Dates partiel MASC :
Mardi 29/04, 8h-9h30
Documents autorisés : 3 feuilles A4 recto-verso
Programme limité au premier fascicule
Déplacement d’un TD : ven 18/04, 14h-15h30 (groupe II)
Créneau de remplacement : mar 15/04, 15h45-17h15
Méthodes d’analyse des matériaux par faisceau d’électrons
Plan du cours
1 – Interactions électrons – matière
2 – Microscopie électronique en transmission (MET)
3 –Diffraction électronique
4 – Microscopie électronique à balayage (MEB)
5 – Spectroscopies en faisceau d’électrons
6 Microscopie à force atomique
1. Généralités Comparaison électron / photon
Coulombienne
Coulombienne
(Potentiel
(Potentiel é
électrique)
lectrique)
Polarisation
Polarisation
(Indice de r
(Indice de ré
éfraction)
fraction)
Interaction
Interaction
avec la
avec la
mati
matiè
ère
re
Électronique (scalaire)Électromagnétique
(vectorielle)
Onde
Onde
É
Électron
lectron
Photon
Photon
Corpuscule
Corpuscule
υ
λ
c
=
mv
h
=
λ
υ
hE
=
2
2
1
mvE =
mE
h
mv
h
2
==
λ
)10.979,01(
26,12
6
EE
+
=
λ
2
2
0
1
c
v
m
m
=
avec (correction relativiste
pour E > 100 keV)
avec λen Å et E en eV
AN : pour un électron accéléré par une tension U, E = eU
λ= 0,0548 Å pour E = 50 keV
λ= 0,037 Å pour E = 100 keV
λ= 0,00867 Å pour E = 1 MeV
1. Généralités Longueur d’onde d’un électron
Pour rappel, la formule pratique pour les photons est :
λ
λλ
λ= 12400 / E avec λen Å et E en eV
Tableau 3 : comparaison des coefficients d'absorption massique des RX, des neutrons et des électrons pour quelques éléments
en g/cm
3
, e épaisseur en cm de matériau nécessaire pour absorber 99% du rayonnement incident). D ’après J.J. Rousseau.
1. Généralités Interactions électron - matière
L’interaction dominante pour les électrons est la diffusion.
Les sections efficaces de diffusion sont beaucoup plus fortes
que celles des photons X, augmentent quand E et Z diminuent.
Techniques réservées aux échantillons minces ou aux surfaces
1 / 20 100%
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