Vers une filière et un support de conception EDA (Electronic Design Automation) des fonctions de coupure spécifiques Christophe Gineste1, Thierry Bouchet1, Olivier Gatti1, Jean-Christophe Crébier2, Patrick Austin3,4, Nicolas Rouger2, Abdelhakim Bourennane3,4, Frédéric Morancho3,4 ,Marie Breil3,4 1 ADIS Innovation, 100 impasse des Houillères, ZI le Pontet 13590 Meyreuil 2 G2ELAB, ENSE3 bat D 11, rue des Mathématiques BP 46 38402 St Martin d'Hères Cedex 3 CNRS, LAAS, 7 avenue du colonel Roche, F-31400 Toulouse, France 4 Univ de Toulouse, Université Paul Sabatier, LAAS, F-31400 Toulouse, France Afin de répondre aux nouveaux défis de la gestion optimale de l’énergie électrique orientés vers les moyennes et hautes tensions, ADIS Innovation développe une filière technologique d’intégration monolithique. Autour d’un cœur technologique qualifié et à l’aide d’outils de conception EDA (Electronic Device Automation), ADIS est en mesure de fournir des produits industriels qualifiés intégrant des fonctions de coupures et adaptées aux conditions de packaging et de mises en œuvre innovantes pour répondre au exigences en termes d‘intégration, de fiabilité et de performance énergétique. D’abord validée sur silicium, cette filière sera ensuite déclinée sur les matériaux à large bande interdite — grand gap — (SiC, GaN). INTRODUCTION La société ADIS Innovation a pour objectifs de répondre aux besoins de conception et fabrication des composants de puissance intégrés dédiés en s'appuyant sur un cœur technologique propriétaire. Cette ambition doit permettre de répondre aux nouveaux besoins croissants de la conversion d’énergie orientée vers les moyennes et fortes puissances. Ces composants intégrés sont conçus et fabriqués à partir de trois éléments : - un coeur technologique de puissance à structure verticale type MOS/Bipolaire, - un outil de conception type design kit permettant de concevoir et d'intégrer la fonction de coupure incluant les fonctionnalités rapprochées, - un matériau support, le substrat, adapté au type et aux caractéristiques souhaitées du composant de puissance. I. LE CŒUR TECHNOLOGIQUE Le cœur technologique d’ADIS Innovation est la brique initiale, pierre angulaire des futurs composants développés. Il s’agit de la cellule de puissance à structure verticale de type MOS/Bipolaire autour de laquelle s’articuleront les fonctions monolithiques. A ce cœur silicium sont associées un ensemble d'étapes technologique favorisant l'intégration fonctionnelle monolithique mais également la mise en oeuvre et le packaging spécifique [11, 25]. La brique de puissance MOS sera développée conjointement au procédé de fabrication et optimisée de manière à positionner le cœur technologique sur une large gamme de tensions (de quelques centaines à quelques milliers de Volts) et courants (quelques Ampères jusqu'à la centaine d’Ampères et audelà). Ce cœur technologique doit être robuste vis-à-vis des divers cahiers des charges tout en offrant un support de conception et d'intégration de fonctions monolithiques [1]. II. ETAT DE L’ART DE L’INTEGRATION FONCTIONNELLE Depuis vingt ans, par rapport aux systèmes discrets, les développements autour de l’intégration monolithique fonctionnelle en électronique de puissance ont montré de forts apports tels que l’augmentation de la fiabilité et de la performance, l'optimisation de la connectique, la diminution du volume global et du poids, la réduction du rayonnement et des couplages électromagnétiques du système [2,3]. De son côté, l’intégration hybride, très appliquée en électronique de puissance, consiste à regrouper puis assembler tous les composants du système dans un environnement commun [4]. Or l’évolution de cette intégration peut dépendre de la gamme de puissance dans laquelle se situe l’application, définissant la technologie employée. Ainsi, on peut distinguer l’intégration monolithique dans laquelle les circuits de commande et de protection sont intégrés avec la même technologie et dans le même substrat que le composant de puissance [5,6,7,8,9,1,10] et l’intégration hybride ou hétérogène dans laquelle la puce de puissance et son circuit de contrôle sont séparés et le plus souvent issus de technologies différentes [11,12,4]. Ainsi, pour les tenues en tension supérieures ou égales à 600V [13,14], les seules solutions industrielles existantes sont des solutions hybrides par l’association d’une puce de commande et d’une puce de puissance haute tension. Pour les tenues en tension inférieures, il existe des