDS avancée avec une distance de travail de
8,5 mm et un d'angle de départ de 35° pour délivrer des données
à deux fois la vitesse ou à la moitié du courant de sonde. Échantillon :
avec l'aimable autorisation de l'Université de Leicester.
› Service
7
6
8
8 Détecteur AsB
Détecteur BSE à sélectivité angulaire pour l'imagerie de cristallographie et de contraste de canalisation des métaux et des minéraux.
20 µm
1 µm
9 HDBSD
Détecteur BSE à haute définition pour une excellente imagerie de
composition à faible tension de tous les échantillons dans tous les
modes de vide.
9 BSD4 *
Quatre sorties parallèles du détecteur BSE pour une imagerie 3D et
la métrologie de surface en temps réel. Exemple d'une image de
composition d'une céramique.
9
100 µm
Coupe transversale schématique de la colonne optique Gemini
avec détecteurs.
9 YAG-BSD
Le détecteur BSE à scintillateur à base de cristal YAG produit une
imagerie de composition rapide et aisée.
*
uniquement disponible pour Sigma 500
6
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› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Utilisez la détection flexible pour
des images nettes
Le nouveau détecteur d'électrons secondaires
Everhart-Thornley (ETSE) maximise la collecte d'électrons tout en minimisant les effets de charge. Il fournit des images en haute résolution et contraste élevé
des échantillons aussi bien conducteurs que nonconducteurs en mode vide poussé avec jusqu'à 50 %
d'augmentation du rapport signal/bruit. Le nouveau
détecteur d'électrons secondaires à pression variable
de quatrième génération (VPSE-G4) compense les
effets de charge en contrôlant la pression de la
100 µm
10 µm
Surface non enrobée d'une fibre de masque chirurgical, image capturée avec ETSE à 1 kV, sous vide poussé montrant des informations
topographiques.
Algue, image capturée avec VPSE-G4, à 15 kV et 40 Pa.
chambre et capture des images images nettes et
claires avec jusqu'à 85 % de contraste en plus. Le
nouveau détecteur de courant à cascade (C2D) qui
crée une cascade d'ionisation et mesure le courant
qui en résulte. Il acquiert ainsi des images stables à
faible bruit sur des échantillons sensibles au faisceau
tels que les polymères, les particules et les échantillons biologiques jusqu'à 133 Pa. Sigma vous offre le
choix entre trois détecteurs d'électrons rétrodiffusés
rétractables. Le HDBSD est conçu pour l'imagerie
d'électrons rétrodiffusés de composition à haute
définition et faible haute tension. Le YAG-BSD offre
facilité d'utilisation et des temps de réponse rapides.
Le BSD4 permet la reconstruction de surface 3D
10 µm
10 µm
Médicament anti-inflammatoire non enrobé révélant d'excellents
détails de surface à 10 kV et une pression de chambre de 35 Pa
avec C2D.
Grains de platine montrant les plans de glissement aux limites des
grains, image capturée à 4 kV avec le détecteur AsB.
en temps réel et la métrologie de surface.
7
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› En bref
› Les avantages
Automatisez et accélérez votre workflow
Un workflow en 4 étapes vous permet de commander toutes les fonctionnalités de la série Sigma. Vous bénéficiez ainsi des avantages d'un temps d'acquisition d'image
court et gagnez aussi du temps en formation – en particulier dans un environnement multi-utilisateurs.
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Naviguez rapidement et facile-
Un clic suffit pour définir les
Identifiez et sélectionnez les
Passez en revue l'ensemble de vos
ment sur votre échantillon avec
conditions d'imagerie optimales
régions d'intérêt (ROI) – générez
données dans leur contexte – collec-
des images d'un appareil photo
pour votre échantillon, facilitant
automatiquement des ensembles
tez et présentez vos données sous
numérique.
l'analyse même pour des utilisa-
de données d'image à partir de
la forme d'une carte interactive sur
teurs débutants.
plusieurs échantillons.
laquelle vous pouvez zoomer.
1. Navigation d'image
2. Sélection du type échantillon
Métaux
Biologie
Revêtements
Fibres
3. Imagerie intelligente
automatisée
4. SmartBrowse
8
L'adaptation parfaite à vos applications
› En bref
› Les avantages
Exemple d'application
Tâche
La série SIGMA propose
Recherche en matériaux
Imagerie à haute résolution et analyse de nouveaux nanomatériaux
