L’autre innovation vient de la mise en forme du faisceau d’écriture. Le faisceau laser initial
est traité dans un « tube optique » qui permet de nettoyer le faisceau incident, de le
structurer, le filtrer et l’homogénéiser avant de le focaliser sur la couche à insoler. Ce
traitement optique du faisceau laser est réalisé de manière à n’altérer que très peu la
longueur de cohérence et de conserver ainsi la meilleure profondeur de champ possible
après focalisation. Ce paramètre, relativement peu pris en compte sur les systèmes de
lithographie laser conventionnels, permet de s’intéresser à un très large panel
d’applications, telles que l’optique intégrée multimode, la microfluidique, la
microstructuration de surfaces, les MEMS, la micro-optique réfractive et diffractive.
Quelques applications
Optique intégrée
La fabrication d’un guide d’onde, et a fortiori d’un circuit optique intégré, nécessite un
contrôle permanent de la trajectoire du guide, de sa section et de la granulosité des bords
du guide d’onde. Pour ce type d’application, la méthode d’écriture vectorielle est
parfaitement adaptée puisque le guide d’onde est inscrit en une seule étape et une seule
trajectoire continue.
La figure 1 représente la section d’un guide d’onde multimode de 50 x 50 µm de section,
adapté à la connexion avec un des standards de fibres optiques multimodes.
La technologie reste la même pour la fabrication de fonctions optiques unimodales à 633
nm (3 x 3 µm), à 1 310 nm (6 x 6 µm) ou 1 550 nm (6,5 x 6,5 µm). La fabrication et
l’optimisation des fonctions devenues maintenant classiques en optique guidée
deviennent rapides et simples. Nous pouvons citer les fonctions utilisées dans le domaine
des télécommunications, telles que les diviseurs de puissance 1 x 2, 1 x 4, 1 x 8…, les
WDM 1 310 nm/1 550 nm en coupleur directionnel, les AWG (arrayed waveguide grating)
pour application DWDM (dense wavelength division multiplexer) ou CWDM (coarse
wavelength division multiplexer), ou les fonctions davantage dédiées au secteur des
capteurs comme les interféromètres de Mach Zhender.
Optique réfractive
La miniaturisation des fonctions optiques touche également les fonctions d'optique
réfractive telles que les lentilles, sphériques ou asphériques, les lentilles de Fresnel, les