solutions monolithiques où cohabitent sur une même puce les composants de puissance haute tension (HVIC) et les composants de commande basse tension (CMOS) isolés et de technologies différentes (figure 1) : c’est l’approche Smart Power [15]. On peut citer, par exemple, la technologie VIPer de ST Microelectronics particulièrement adaptée aux convertisseurs mono-interrupteur type flyback (400V, 600V / quelques kW). Bien qu’apportant de nombreuses fonctionnalités, cette intégration de plusieurs technologies dans le même substrat entraîne une complexification du procédé technologique, d’où un plus grand nombre de niveaux de masquage (14 en 2000 pour la technologie VIPer [16-17]). Par ailleurs la gamme de tension est réduite à la qualité de l’isolation entre les deux technologies. C’est le principal élément limitant leur évolution vers les tensions plus importantes. Enfin, l'approche Smart Power en technologie verticale (fort courant et forte tension) est habituellement limitée à la mise en œuvre d'un composant de puissance unique. Figure 1 : Technologie Smart Power : exemples d’intégration de différents types de composants (CMOS, DMOS, bipolaire, mémoires) dans un même substrat [17]. La figure 2 montre un exemple de puce HVIC intégrant des transistors de puissance latéraux et des circuits de traitement du signal numériques et analogiques en technologie CMOS. On constate que la puce est divisée en deux parties, une moitié pour la partie ‘puissance’ l’autre pour la partie ‘traitement du signal’. Cette technologie est donc très performante en termes d’intégration de fonctionnalités, mais la gamme de puissance accessible est réduite. Ainsi, les technologies industrielles actuelles, HVIC ou Smart Power, sont confrontées à des contraintes technologiques limitant la tension de claquage à quelques centaines de Volts [18]. C’est pourquoi elles ne sont utilisées que dans le domaine des faibles puissances, comme dans l'automobile et les télécommunications. Figure 2 : Technologie HVIC : exemple d’intégration de transistors de puissance et de circuits de traitement du signal analogiques et numériques sur la même puce [5]. III. LE COMPOSANT MONOLITHIQUE Notre approche vise à simplifier l’approche monolithique en intégrant sur une même puce et avec une même technologie verticale les éléments de puissance (haute tension) et de commande (basse tension). Les applications visées sont des applications moyennes à hautes tensions (100V - 3kV), qui présentent des contraintes élevées d’isolation galvanique ne pouvant pas être respectées en technologie « Smart Power ». La structure du cœur de puissance est verticale et les fonctions sont intégrées dans le même substrat autant que faire ce peut à l’intérieur d’une région isolée de la haute tension (figure 3). Figure 3 : Technologie intégration fonctionnelle : exemple de fonctions intégrables dans la structure de base du composant de puissance a) vue en coupe d’un ACS et symbole électrique b) vue en coupe d’un thyristor MOS et symbole électrique [19]. Ce type d’intégration utilise les filières technologiques des composants de puissance. Elle permet de réaliser de nombreuses fonctions essentielles comme, par exemple, une structure MOS pouvant être activée par voie optique dans [20,8] ou des protections en tension dans [9]. Sans atteindre la complexité des fonctions obtenues avec les composants Smart Power, les composants réalisés en intégration fonctionnelle intègrent toutefois de nombreuses fonctions de contrôle et de protection autour de l'élément de puissance. L’intégration monolithique de puissance poursuit l’effort d’intégration déjà réalisé sur les composants hybrides afin d’obtenir une optimisation des interconnexions, de la fiabilité et de la maîtrise de la CEM. Par ailleurs pour être économiquement compétitive, l’intégration monolithique doit être réalisée à bas coût ce qui impose la réalisation des fonctions avec la même technologie et en même temps que le cœur de puissance. Cette cohabitation fonction/cœur de puissance doit s’établir sur une filière technologique optimisée mais figée afin d’être industrialisable [1]. Ainsi, autour du cœur de puissance viennent s’ajouter successivement les fonctions d’isolation optique, le transformateur sans circuit magnétique [21,22], la structure de commande rapprochée puis les protections contre les surtensions et les surintensités [23] tout en minimisant l’impact sur le procédé de fabrication [24]. Enfin pour valoriser au mieux les performances de l’intégration