Sigma 500 permet la caractérisation complète des nanomatériaux avec une gamme diversifiée de détecteurs.
Vous obtenez une perspective de la topographie de vos structures des détails de la composition, de la structure
cristallographique et de la distribution élémentaire des matériaux techniques et nouveaux.
Analyse des revêtements et des films minces
Le nouveau détecteur ETSE révèle des détails qui étaient jusqu'à présent masqués de la surface des particules
non enrobées et non conductrices en mode vide poussé. Le détecteur aSTEM produit des images de transmission à haute résolution des structures de films minces et de nanoparticules. HDBSD fournit des informations
de composition très nettes sur les revêtements à basse tension.
Sciences de la vie
Imagerie à haute résolution et analyse à haut débit d'échantillons
biologiques fixés par cryogénisation.
Imagerie des structures cellulaires au niveau ultrastructural avec aSTEM. Le C2D délivre des images nettes
d'échantillons biologiques sensibles au faisceau.
Ressources naturelles
Étude minéralogique rapide et précise d'échantillons issus de carottages
Sigma permet l'imagerie et l'analyse à grande vitesse des échantillons géologiques non-conducteurs en mode
pression variable.
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Utilisez HDBSD pour produire des données de composition à haute définition de schiste et des minéraux. Obtenez
des données de composition deux fois plus rapidement avec deux détecteurs EDS diamétralement opposés.
Applications industrielles
Analyse de la défaillance des matériaux et des composants manufacturés
Acquisition sans effort d'informations topographiques à haute résolution de microstructures techniques et de
dispositifs MEMs défectueux avec InLens SE.
Générez une métrologie de surface 3D en temps réel des composants usinés de précision avec BSD4.
Analysez et déterminez la cause des fractures et des défauts avec l'imagerie HDBSD au contraste élevé.
Imagerie et analyse des aciers et métaux
La platine cartésienne accueille des échantillons d'acier de grande taille pour leur analyse dans la chambre du
microscope. Maintenez une qualité d'image optimale avec le nettoyage au plasma in situ et obtenez la cristallographie et le contraste de canalisation des phases avec le détecteur BSE à sélectivité angulaire (AsB). Le détecteur
BSE à haute définition (HDBSD) simplifie l'identification des inclusions non-métalliques.
Contrôle des dispositifs médicaux
La série Sigma vous permet d'inspecter la structure et les revêtements sur les stents et les fils de guidage
chirurgicaux. Travail en mode de pression variable, le nouveau détecteur C2D produit des images à faible bruit
et très détaillées des imperfections du revêtement.
QA/QC des semiconducteurs et de l'électronique
Le grand sas de Sigma 500 permet le chargement rapide des wafers de 5" prêts pour le contrôle. Faites
l'acquisition d'images de composition et topographiques à fort grandissement des dispositifs en couches
avec InLens Duo.
Avec des performances améliorées en mode vide poussé, le nouveau détecteur ETSE capture de superbes détails
des dispositifs semiconducteurs et masques de fabrication à basse tension.
9
ZEISS Sigma en action
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
10 µm
2 µm
L'image d'un alliage à 3 kV sous vide poussé montre le matériau
du noyau de tungstène entouré par une matrice d'acier.
Même à 300 V, le détecteur ETSE révèle un détail de surface élevé
lors de l'inspection des défauts en surface des micro-lentilles nonconductrices.
200 µm
L'image du détecteur ETSE révèle la morphologie fracturée de la
surface du métal, même à une grande distance de travail.
200 nm
L'image des nanofibres de carbone peut être capturée facilement
et sans dommage sur leur structure délicate en utilisant le détecteur InLens SE à 1 kV sous vide poussé.
10
ZEISS Sigma en action
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
10 µm
Fibres avec nanoparticules d'argent incorporées, 1 kV, à gauche :
InLens Duo SE, à droite : InLens Duo BSE. Provenant de pansements
antimicrobiens dans le soin des plaies.
20 µm
Chlorhydrate d'aluminium d'un anti-transpirant aérosol obtenu à
7 kV et une pression de chambre de 25 Pa avec VPSE.
10 µm
La surface non enrobée d'une fibre de masque chirurgical, image
capturée à la fois avec des détecteurs ETSE (à gauche) et BSE InLens
