concentration du HF dans l’électrolyte et de la densité de courant d’anodisation sur la taille des
pores déterminée à partir des analyses au MEB. Nous avons constaté que pour les deux types de
substrats, l’augmentation du courant d’anodisation permet d’augmenter la taille des pores, alors que
l’augmentation de la concentration d’HF entraîne un effet contraire. Dans les meilleures conditions,
le diamètre moyen des pores obtenus sur le substrat de type P
+
est égal à 55 nm avec 55% des pores
de diamètres au-dessus de 50 nm. Sur le substrat de type N
+
, le diamètre moyen des pores est égal à
85 nm avec 91% des pores de diamètres au-dessus de 50 nm. A priori, la taille de ces pores
permettra l’infiltration de la sonde IgG avec une efficacité meilleure sur Si type N
+
.
3. S
ILANISATION DE LA SURFACE DES PORES
Les sondes infiltrées à l’intérieur des pores doivent être fixées à la surface des cristallites.
Cette étape d’immobilisation nécessite l’adaptation chimique de la surface des cristallites. En effet,
juste après sa préparation, la surface interne du SiP est constituée essentiellement de groupements
SiH, SiH
2
et SiH
3
[5] dont nous avons vérifiés la présence par spectroscopie IR. Cette surface à la
fois peu stable et hydrophobe n’est pas favorable pour travailler en milieu aqueux. Ce qui nous a
amené tout d’abord à l’oxyder afin d’obtenir des groupements Si-OH, Si=O et Si-O-Si puis à fixer
d’une manière covalente des silanes à groupements réactifs aminés (silanisation). Le suivi de
l’évolution de la modification chimique de la surface des cristallites a été effectué par spectroscopie
IR et par réflectométrie dans l’UV-visible et proche IR. L’oxydation du SiP a entraîné le
déplacement de son spectre de réflectance vers les basses longueurs d’ondes (blue shift). Cette
variation est due à la diminution de l’indice de réfraction de la couche poreuse suite à l’oxydation
des cristallites de silicium. L’effet de la silanisation entraîne au contraire le déplacement du spectre
vers les grandes longueurs d’onde (red shift). Ceci est dû à la fixation des silanes (n = 1.46) sur la
surface interne des pores remplaçant en partie l’air.
Ces résultats ont permis de vérifier la fixation des silanes aminés à la surface oxydée des
cristallites de silicium poreux. Cette étape est nécessaire pour achever les étapes suivantes
d’immobilisation de la sonde biologique (IgG1).
4. R
EALISATION DE NANOSTRUCTURES PHOTONIQUES EN
S
I
P
Le dispositif que nous cherchons à réaliser pour une application de biodétection exploite les
propriétés optiques d’une microcavité ou d’une structure guidante.
Une microcavité est constituée d’une couche active (d’indice n
1
) séparée par deux miroirs de
Bragg chacun constitué par l’alternance d’un nombre de couches d’indice différents n
1
(porosité 1)
et n
2
(porosité 2). La longueur d’onde de résonance de cette microcavité est très sensible à la
variation d’indice de réfraction de la couche active. Ainsi, la présence de glucagon (n= 1.42) dans
cette couche peut être détectée. En tenant en compte la taille de la molécule, celle des pores
constituant les couches poreuses de la microcavité doit être ajustée. En utilisant les résultats obtenus
précédemment, nous avons réalisé des microcavités en utilisant deux densités de courant
respectivement égales à 40 mA/cm² (couche d’indice n
1
) et 30ma/cm² (couche d’indice n
2
).
La figure 2 montre les micrographies correspondant à la surface de couches poreuses pour ces
deux conditions ainsi qu’une coupe transversale de la microcavité.
Instrumentation, Caractérisation et CapteursA7.8
359JNOG, Lannion 2008