fonctionnelle monolithique, il est nécessaire d’envisager une approche tridimensionnelle du boitier. Ainsi, la technique 3D nommée Power Chip On Chip [25] permet un gain significatif sur les inductances parasites, la CEM conduite et rayonnée et l’inductance parasite existante au sein de la cellule de commutation. Toutefois cette approche repose sur une maîtrise importante des finitions en surface et périphéries du composant de puissance pour satisfaire aux contraintes d'empilement des puces de puissance. ADIS Innovation, en proposant des architectures et des moyens technologiques innovants, offre une réponse de conception et de fabrication de composants de puissance pour toutes les nouvelles applications et exigences de la conversion de l'énergie électrique Ainsi, pour être en mesure de réaliser un composant intégré monolithique industriel sur cahier des charges, il est nécessaire de disposer : d’une filière monolithique de puissance industrielle qualifiée d’abord en silicium et adaptable matériaux « grand gap », disposer des méthodes et outils de la microélectronique transposés à l’électronique de puissance (EP). Pour mener à bien son œuvre, ADIS Innovation s’appuiera sur les travaux des laboratoires LAAS et G2ELAB notamment sur : - les réalisations en prototype de fonctions intégrées, - le développement d’un « design kit » associé à la technologie de puissance monolithique intégrant modèles et bibliothèques de fonctions. Ceci permettra de répondre de manière exhaustive et efficace aux besoins de nombreux clients intégrateurs. Le cœur technologique d’ADIS Innovation associé à l’intégration fonctionnelle (figure 4) est en mesure de répondre à l’attente du marché orienté vers les puissances croissantes en proposant une solution industrielle intégrée, fiable et performante pour les applications de demain. ADIS Innovation validera dès 2012 sa filière à l’aide d’un premier prototype intégré d’abord sur une technologie silicium puis déclinera son offre sur les matériaux « grand gap » tels que le GaN et le SiC. La mise en œuvre du cœur permet d’envisager la réalisation de nombreux composants pour différentes applications dans le domaine de la gestion d’énergie. PRODUIT ADIS Innovation Commandes Auto Alimentées INTEGRATION vs Surface Drivers Intégrés INTEGRATION vs Fonctionnalité Performance électrique (τ,I,V) Détecteurs Tension Cœur ADIS Innovation MOS V > 100V I > 1A Détecteurs Température Détecteurs CourtCircuit • [1] H.X. Nguyen, “Méthodes et Modèles pour une Approche de Dimensionnement Géométrique et Technologique d'un Semiconducteur de Puissance Intégré. Application à la Conception d'un MOSFET Vertical autonome”, PhD Thesis, Université de Grenoble, Octobre 2011. • [2] M. Marmouget, J-L. Sanchez, P. Austin, M. Breil, T. Bordignon, V. Houdbert, J. Jalade, “Identification de cellules élémentaires en intégration fonctionnelle de puissance : exemples de conception de fonctions intégrées”, Électronique de Puissance du Futur 1998 (EPF'98). Belfort (France) - 16-18 Décembre 98, pp. 57-62. • [3] P. Austin, J-L. Sanchez, M. Breil, J-P. Laur, J. Jalade, M. Marmouget, T. Bordignon, E. Imbernon, O. Causse, G. Bonnet, B. Rousset, F. Rossel, “Environnement de conception et filière technologique flexible adaptés au mode d’intégration fonctionnelle”, EPF 2000, 8e colloque Électronique de Puissance du Futur, Lille, France, 29 novembre-1er décembre 2000, pp.183-188. • [4] T Simonot, N Rouger, JC Crébier, V Gaude, “A novel Power System in Package with 3D chip on chip interconnections of the power transistor and its gate driver", IEEE ISPSD’2011, Mai 2011. • [5] G. Verneau, “Optimisation Géométrique de MOSFETs de Puissance en vue d’Intégrer l’Alimentation de l’Etage de Commande “, Thèse de l’Institut National Polytechnique de Grenoble, Mai 2002. IV. PERSPECTIVES BESOINS V. BIBLIOGRAPHIE • [6] C. Caramel, “Nouvelles fonctions interrupteurs intégrées pour la conversion d'énergie”, PhD Thesis, Université Paul Sabatier, Avril 2007. • [7] F. Capy, “Étude et conception d'un interrupteur de puissance monolithique à auto-commutation: le thyristor dual disjoncteur”, Thèse Université Paul Sabatier, 2009. • [8] N. 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Nguyen, “Intégration fonctionnelle autour des composants quatre quadrants avec l’application à la conversion AC/AC,” Mémoire de thèse, Grenoble INP, G2ELab, 2008. • [25] Eric Vagnon, “Solutions innovantes pour le packaging de convertisseurs statiques polyphasés,” Mémoire de thèse, Grenoble INP, 2010.