(à droite) à 1 kV, sous des conditions de vide poussé révélant des
informations topographiques et de composition.
10 µm
Médicament anti-inflammatoire non enrobé révélant d'excellents
détails de surface à 10 kV et une pression de chambre de 35 Pa
avec C2D.
11
ZEISS Sigma en action
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
10 µm
Image de carbonate de lanthane à 1 kV avec le détecteur BSE
InLens Duo. Le LaCO3 est un liant à base de phosphate utilisé
comme agent thérapeutique par voie orale chez les patients
dialysés.
1 µm
Nanoparticules de dioxyde de titane non-conductrices utilisées
comme pigments et agents opacifiants dont les images peuvent
être capturées facilement à 40 Pa en mode VP avec le C2D.
2 µm
10 µm
Le détecteur BSE InLens Duo en mode à 1 kV révèle la structure et
les informations de composition des délicates lamelles de séricite
et d'argiles kaolin utilisées comme charges cosmétiques.
Grains de platine montrant les plans de glissement aux limites des
grains, image capturée à 4 kV avec le détecteur AsB.
100 nm
20 µm
Particules d'oxyde de fer de 25 – 50 nm, image capturée avec le
détecteur aSTEM en mode champ sombre à 20 kV.
Image d'une poudre métallique Ni-Cr-Fe capturée à 4 kV avec
HDBSD.
12
ZEISS Sigma en action
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
10 µm
L'image de la délicate structure ouverte d'un radiolaire est capturée sans effort par le détecteur ETSE à 1 kV sous vide poussé.
2 µm
Image de spores de champignon capturée à 1 kV sous vide poussé.
Sigma 500 permet de capturer aisément les images de ces structures fragiles et délicates à basse tension.
10 µm
Le détecteur ETSE utilisé à 3 kV sous vide poussé révèle clairement
les détails de la surface et les pores dans la paroi en calcite de la
paroi des foraminifères planctoniques.
1 µm
L'image de la structure ouverte délicate d'une diatomée non
conductrice peut être capturée à faible haute tension sous vide
poussé sans artefacts de charge avec le détecteur ETSE.
1 µm
Image de sédiments filtrés avec le détecteur ETSE sous vide poussé
à 3 kV.
13
ZEISS Sigma en action
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
800 µm
Image en haute définition de minerai de sulfures de nickel capturée
par le détecteur BSE (HDBSD). Échantillon : avec l'aimable autorisation de l'Université de Leicester, Royaume-Uni.
800 µm
Minerai de sulfure de nickel. Carte minérale minéralogique produite
à partir de l'image du HDBSD sur la droite. Échantillon : avec
l'aimable autorisation de l'Université de Leicester, Royaume-Uni.
100 µm
Image d'échantillon de roche capturée avec le détecteur YAG-BSD
à 20 kV.
14
Étendre vos possibilités
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
Configurez votre platine – Choisissez entre la
platine cartésienne et l'eucentrique
Pour permettre une flexibilité totale de la manipulation des échantillons, Sigma 500 peut être configuré
soit avec l'option de platine eucentrique, soit cartésienne. La platine eucentrique offre une plate-forme
très stable, avec amortissement des vibrations pour
la haute résolution.
› Service
Son eucentricité mécanique lui permet d'incliner
facilement votre échantillon sous le faisceau d'électrons et elle est parfaitement adaptée aux applications d'imagerie à haute résolution. La platine
cartésienne, avec mouvement compucentrique,
prend tout son sens quand vous avez besoin de
naviguer sur des échantillons encombrants. Sa
conception modulaire pourra accueillir des échantillons extrêmement grands et lourds – jusqu'à
150 mm de hauteur et 5 kg. La platine cartésienne
est votre choix prioritaire pour les applications
exigeantes dans des domaines comme l'automobile,
l'aérospatiale, les métaux ou les machines.
Sigma 500 avec platine eucentrique.
Paramètre
Platine eucentrique
Platine cartésienne
Inclinaison
-3 à 70°
-10 à 90°
Débattement XY
130 mm
125 mm
Débattement Z
50 mm
50 mm
Poids
0,5 kg
0,5 kg XYZTR, 2 kg XYZR, 5 kg XY
Idéale pour
Imagerie de haute résolution
Échantillons lourds, de grande taille
Applications
Toutes les applications à haute résolution
(nanoparticules, films minces, etc.)
• QA/QC sur des pistons en automobile
• Analyse des défauts des pales de turbine en aérospatiale
• Inspection de grandes surfaces usinées
15
Étendre vos possibilités
