Le Nitrure d`Aluminium (AlN) : matériau en couche mince

Le Nitrure d'Aluminium (AlN) :
E
matériau en couche mince piézoélectrique
R
PFM
Le nitrure d'aluminium (AlN) est un matériau en couche mince piézoélectrique actuellement
développé à l'ESIEE.
L'AlN peut servir a la réalisation de capteurs (ultrason, pression...), d'actionneurs
(micropompe...) et de composants pour le traitement de signal par ondes élastiques de surface.
La vitesse des ondes acoustiques dans l'AlN est l'une des plus rapides parmi tous les matériaux,
ce qui est un avantage pour le traitement du signal à haute fréquence.
L'AlN est déposé a basse température, ce qui le rend compatible avec le procédé de fabrication
des circuits intégrés, d'où la possibilité de faire un capteur avec l'électronique intégrée pour
réduire les coûts de production.
De plus, l'AlN a un champ électrique de claquage important et une bonne résistance aux
produits chimiques, caractéristiques physiques utiles pour les capteurs et les actionneurs.
Actuellement des essais de gravures physiques et la caractérisation de l'AlN sont réalisés à
l'ESIEE.
Contact : S. Spirkovitch
L. Valbin
01 45 92 66 52
01 45 92 67 74
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