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Imagerie 3D rapide et simple d’échantillons
biologiques dans le FESEM
Combinez votre Sigma 300 avec la technologie
3View® de Gatan Inc. pour acquérir des données 3D
en haute résolution à partir d'échantillons de cellules
et de tissus biologiques enrobés dans une résine.
Très rapidement et très simplement. 3View® est un
ultramicrotome placé dans la chambre du MEB.
L'échantillon est continuellement découpé et imagé
Cliquez ici pour visionner cette vidéo
pour produire des milliers de clichés en série en un
seul jour – chacun parfaitement aligné puisque tous
sont générés par un seul bloc fixe. Sigma 300 de
ZEISS est parfaitement adapté à cette application.
La technologie unique de la colonne Gemini produit
des images transmises à haute résolution et permet
des champs de vision de centaines de microns à une
résolution nanométrique.
16
Étendre vos possibilités
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Atlas 5 – Imagerie automatisée
de surface étendue
Atlas 5 transforme votre Sigma en une solution de
cartographie automatisée rapide de grandes surfaces. Avec un générateur de balayage de 16 bits et
un double système d'acquisition de signaux obtenus
à partir de très grands échantillons, vous pouvez
obtenir des images jusqu'à 32 k x 32 k pixels, avec
des temps d’attente allant de 100 ns à > 100 s,
réglables par paliers de 100 ns. Cette solution vous
permet de créer de grands montages d'images et de
bénéficier ainsi d'un champ de vision extrêmement
large avec une résolution à l'échelle nanométrique
du MEB. Un logiciel piloté par workflow vous guide
sans effort à travers toutes les tâches d'imagerie,
tandis que ses nombreuses fonctions automatisées
vous permettent d'acquérir des données plus
facilement et plus rapidement que jamais aupara-
Visualisation 3D, Medicago sp., nodules racinaires, coupes sériées, taille de pixel 25 nm, relations symbiotiques spatiales 3D entre les bactéries
fixatrices d'azote rhizobiums et la légumineuse hôte. Échantillon avec l'aimable autorisation de J. Sherrier, J. Caplan et S. Modla, Université du
Delaware, États-Unis.
vant. Le module optionnel Atlas 5 Array Tomography
est conçu spécifiquement pour l'imagerie automatisée de coupes en série de tissus biologiques afin de
permettre des visualisations 3D de grands volumes.
17
Étendre vos possibilités
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
La microscopie corrélative avec Shuttle & Find
Le module logiciel Shuttle & Find permet un workflow productif facile à utiliser pour superposer les
données de vos microscopes optiques et électroniques. Combinez les méthodes de contraste optique
de votre microscope optique avec les méthodes
analytiques de votre MEB. Découvrez des informations sur la fonction, la structure et la composition
chimique de votre échantillon.
50 µm
4 µm
Principe de fonctionnement :
Un système de coordonnés est généré en quelques
secondes en utilisant un porte-échantillon spécial
muni de trois marqueurs fiduciaires. Utilisez le
microscope optique pour définir les régions intéressantes dans votre échantillon. Repositionnez ensuite
les régions définies dans le MEB où vous pourrez
améliorer la résolution de plusieurs ordres de gran-
30 µm
4 µm
30 µm
4 µm
deur. Vous pouvez à présent continuer d'examiner
votre échantillon plus en détail. Pour terminer, effectuez la corrélation des images capturées par les
différentes techniques de microscopie avec le logiciel
Shuttle & Find.
Batterie au lithium-ion En haut : image au microscope optique.
Au centre : Image au MEB. En bas : Superposition des deux,
combinée avec analyse EDS.
Plaquettes colorées avec AF647 (protéine plaquettaire cellulaire, fausse
couleur : vert) et AF555 – phalloïdine (fausse couleur : rouge). En haut :
Image de fluorescence en microscopie confocal à balayage laser. Au
centre : Image au MEB. En bas : Superposition Avec l’aimable autorisation
de D. Woulfe et J. Caplan, Université de Delaware, Newark, États-Unis.
18
Étendre vos possibilités
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Analyse automatisée des particules
Depuis la propreté de la fabrication et la prévision
d'usure du moteur jusqu'à la production d'acier et
Utilisez soit l'analyse d'images (IA) en
elle-même, soit combinez-la avec des
données EDS pour l'identification et la
classification rapides des particules.
la gestion de l'environnement, les solutions pour
l'analyse des particules de ZEISS automatisent votre
workflow pour une reproductibilité accrue.
SmartPI
SmartPI (Smart Particle Investigator) est un puissant
outil d'analyse de particules pour votre série
ZEISS Sigma. Il détecte, examine et caractérise
automatiquement les particules d'intérêt dans vos
échantillons. Gain de productivité supplémentaire de
votre série ZEISS Sigma par l'analyse automatisée –
par exemple en le faisant fonctionner sans aucune
surveillance de nuit et durant les weekends. Générez
automatiquement des rapports standardisés ou
examinez vos données de manière interactive.
L'analyse avancée des particules vous permet
d'optimiser les processus industriels en quantifiant
les échantillons rapidement et objectivement. Les
Image obtenue à partir de SmartPI IA,
montrant des particules de différentes
tailles représentées par une couleur
unique.
Localisez et caractérisez automatiquement les particules en utilisant l'analyse
d'images et identifiez-les à l'aide d'IA et
de l'EDS.
plug-ins spécifiques aux applications fournissent des
fonctions pré-définies et des modèles de rapports,
spécifiquement adaptés à votre secteur d’activité.
Stockez vos particules dans une base
de données conjointement avec une
séquence complète de données modales
prêtes pour l'examen et la production
de rapports.
19
Étendre vos possibilités
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Minéralogie automatisée
ZEISS Mineralogic combine un moteur d'analyse minérale de pointe avec une gamme de résultats spécifiques à
l'application pour votre Sigma, vous permettant de caractériser et de quantifier les échantillons géologiques même
les plus difficiles avec une précision submicronique.
Pétrole et gaz
Exploitation minière
Utilisez Mineralogic Reservoir dans le cadre de votre
Mineralogic Mining réalise la minéralogie quanti-
séquence de worklfow numérique en pétrophysique
tative pour la géométallurgie, l'optimisation du site
des roches pour obtenir une compréhension plus
de traitement et la caractérisation du minerai.
profonde de votre gisement. Cela vous permet de
Générez une compréhension précieuse pour venir
cartographier et de caractériser automatiquement
assister la modélisation des processus et la prise de
les minéraux, la porosité et les matières organiques.
décisions, réduisant ainsi les risques et les coûts.
Adaptez votre système pour analyser tout type de
Ciblez l'amélioration des processus avec la minéra-
roche, depuis les gisements de grès classiques
logie quantitative, la conduite élémentaire, la distri-
jusqu'au schistes et aux mudstones très hétérogènes.
bution granulométrique et les caractéristiques de
Votre système pétrologique automatisé vous offre
libération et de verrouillage. Votre système de
une perspective unique dans les roches de gisement,
minéralogie automatisé est une partie essentielle
jouant ainsi un rôle essentiel dans la caractérisation
de l'exploitation minière moderne.
Analyse de particules : Examinez rapidement et simplement les
produits végétaux, identifier les tendances et soulignez les améliorations des processus. Identifiez, par exemple, les causes des pertes
de résidus et de la dilution des concentrés.
des échantillons de l'échelle centimétrique à l'échelle
nanométrique.
Analyse de section : Carte minérale numérique minéralogique type
d'une section de roche identifiant et quantifiant la minéralogie,
la porosité, les substances organiques et la texture. Échantillon :
avec l'aimable autorisation de l'Université du Texas, États-Unis.
20
Série ZEISS Sigma : un choix flexible de composants
Détecteurs et
accessoires choisis
Offre des détecteurs et accessoires
ZEISS Sigma 300
ZEISS Sigma VP 300
ZEISS Sigma 500
ZEISS Sigma VP 500
› Les avantages
Détecteur SE InLens
Imagerie topographique à haute résolution dans la colonne
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› Les applications
Détecteur InLens Duo
Imagerie séquentielle topographique ou de composition à haute résolution
dans la colonne (remplace le détecteur InLens SE)
X
X
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
› Le système
Détecteur ETSE
Imagerie topographique sous vide poussé à une distance de travail plus grande
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

› Technologie et détails
Détecteur VPSE-G4
Détecteur SE à pression variable de quatrième génération
X

X
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C2D
Détecteur de courant pour imagerie sous pression variable à hautes performances
X

X

Détecteur AsB
Imagerie de composition et d'orientation cristallographique




Détecteur 4Q HDBSD
Détecteur BSE à haute définition à 4 quadrants pour l'imagerie de composition




Détecteur 5S HDBSD
Détecteur BSE à haute définition à 5 segments spécialement conçu pour l'imagerie de composition
à faible haute tension




Détecteur YAG-BSD
Détecteur BSE à scintillateur à base de cristal YAG pour une imagerie de composition rapide et aisée




BSD4
Détecteur BSE doté de 4 sorties parallèles pour métrologie de surface 3D en temps réel
X
X


Détecteur MMSTEM
Détecteur STEM multimode pour des images en transmission d'échantillons biologiques et de
films minces




Détecteur aSTEM
Détecteur STEM annulaire pour l'imagerie en transmission
X
X


Détecteur CL
Détecteur de cathodoluminescence




3DSEM
Générez des images 3D de votre échantillon avec une mesure métrologique de la surface




Sas
Chargement rapide des échantillons jusqu'à 80 mm de diamètre




Grand sas
Chargement rapide des échantillons jusqu'à 130 mm de diamètre
X
X


Nettoyeur plasma
Supprime la contamination des hydrocarbures pour l'imagerie à haute résolution




3View
Imagerie sériée en block-face d'échantillons biologiques
X

X
X
Détecteur EBSD
Détecteur de diffraction d'électrons rétrodiffusés pour l'analyse de la microstructure cristallographique




Détecteur EDX
Analyse aux rayons X à dispersion d'énergie pour l'analyse de composition à haute résolution




Détecteur WDS
Spectroscopie dispersive en longueur d'onde pour l'analyse de composition à haute résolution
et faible artefact




› En bref
› Service
 Standard  Option disponible X Non disponible
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Caractéristiques techniques
ZEISS Sigma 300
ZEISS Sigma 500
Source d'électrons
Émetteur de champ thermique Schottky
Émetteur de champ thermique Schottky
Résolution à 15 kV
1,2 nm
0,8 nm
Résolution à 1 kV
2,2 nm
1,6 nm
Détecteur de rétrodiffusion (BSD) HD BSD
HD BSD
Vitesse de balayage maximale
100 ns/pixel
50 ns/pixel
Tension d'accélération
0,02 – 30 kV
0,02 – 30 kV
Grandissement
10× – 1,000,000×
10× – 1,000,000×
Courant de sonde
4 pA – 20 nA (40 nA et 100 nA en option)
4 pA – 20 nA (40 nA et 100 nA en option)
Mémoire de trame d'image
3 k × 2 k pixels
32 k × 24 k pixels
Ports
10
14
Ports EDS
2 (1 port dédié)
3 (2 ports dédiés)
Vide poussé
Oui
Oui
Pression variable
2 – 133 Pa
2 – 133 Pa
› En bref
› Les avantages
› Les applications
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Modes de vide
Type de platine
Platine compucentrique 5 axes
Platine eucentrique 5 axes
Option platine compucentrique 5 axes
Débattement de la platine en X
125 mm
130 mm
125 mm
Débattement de la platine en Y
125 mm
130 mm
125 mm
Débattement de la platine en Z
50 mm
50 mm
50 mm
Débattement de la platine en T
-10 à +90 degrés
-3 à +70 degrés
-10 à +90 degrés
Débattement de la platine en R
360° en continu
360° en continu
360° en continu
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Un service après-vente sur lequel vous pouvez vraiment compter
› En bref
› Les avantages
› Les applications
Comme le microscope ZEISS représente pour vous un outil essentiel, nous veillons à ce qu'il soit toujours opérationnel. De plus, nous faisons en sorte que vous utilisiez efficacement toutes les options pour obtenir le meilleur
de votre microscope. Vous disposez d'un large choix de prestations de services réalisées par des spécialistes
ZEISS hautement qualifiés qui vous accompagnent au-delà de l'achat de votre système. Notre objectif est de vous
permettre d'expérimenter ces instants spéciaux qui inspirent votre travail.
› Le système
› Technologie et détails
› Service
Réparation. Entretien. Optimisation.
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Protect, vous pouvez prévoir les frais de fonctionnement tout en réduisant les temps d'arrêt coûteux et vous obtenez les meilleurs résultats grâce à l'amélioration de la performance de votre système. Choisissez l'un des contrats
de maintenance conçus pour vous offrir toute une gamme d'options et de niveaux de contrôle. Nous travaillerons
avec vous afin de sélectionner le programme de services qui correspond le mieux aux besoins de votre système et
à vos exigences d'utilisation, en conformité avec les pratiques propres à votre organisation.
Notre service à la demande vous offre également des avantages distincts Le personnel du service après-vente de
ZEISS analysera tous les problèmes et les résoudra - par l'intermédiaire du logiciel de maintenance à distance ou
bien en intervenant directement sur place.
Amélioration de votre microscope
Votre microscope ZEISS est conçu pour toute une variété de mises à jour : des interfaces ouvertes vous permettent
de maintenir un niveau technologique élevé, à tout moment. Résultat : votre travail deviendra plus efficace et la
durée de vie productive de votre microscope sera étendue à mesure que les nouvelles mises à jour seront installées.
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
07745 Jena, Allemagne
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www.zeiss.com/sigma
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